一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构的制作方法技术资料下载

技术编号:17312093

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本实用新型涉及真空腔体的水冷管路领域,特别涉及一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构。背景技术真空腔体内部部件工作时,会产生高热量,就需要对真空腔体内部件进行水冷。水冷管道需要穿过真空腔体内外侧,并在穿管处对真空腔体进行密封。在水冷管道装配过程中,对水冷管道的密封要求严格,设计一种有效的水冷管路接口的密封结构能够极大的保证腔体内的真空环境,而且能够方便管路的拆卸更换和安装。目前市场上的水冷结构密封效果较差,而且不易拆装,对加工精度要求较高,这些都存在着安全隐患,并且安装的效率太低,不能够快速有效...
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