一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构的制作方法

本实用新型涉及真空腔体的水冷管路领域，特别涉及一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构。

背景技术：

真空腔体内部部件工作时，会产生高热量，就需要对真空腔体内部件进行水冷。水冷管道需要穿过真空腔体内外侧，并在穿管处对真空腔体进行密封。在水冷管道装配过程中，对水冷管道的密封要求严格，设计一种有效的水冷管路接口的密封结构能够极大的保证腔体内的真空环境，而且能够方便管路的拆卸更换和安装。

目前市场上的水冷结构密封效果较差，而且不易拆装，对加工精度要求较高，这些都存在着安全隐患，并且安装的效率太低，不能够快速有效的对真空腔体起到密封作用。如何能够安全有效的保证真空系统的密封性能，提高安装拆卸的效率，并且起到良好的密封效果，是真空水冷接口密封设计的一个难题。设计一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构在真空腔体的密封性能的便利性及有效性方面是必要的。

技术实现要素：

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构，通过密封结构、连接结构、水冷结构的装配，能够克服目前真空腔体水冷密封性能不高、后续装配的不便利的缺陷，提高安装效率和密封性能，保障水冷性能。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构，包括连接结构、密封结构、水冷结构；所述连接结构包括：密封圈连接法兰、上压板、螺杆、螺钉，密封圈连接法兰通过螺钉与真空腔体连接，密封圈连接法兰的底部和侧壁均设有密封槽；

所述密封结构包括密封压板，密封压板设于密封圈连接法兰的上端并通过螺钉固定连接，上压板设于密封压板的上端并通过螺钉固定连接；

所述水冷结构包括：焊管滑块、水管接头、水管；真空腔体、密封圈连接法兰、密封压板的内部均具有竖直方向的空腔，竖直方向的空腔形成滑块通道；所述焊管滑块安装在滑块通道内并可沿滑块通道上下移动；所述水管贯穿上压板、焊管滑块且其上端与水管接头连接，水管接头与冷却水路连接。

作为本实用新型进一步的方案，所述密封结构还包括：第一密封圈、第二密封圈，所述第一密封圈安装在密封圈连接法兰底部的密封槽中；第二密封圈安装于密封圈连接法兰侧壁的密封槽上，并通过密封压板压紧密封；所述焊管滑块的侧面与第二密封圈接触。

作为本实用新型进一步的方案，所述水管贯穿焊管滑块部分的上下表面通过焊接密封。

作为本实用新型进一步的方案，所述螺杆与焊管滑块焊接，螺杆的上端通过螺母与上压板连接。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型用于超高真空水冷管路的过渡接口结构，通过连接结构和密封结构中的密封圈和螺钉、螺杆，将水冷结构方便有效地安装到真空腔体上，提高安装效率和密封性能，能够有效地解决目前真空腔体水冷密封性能不高、后续装配不便利等问题，对真空密封的精准性、有效性、高效性有着极其重要的促进作用。

2、第二密封圈安装于密封槽上，并通过密封压板压紧密封，焊管滑块与第二密封圈接触，通过挤压第二密封圈实现密封，对真空腔体和水冷结构起到了良好的真空密封作用。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型用于超高真空水冷管路的过渡接口结构的剖面图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1所示，本实施例提供了一种用于超高真空水冷管路的过渡接口结构,包括连接结构、密封结构、水冷结构。连接结构包括：密封圈连接法兰1、上压板3、螺杆7、螺钉，密封圈连接法兰1通过螺钉与真空腔体11连接，密封圈连接法兰1的底部和侧壁均设有密封槽。

密封结构包括：第一密封圈2、密封压板4、第二密封圈9，第一密封圈2安装在密封圈连接法兰1底部的密封槽中，起到密封作用。第二密封圈9安装于密封圈连接法兰1侧壁的密封槽上，并通过密封压板4压紧密封。密封压板4设于密封圈连接法兰1的上端并通过螺钉固定连接，起到了压紧第二密封圈9的作用，上压板3设于密封压板4的上端并通过螺钉固定连接。

水冷结构包括：焊管滑块5、水管接头6、水管8，真空腔体11、密封圈连接法兰1、密封压板4的内部均具有竖直方向的空腔，竖直方向的空腔形成滑块通道10，焊管滑块5安装在滑块通道10内并可沿滑块通道10上下移动。焊管滑块5的侧面与第二密封圈9接触，通过挤压第二密封圈9实现密封。水管8贯穿上压板3、焊管滑块5且其上端与水管接头6连接，方便水管8与水管接头6的安装拆卸，水管接头6与冷却水路连接，顺着冷却水路流入水管8内的冷水可以对真空腔体11进行水冷降温。水管8贯穿焊管滑块5部分的上下表面通过焊接密封。螺杆7与焊管滑块5焊接，螺杆7的上端通过螺母与上压板3连接对焊管滑块5起到限位作用。

该用于超高真空水冷管路的过渡接口结构的装配过程：

1)将第一密封圈2、第二密封圈9分别安装在密封圈连接法兰1底部和侧壁的密封槽中，通过旋入螺钉将密封圈连接法兰1与真空腔体11固定连接；

2)将焊管滑块5置于滑块通道10内，密封压板4置于密封圈连接法兰1上端并通过螺钉紧固，上压板3置于密封压板4上端并通过螺钉紧固；

3)将螺杆7与焊管滑块5焊接，螺杆7的上端用螺母与上压板3连接对焊管滑块5起到限位作用；

4)将水管8穿过焊管滑块5，水管8的上端与水管接头6连接，完成该过渡接口结构的装配。

以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。