技术编号：17387810
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种可动镜片调整机构。背景技术在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差，为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。中国专利CN102707404A公开的可动镜片由三个均布的柔性铰链支撑，通过三个柔性铰链的组合运动实现可动镜片X/Y/Rz向运动。但是CN102707404A公开的柔性铰链采用的是三连杆机构，这种机构稳定性差。发明内容本发明的目的在于提出一种可动镜片调整机构，使像差补偿机构结构简单，稳定性好。为...
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