一种可动镜片调整机构的制作方法

本发明涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种可动镜片调整机构。

背景技术：

在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差，为了解决这一问题，一般采用可动镜片以补偿镜片的制造和装配误差。

中国专利CN102707404A公开的可动镜片由三个均布的柔性铰链支撑，通过三个柔性铰链的组合运动实现可动镜片X/Y/Rz向运动。但是CN102707404A公开的柔性铰链采用的是三连杆机构，这种机构稳定性差。

技术实现要素：

本发明的目的在于提出一种可动镜片调整机构，使像差补偿机构结构简单，稳定性好。

为了实现上述发明目的，本发明公开一种可动镜片调整机构，包括镜片（100）和镜筒（200），其特征在于，所述镜筒（200）分为内圈（210）、柔性铰链机构（220）和外圈（230）三部分；所述镜片（100）固定在内圈（210）上，所述内圈（210）通过三个均布的柔性铰链机构（220）与外圈（230）相连。

更进一步地，所述可动镜片调整机构还包括拉簧（300）、弹簧座（400）和驱动电机（500）；所述驱动电机（500）安装在所述外圈（230）上，通过所述驱动电机（500）驱动所述柔性铰链机构（220），由三个所述柔性铰链机构（220）带动所述内圈（210）运动，从而实现所述镜片（100）的运动。

更进一步地，通过在所述镜筒（200）中K1、K2、K3、K4、K5、K6六处通孔形成铰链，相当于六个支点，构成一个五连杆对称机构，由杆件（221）、杆件（222）、杆件（223）、杆件（224）和所述内圈（210）形成所述柔性铰链机构（220），实现所述镜片（100）在X、Y方向上和XY平面内的运动。

更进一步地，所述拉簧（300）与所述驱动电机（500）配对使用。

与现有技术相比较，本发明采用五连杆对称结构，可提高可动镜片调整机构的模态，提升了可动机构的稳定性。

附图说明

关于本发明的优点与精神可以通过以下的发明详述及所附图式得到进一步的了解。

图1是本发明可动镜片调整机构结构示意图；

图2是驱动结构剖视图；

图3是柔性铰链结构局部示意图；

图4是本发明可动镜片调整机构原理图；

图5是本发明可动镜片调整机构X方向运动原理图；

图6是本发明可动镜片调整机构Y方向运动原理图；

图7是本发明可动镜片调整机构XY平面内运动原理图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。

曝光设备中，使镜片在XY方向上调整实现系统的像差补偿。图1是本发明可动镜片调整机构结构示意图，图2是驱动结构剖视图。如图1和2所示，可动镜片调整机构包括镜片100和镜筒200，镜筒200分为三个部分:内圈210、铰链机构220和外圈230。镜片100固定在内圈210上，外圈230是整个机构的安装基础。镜筒内圈210通过三个均布的柔性铰链机构220与外圈230相连。驱动电机500安装在镜筒外圈230上，通过电机500驱动柔性铰链机构220，由三个柔性铰链机构220带动镜筒内圈210运动，从而实现镜片100运动。拉簧300与驱动电机500配对使用，给柔性铰链机构220提供一个方向运动力。

如图3所示，柔性铰链机构220为整个可动机构的关键部件。通过在镜筒200中K1、K2、K3、K4、K5、K6处通孔形成铰链，相当于六个支点，构成一个五连杆对称机构，由杆件221、杆件222、杆件223、杆件224和镜筒内圈210组成，其原理图如图4所示。通过三个均布的柔性铰链机构220的组合运动，实现镜片在X、Y方向上和XY平面内的运动，其运动原理如图5、6、7所示。

与现有技术相比较，本发明采用五连杆对称结构，可提高可动镜片调整机构的模态，提升了可动机构的稳定性。

本说明书中所述的只是本发明的较佳具体实施例，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明的限制。凡本领域技术人员依本发明的构思通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在本发明的范围之内。