技术编号:17389006
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体湿式制程设备领域;涉及阻水轮设计技术;具体是一种两段式阻水轮装置。背景技术在半导体湿式制程中,机台槽体内的阻水轮是必不可少的,然而我们目前湿式制程机台所使用的阻水轮,都是一体成形,整个阻水轮是一个整体,其结构较为简单,然而这钟阻水轮的缺点是在让基板进入机台槽体内部时需要将整只阻水轮抬起让基板通过,无法蓄积液体,下次作动时,又需重新补液,增加帮浦负担能力同时有影响生产节拍。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种两段式阻水轮装置。本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:一种两...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。