一种两段式阻水轮装置的制作方法

本实用新型属于半导体湿式制程设备领域；涉及阻水轮设计技术；具体是一种两段式阻水轮装置。

背景技术：

在半导体湿式制程中，机台槽体内的阻水轮是必不可少的，然而我们目前湿式制程机台所使用的阻水轮，都是一体成形，整个阻水轮是一个整体，其结构较为简单，然而这钟阻水轮的缺点是在让基板进入机台槽体内部时需要将整只阻水轮抬起让基板通过,无法蓄积液体,下次作动时,又需重新补液,增加帮浦负担能力同时有影响生产节拍。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种两段式阻水轮装置。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种两段式阻水轮装置，包括一号阻水轮、一号升降机构、机台槽体、触碰传感器、二号阻水轮、二号升降机构、工件出口、二号传动机构、二号电机、二号电机固定架、一号传动机构、一号电机、一号电机固定架以及工件入口，所述工件出口与工件入口分别设于机台槽体前后两端，所述一号阻水轮、一号升降机构、触碰传感器、二号阻水轮、二号升降机构皆设于机台槽体内部，所述一号阻水轮设于机台槽体内侧底面上且位于机台槽体的工件入口一端，所述二号阻水轮设于机台槽体内侧底面上且位于机台槽体的工件出口一端，所述一号升降机构与二号升降机构皆固定于机台槽体内侧壁上，所述一号升降机构与一号阻水轮连接，所述二号升降机构与二号阻水轮连接，所述触碰传感器分别安装于工件入口和一号阻水轮之间靠近一号阻水轮的机台槽体内侧底面上以及一号阻水轮和二号阻水轮之间靠近二号阻水轮的机台槽体内侧底面上，所述一号电机通过一号电机固定架固定于机台槽体靠近工件入口一侧的下端面上，所述二号电机通过二号电机固定架固定于机台槽体靠近工件出口一侧的下端面上，所述一号传动机构以及二号传动机构皆设于机台槽体侧面，所述一号传动机构连接一号阻水轮以及一号电机，所述二号传动机构连接二号阻水轮以及二号电机。

所述触碰传感器用于检测工件是否达到传感器位置，并在工件到达传感器位置时产生一种信号，并将这个信号收集传经下一个部件以执行下一步的动作。

所述一号阻水轮包括升降阻水轮、升降阻水轮支架、固定阻水轮、转动轴以及升降阻水轮皮带槽，所述固定阻水轮通过转动轴分别固定于机台槽体内侧壁两侧上，所述升降阻水轮设于两固定阻水轮之间，所述升降阻水轮支架设于升降阻水轮两端，所述升降阻水轮中间位置设有升降阻水轮皮带槽。

所述二号阻水轮结构与一号阻水轮结构完全相同。

所述一号升降机构包括升降机构转动轴、固定座、升降支杆、液压缸、液压杆、第二升降铰链底座、升降杠杆、升降传动皮带、升降传动皮带轮以及升降轴承，所述升降机构转动轴安装于机台槽体内侧壁上并穿透内侧壁，所述升降杠杆一端连接升降阻水轮支架，另一端安装通过第二升降铰链底座与液压杆连接，所述升降轴承设于升降杠杆中间位置，所述升降支杆处，另一端通过第一升降铰链底座与液压缸连接，所述升降支杆上，所述固定座固定于机台槽体内侧壁上，所述升降支杆与液压杆配合安装，所述升降轴承以及支杆轴承皆安装于升降机构转动轴上，所述升降传动皮带轮安装于升降机构转动轴中间位置，所述升降传动皮带轮通过升降传动皮带与升降阻水轮皮带槽连接。

所述二号升降机构结构与一号升降机构结构完全相同，所述二号升降机构通过皮带连接二号阻水轮中升降阻水轮的升降阻水轮皮带槽。

所述一号传动机构包括第一传动皮带轮、第一传动皮带、第二传动皮带轮、第二传动皮带、第三传动皮带轮、第四传动皮带轮、第三传动皮带以及第五传动皮带轮，所述第一传动皮带轮安装于一号电机输出轴承上，所述第二传动皮带轮安装于升降机构转动轴一端，所述第四传动皮带轮安装于升降机构转动轴另一端，所述第三传动皮带轮安装于转动轴一端，所述第五传动皮带轮安装于另一个转动轴一端，所述第一传动皮带轮通过第一传动皮带与第二传动皮带轮连接，所述第三传动皮带轮通过第二传动皮带与第二传动皮带轮连接，所述第四传动皮带轮通过第三传动皮带与第五传动皮带轮连接。

所述二号传动机构结构与一号传动机构结构完全相同，所述二号传动机构与二号电机以及二号阻水轮连接。

所述两段式阻水轮装置装置工作时，基板由工件入口送入机台槽体内，当其到达触碰传感器时，触碰传感器会传送信号至一号升降机构，此时，液压缸推动液压杆收缩，通过液压杆收缩将升降杠杆连接液压杆的一端拉向液压缸方向并向下移动，由于升降杠杆中间有升降轴承，使升降杠杆连接升降阻水轮支架一端向上移动，使升降阻水轮被抬起，使基板可顺利进入一号阻水轮与二号阻水轮之间位置，当基板完全进入一号阻水轮与二号阻水轮之间时，由于触碰传感器与基板分离，液压缸开始推动液压杆伸长，通过液压杆伸长将升降杠杆连接液压杆的一端拉离液压缸方向并向上移动，由于升降杠杆中间有升降轴承，使升降杠杆连接升降阻水轮支架一端向下移动，使抬起的升降阻水轮被放下，反应完成后，基板继续运动，会到达另一个触碰传感器，与一号阻水轮原理相同，二号阻水轮会在二号升降机构的工作下升降阻水轮被抬起，当基板完全离开一号阻水轮与二号阻水轮之间位置时，由于基板与触碰传感器分离，与一号阻水轮原理相同，升降阻水轮会在二号升降机构的工作下被放下，最后基板由工件出口离开机台槽体。

本实用新型针对阻水轮设计成两段式阻水轮,藉由触碰传感器感应基板进入,连动将两段式阻水轮中央抬起,待基板完全进入机台槽体内后,阻水轮放下形成挡水功能,待反应完成后,藉由触碰传感器感应后再将阻水轮抬起,基板传出槽体,完成动作。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过将阻水轮设计成两段式阻水轮，在基板进入机台槽体内部时只将阻水轮的部分位置抬高让基板进入，两段式阻水轮设计可以在让基板进入机台槽体内部时蓄积液体，减少了帮浦重新补液量，降低了帮浦负担能力，同时增加生产节拍,提高了生产效率。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种两段式阻水轮装置的总体结构示意图；

图2是本实用新型一种两段式阻水轮装置的一号阻水轮结构示意图；

图3是本实用新型一种两段式阻水轮装置的一号升降机构结构示意图；

图4是本实用新型一种两段式阻水轮装置的一号传动机构结构示意图。

具体实施方式

如图1-4所示，一种两段式阻水轮装置，包括一号阻水轮1、一号升降机构2、机台槽体3、触碰传感器4、二号阻水轮5、二号升降机构6、工件出口7、二号传动机构8、二号电机9、二号电机固定架10、一号传动机构11、一号电机12、一号电机固定架13以及工件入口14，其特征在于，工件出口7与工件入口14分别设于机台槽体3前后两端，一号阻水轮1、一号升降机构2、触碰传感器4、二号阻水轮5、二号升降机构6皆设于机台槽体3内部，一号阻水轮 1设于机台槽体3内侧底面上且位于机台槽体3的工件入口14一端，二号阻水轮5设于机台槽体3内侧底面上且位于机台槽体3的工件出口7一端，一号升降机构2与二号升降机构6皆固定于机台槽体3内侧壁上，一号升降机构2与一号阻水轮1连接，二号升降机构6与二号阻水轮5连接，触碰传感器4分别安装于工件入口14和一号阻水轮1之间靠近一号阻水轮1的机台槽体3内侧底面上以及一号阻水轮1和二号阻水轮5之间靠近二号阻水轮5的机台槽体3内侧底面上，一号电机12通过一号电机固定架13固定于机台槽体3靠近工件入口14一侧的下端面上，二号电机9通过二号电机固定架10固定于机台槽体3 靠近工件出口7一侧的下端面上，一号传动机构11以及二号传动机构8皆设于机台槽体3侧面，一号传动机构11连接一号阻水轮1以及一号电机12，二号传动机构8连接二号阻水轮5以及二号电机9。

触碰传感器4用于检测工件是否达到传感器位置，并在工件到达传感器位置时产生一种信号，并将这个信号收集传经下一个部件以执行下一步的动作。

如图2所示，一号阻水轮1包括升降阻水轮101、升降阻水轮支架102、固定阻水轮103、转动轴104以及升降阻水轮皮带槽105，固定阻水轮103通过转动轴104分别固定于机台槽体3内侧壁两侧上，升降阻水轮101设于两固定阻水轮103之间，升降阻水轮支架102设于升降阻水轮101两端，升降阻水轮101 中间位置设有升降阻水轮皮带槽105。

二号阻水轮5结构与一号阻水轮1结构完全相同。

如图3所示，一号升降机构2包括升降机构转动轴21、固定座22、升降支杆23、第一升降铰链底座24、液压缸25、液压杆26、第二升降铰链底座27、升降杠杆28、升降传动皮带29、升降传动皮带轮210以及升降轴承211，升降机构转动轴21安装于机台槽体3内侧壁上并穿透内侧壁，升降杠杆28一端连接升降阻水轮支架102，另一端安装通过第二升降铰链底座27与液压杆26连接，升降轴承211设于升降杠杆28中间位置，升降支杆23一端安装有支杆轴承且设于升降轴承211处，另一端通过第一升降铰链底座24与液压缸25连接，升降支杆23设于固定座22上，固定座22固定于机台槽体3内侧壁上，升降支杆 23，液压缸25与液压杆26配合安装，升降轴承211以及支杆轴承皆安装于升降机构转动轴21上，升降传动皮带轮210安装于升降机构转动轴21中间位置，升降传动皮带轮210通过升降传动皮带29与升降阻水轮皮带槽105连接。

二号升降机构6结构与一号升降机构2结构完全相同，二号升降机构6通过皮带连接二号阻水轮5中升降阻水轮的升降阻水轮皮带槽。

如图4所示，一号传动机构11包括第一传动皮带轮111、第一传动皮带112、第二传动皮带轮113、第二传动皮带114、第三传动皮带轮115、第四传动皮带轮116、第三传动皮带117以及第五传动皮带轮118，第一传动皮带轮111安装于一号电机12输出轴承上，第二传动皮带轮112安装于升降机构转动轴21一端，第四传动皮带轮116安装于升降机构转动轴21另一端，第三传动皮带轮115 安装于转动轴104一端，第五传动皮带轮118安装于另一个转动轴104一端，第一传动皮带轮111通过第一传动皮带112与第二传动皮带轮113连接，第三传动皮带轮115通过第二传动皮带114与第二传动皮带轮113连接，第四传动皮带轮116通过第三传动皮带117与第五传动皮带轮118连接。

二号传动机构8结构与一号传动机构11结构完全相同，二号传动机构8与二号电机9以及二号阻水轮5连接。

两段式阻水轮装置工作时，基板由工件入口14送入机台槽体3内，当其到达触碰传感器4时，触碰传感器4会传送信号至一号升降机构2，此时，液压缸 25推动液压杆26收缩，通过液压杆26收缩将升降杠杆28连接液压杆26的一端拉向液压缸方向并向下移动，由于升降杠杆28中间有升降轴承211，使升降杠杆28连接升降阻水轮支架102一端向上移动，使升降阻水轮101被抬起，使基板可顺利进入一号阻水轮1与二号阻水轮5之间位置，当基板完全进入一号阻水轮1与二号阻水轮5之间时，由于触碰传感器4与基板分离，液压缸25开始推动液压杆26伸长，通过液压杆26伸长将升降杠杆28连接液压杆26的一端拉离液压缸方向并向上移动，由于升降杠杆28中间有升降轴承211，使升降杠杆28连接升降阻水轮支架102一端向下移动，使抬起的升降阻水轮101被放下，反应完成后，基板继续运动，会到达另一个触碰传感器4，与一号阻水轮1 原理相同，二号阻水轮5会在二号升降机构6的工作下升降阻水轮被抬起，当基板完全离开一号阻水轮1与二号阻水轮5之间位置时，由于基板与触碰传感器4分离，与一号阻水轮1原理相同，升降阻水轮会在二号升降机构6的工作下被放下，最后基板由工件出口7离开机台槽体3。

本实用新型针对阻水轮设计成两段式阻水轮,藉由触碰传感器感应基板进入,连动将两段式阻水轮中央抬起,待基板完全进入机台槽体内后,阻水轮放下形成挡水功能,待反应完成后,藉由触碰传感器感应后再将阻水轮抬起,基板传出槽体,完成动作。

本实用新型通过将阻水轮设计成两段式阻水轮，在基板进入机台槽体内部时只将阻水轮的部分位置抬高让基板进入，两段式阻水轮设计可以在让基板进入机台槽体内部时蓄积液体，减少了帮浦重新补液量，降低了帮浦负担能力，同时增加生产节拍,提高了生产效率。

以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。