技术编号:17389017
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体产品加工设备技术领域,具体是一种新型副塔机构。背景技术副塔机构为转塔式测试分选机独立模块,主要功能为对半导体产品进行激光打标和对产品表面进行视觉检查及对打印后的产品上部的字符进行检查(有无印字模糊不清,印字缺漏或多字符,有无印字错误等)。目前市场上的副塔机构会经常出现产品在副盘上旋转时甩飞的情况,另外真空破坏时不稳定导致产品从此副盘到主塔吸嘴上后产品有倾斜的现象。其次旧款的结构为4根导向杆,现在改为了2根导向杆,4根时零件加工困难且装配出来后出现上下滑动不顺畅的情况使石墨...
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