一种新型副塔机构的制作方法

本实用新型涉及一种半导体产品加工设备技术领域，具体是一种新型副塔机构。

背景技术：

副塔机构为转塔式测试分选机独立模块，主要功能为对半导体产品进行激光打标和对产品表面进行视觉检查及对打印后的产品上部的字符进行检查(有无印字模糊不清，印字缺漏或多字符，有无印字错误等)。

目前市场上的副塔机构会经常出现产品在副盘上旋转时甩飞的情况，另外真空破坏时不稳定导致产品从此副盘到主塔吸嘴上后产品有倾斜的现象。其次旧款的结构为4根导向杆，现在改为了2根导向杆，4根时零件加工困难且装配出来后出现上下滑动不顺畅的情况使石墨盘和副盘吸头固定座出现贴合不平的情况导致此处漏真空运转时产生异响。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种新型副塔机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型副塔机构，包括副塔支撑座、伺服电机、支撑板、导向杆、导杆套、副塔进气固定板、端盖、副塔感应器固定块、感应器固定座组合件A、感应器固定座组合件B、光线感应器A、光线感应器B、轴承、气管弯头、吸尘管、导通接线片、压紧片、导通片固定座、副盘吸头固定座、气路、A工位、B工位、C工位、D工位、副塔石墨盘、电磁阀、吸尘筒固定座、吸尘筒、产品、副盘吸头和压簧，所述支撑板设置在支撑座的上方，支撑板与支撑座嵌合，并通过螺钉连接，并在支撑板的倾斜端面下设置伺服电机，伺服电机通过螺钉连接支撑板，同时在伺服电机上方的支撑板上设置导通片固定座，导通片固定座的两侧设置导通接线片，位于D工位的下方区域，并且导通接线片连接旋转的副盘吸头固定座，并在导通接线片的外侧设置压紧片，所述副塔进气固定板设置在支撑板倾斜端面的上方，并在副塔进气固定板的两端设置轴承，轴承内设置导向杆，并在导向杆的顶端设置端盖，同时在轴承的外侧设置压簧，压簧分别与副塔进气固定板和支撑板连接，另在支撑板上设置导杆套，所述气管弯头设置在副塔进气固定板的两侧，并在支撑板的竖直端的侧边上设置电磁阀，气管弯头与电磁阀的接口连接，所述副塔石墨盘设置在副塔进气固定板的上方，并且副塔石墨盘通过螺钉连接副塔进气固定板，所述副盘吸头固定座设置在伺服电机的轴端，并位于副塔石墨盘的上方，并在副盘吸头固定座上设置A工位、B工位、C工位和D工位，同时在副盘吸头固定座内设置气路，气路分别与A工位、B工位、C工位和D工位对应，并且气路，所述副盘吸头设置在副盘吸头固定座上，副盘吸头内设置产品，并且副盘吸头分别与A工位、B工位、C工位和D工位对应，并与气路连通，所述副塔感应器固定块设置在支撑板的一侧，副塔感应器固定块上设置感应器固定座组合件A，并在支撑板的左端设置感应器固定座组合件B，同时在感应器固定座组合件A和感应器固定座组合件B上分别设置光线感应器A和光线感应器B，所述吸尘筒固定座设置在支撑板的竖直端面上，并在吸尘筒固定座上设置吸尘筒，吸尘筒连接吸尘管。

作为本实用新型进一步的方案：所述轴承采用LM5UU的滑动轴承。

作为本实用新型进一步的方案：所述气路的与垂直平面的夹角为45度。

作为本实用新型进一步的方案：所述气管弯头共五个，并且设置在副塔进气固定板的两侧，其中三个设置在副塔进气固定板的左侧，并且电磁阀的左边最上方的接头连接电磁阀的一端，另外4个接头接到设备的负压上。

作为本实用新型进一步的方案：所述导向杆共两个，并且设置在副塔进气固定板的两端。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：采用2根导向杆，摒弃原有4根导向杆的结构，4根导向杆时，零件加工困难且装配出来后出现上下滑动不顺畅的情况使石墨盘和副盘吸头固定座出现贴合不平的情况导致此处漏真空运转时产生异响，副盘吸头上产品吸附不稳定，使产品甩飞，2根导向杆能够保证石墨盘和副盘吸头固定座的底面完全贴合，且加工难度大大降低，装配简易方便，稳定性明显提升；

副盘吸头固定座内气流通道结构更改，旧款的气路中间有两处转弯，对正压和负压的转换也有一定的影响，导致真空吸附不及时和正压破坏不稳定的情况，采用直通的气路，与石墨盘的气腔直通，对气流影响更小，正压负压切换更及时，保证了机构运行的稳定性；

对以往结构进行改善和结构的改进，使的此模组的使用更加稳定可靠，电机带动的负载减轻，运转周期缩短，提高了效率，另外真空的吸放稳定可靠保证了产品在破到主塔吸头上的位置比较准确，减少了机台的报警率，对设备是稳定性和效率方面有明显提升。

附图说明

图1为新型副塔机构的爆炸结构示意图。

图2为新型副塔机构的装配结构示意图。

图3为新型副塔机构的剖视结构示意图。

图4为新型副塔机构中副盘吸头固定座的结构示意图。

图5为新型副塔机构中气路的结构示意图。

图6为新型副塔机构中副塔进气固定板的结构示意图。

图7为新型副塔机构中副塔石墨盘的结构示意图。

图中：副塔支撑座1、伺服电机2、支撑板3、导向杆4、导杆套5、副塔进气固定板6、端盖7、副塔感应器固定块8、感应器固定座组合件A9、感应器固定座组合件B10、光线感应器A11、光线感应器B12、轴承13、气管弯头14、吸尘管15、导通接线片16、压紧片17、导通片固定座18、副盘吸头固定座19、气路191、A工位192、B工位193、C工位194、D工位195、副塔石墨盘20、电磁阀21、吸尘筒固定座22、吸尘筒23、产品24、副盘吸头25和压簧26。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～7，本实用新型实施例中，一种新型副塔机构，包括副塔支撑座1、伺服电机2、支撑板3、导向杆4、导杆套5、副塔进气固定板6、端盖7、副塔感应器固定块8、感应器固定座组合件A9、感应器固定座组合件B10、光线感应器A11、光线感应器B12、轴承13、气管弯头14、吸尘管15、导通接线片16、压紧片17、导通片固定座18、副盘吸头固定座19、气路191、A工位192、B工位193、C工位194、D工位195、副塔石墨盘20、电磁阀21、吸尘筒固定座22、吸尘筒23、产品24、副盘吸头25和压簧26，所述支撑板3设置在支撑座1的上方，支撑板2与支撑座1嵌合，并通过螺钉连接，并在支撑板3的倾斜端面下设置伺服电机2，伺服电机2通过螺钉连接支撑板3，同时在伺服电机2上方的支撑板3上设置导通片固定座18，导通片固定座18的两侧设置导通接线片16，位于D工位的下方区域，并且导通接线片16连接旋转的副盘吸头固定座19，并在导通接线片16的外侧设置压紧片17，如此通过压紧片17将导通接线片16紧固，同时导通接线片16引线接地，避免产品24有静电产生，所述副塔进气固定板6设置在支撑板3倾斜端面的上方，并在副塔进气固定板6的两端设置轴承13，轴承13内设置导向杆4，并在导向杆4的顶端设置端盖7，同时在轴承13的外侧设置压簧26，压簧26分别与副塔进气固定板6和支撑板3连接，另在支撑板3上设置导杆套5，所述气管弯头14设置在副塔进气固定板6的两侧，并在支撑板3的竖直端的侧边上设置电磁阀21，气管弯头14与电磁阀21的接口连接，如此便于产品24的固定，所述副塔石墨盘20设置在副塔进气固定板6的上方，并且副塔石墨盘20通过螺钉连接副塔进气固定板6，如此保证副塔进气固定板6与副塔石墨盘20内气道连通的气密性，同时副塔石墨盘20内腔会形成真空后会紧紧贴附到旋转的副盘吸头固定座上，实现对一直旋转的产品24真空吸附，所述副盘吸头固定座19设置在伺服电机2的轴端，并位于副塔石墨盘20的上方，并在副盘吸头固定座19上设置A工位192、B工位193、C工位194和D工位195，同时在副盘吸头固定座19内设置气路191，气路191分别与A工位192、B工位193、C工位194和D工位195，如此副盘吸头固定座19直接锁紧到伺服电机2的旋转轴上面，由伺服电机2直接带动旋转，所述副盘吸头25设置在副盘吸头固定座19上，副盘吸头25内设置产品24，并且副盘吸头25分别与A工位192、B工位193、C工位194和D工位195对应，并与气路191连通，所述副塔感应器固定块8设置在支撑板3的一侧，副塔感应器固定块8上设置感应器固定座组合件A9，并在支撑板3的左端设置感应器固定座组合件B10，同时在感应器固定座组合件A9和感应器固定座组合件B10上分别设置光线感应器A11和光线感应器B12，如此对应检测A工位进行取放产品24，同时检测副塔吸头25内部是否有产品24，所述吸尘筒固定座22设置在支撑板3的竖直端面上，并在吸尘筒固定座22上设置吸尘筒23，吸尘筒23连接吸尘管15，如此能够把激光打标产生的粉尘抽走。

所述轴承13采用LM5UU的滑动轴承。

所述气路191的与垂直平面的夹角为45度。

所述气管弯头14共五个，并且设置在副塔进气固定板6的两侧，其中三个设置在副塔进气固定板6的左侧，并且电磁阀21的左边最上方的接头连接电磁阀21的一端，此接头可实现正压和负压的切换，另外4个接头接到设备的负压上。

所述导向杆4共两个，并且设置在副塔进气固定板6的左右两端。

本实用新型的工作原理是：副塔机构共分为4个工位：A工位为取放产品24的位置，并由光线感应器A11和光线感应器B12检测A工位进行取放产品24，同时检测副塔吸头25内部是否有产品24；B工位暂存产品24；C工位为激光打标工位,产品24由上一工位旋转至此工位进行打标，另外此处还配有吸尘筒23，可以把激光打标产生的粉尘抽走；D工位为视觉检测工位，检测由上一工位过来的产品24上部的字符(有无印字模糊不清，印字缺漏或多字符，有无印字错误等)也可检测产品24表面的缺陷等。

通过主塔吸头吸附产品送至副塔机构的上方后，主塔吸头向下运动将产品24放置到A工位的副盘吸头25内，此时副盘吸头25为负压，依此将4个副塔吸头25内均放置上产品24，同时伺服电机2旋转到各工位后进行相应的功能，当D工位的产品24检测后再旋转到A工位，此时电磁阀21控制A工位的负压切换到正压，将产品24向上稍稍吹起到向下压的空的主塔吸头上将此工位的产品24取走，取走后正压再切换到负压，再由另一个主塔吸头吸取产品24填补副盘吸头25内，依次进行对产品24的打标和检测。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。