半导体装置的测定方法与流程技术资料下载

技术编号:17440267

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本申请的说明书所公开的技术涉及半导体装置的测定方法。背景技术如果针对使用了碳化硅(SiC)的肖特基势垒二极管(Schottky barrier diode,即,SBD),或者,针对使用了碳化硅(SiC)的结势垒控制肖特基二极管(junction barrier controlled schottky diode;JBS),例如,如专利文献1(日本特开2014-229651号公报)所记载的那样,进行施加高电压的测试,则有时由于SiC中的晶体缺陷而产生点破坏。就以往的半导体芯片而言,有时流过电流的区...
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