技术编号:17469141
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种防着组件以及蒸镀设备。背景技术柔性自发光显示器中较关键的技术是发光层的镀膜,而膜层实现发光,需要有阴极和阳极的导电功能。在现有制备工艺中一般采用金属腔室来蒸镀阴极,而要使金属层膜厚均匀,必须使得蒸镀过程中的坩埚蒸发速率保持稳定。但是,金属材料密度大,膜层厚,在蒸镀过程中容易在防着板上累积,因而,易造成防着板上材料剥落掉入坩埚喷嘴口,造成坩埚喷嘴发生塞孔的风险。发明内容本发明提供了一种防着组件以及蒸镀设备,上述防着组件通过改变自身结构设计,使材料的积累具有一定的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。