一种防着组件以及蒸镀设备的制作方法

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种防着组件以及蒸镀设备。

背景技术：

柔性自发光显示器中较关键的技术是发光层的镀膜，而膜层实现发光，需要有阴极和阳极的导电功能。在现有制备工艺中一般采用金属腔室来蒸镀阴极，而要使金属层膜厚均匀，必须使得蒸镀过程中的坩埚蒸发速率保持稳定。

但是，金属材料密度大，膜层厚，在蒸镀过程中容易在防着板上累积，因而，易造成防着板上材料剥落掉入坩埚喷嘴口，造成坩埚喷嘴发生塞孔的风险。

技术实现要素：

本发明提供了一种防着组件以及蒸镀设备，上述防着组件通过改变自身结构设计，使材料的积累具有一定的方向性，可有效地降低坩埚喷嘴发生塞孔的风险。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种防着组件，包括：用于防止坩埚喷嘴被堵塞的主防着板，所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面为开口朝向所述坩埚喷嘴的凹面。

上述防着组件中，防着组件包括主防着板，主防着板一侧表面为凹面。具体的，在使用上述主防着组件时，主防着板的凹面开口朝向坩埚喷嘴、用以防止坩埚喷嘴被堵塞。

需要说明的是，由于主防着板朝向坩埚喷嘴的一侧表面为凹面，则凹形结构增大了主防着板朝向坩埚喷嘴一侧的表面积，使得单位时间内，主防着板朝向坩埚喷嘴一侧形成的附着层在主防着板正对坩埚喷嘴的中部积累量减少，可有效削弱防着板上材料剥落、造成坩埚喷嘴发生塞孔的风险。

优选地，所述主防着板的横截面为弧形，所述弧形凸向背离所述坩埚喷嘴的一侧。

优选地，所述弧形为圆形的一部分；或者，

所述弧形为椭圆形的一部分。

优选地，所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面形成有网孔层。

优选地，还包括设于所述主防着板背离所述坩埚喷嘴一侧、用于对所述主防着板的边缘部进行冷却的冷却装置。

优选地，所述冷却装置包括用于对所述主防着板的一侧边部进行冷却的第一冷却组件。

优选地，所述冷却装置包括用于对所述主防着板的两侧边部分别进行冷却的第一冷却组件和第二冷却组件。

优选地，还包括用于辅助遮蔽所述坩埚喷嘴的副防着板，当所述副防着板处于遮蔽工位时，所述副防着板设于所述主防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧，且所述副防着板的至少一部分位于所述主防着板的防护区域内。

优选地，所述副防着板为平面型防着板。

优选地，所述副防着板朝向所述坩埚喷嘴的一侧表面形成有网孔层。

本发明还提供一种蒸镀设备，包括上述技术方案提供的任意一种防着组件。

附图说明

图1为本发明实施例提供的防着组件的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的防着组件的又一结构示意图。

图标：1-坩埚喷嘴；2-主防着板；3-附着层；4-网孔层；5-冷却装置；6-副防着板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参考图1，本发明提供一种防着组件，包括：用于防止坩埚喷嘴1被堵塞的主防着板2，主防着板2朝向坩埚喷嘴1的一侧表面为开口朝向坩埚喷嘴1的凹面。

上述防着组件中，防着组件包括主防着板2，主防着板2一侧表面为凹面。具体的，在使用上述主防着组件时，主防着板2的凹面开口朝向坩埚喷嘴1、用以防止坩埚喷嘴1被堵塞。

需要说明的是，由于主防着板2朝向坩埚喷嘴1的一侧表面为凹面，则凹形结构增大了主防着板2朝向坩埚喷嘴1一侧的表面积，使得单位时间内，主防着板2朝向坩埚喷嘴1一侧形成的附着层3在主防着板2正对坩埚喷嘴1的中部积累量减少，可有效削弱防着板上材料剥落、造成坩埚喷嘴1发生塞孔的风险。

在上述技术方案的基础上，需要说明的是，可以设置主防着板2朝向坩埚喷嘴1的一侧为凹面，即，主防着板2朝向坩埚喷嘴1的一侧表面为具有向背离坩埚喷嘴1一侧凸起的非平面几何构型。

需要注意的是，上述所称的凹面可以是光滑的弧面，还可以是多个连续分布或间断分布的平面(例如平面为矩形等)构成的面。

在上述技术方案的基础上，作为一种优选实施方式，请继续参考图1，设置主防着板2的横截面为弧形，弧形凸向背离坩埚喷嘴1的一侧。

需要说明的是，当主防着板2的截面为弧形时，即，主防着板2整体形成了朝向背离坩埚喷嘴1方向的凸起，以使得主防着板2朝向坩埚喷嘴1的一侧表面为凹面，该结构可降低主防着板2的制造难度，便于减少主防着板2的制造成本。

此外，值得注意的是，当主防着板2的横截面为弧形时，增大了主防着板2朝向坩埚喷嘴1一侧的表面积，使得单位时间内，材料在主防着板2正对坩埚喷嘴1的中部所形成的附着层3的积累量减少，且坩埚喷嘴1喷出蒸镀气体后，气体附着在主防着板2中部后可向两侧边部流动，最后固化在边部上，进一步减小了主防着板2正对坩埚喷嘴1中部所形成的附着层3的材料积累量，可有效削弱防着板上材料剥落、造成坩埚喷嘴1发生塞孔的风险。

作为一种可选实施方式，弧形为圆形的一部分；或者，

作为另一种可选实施方式，弧形为椭圆形的一部分。

需要说明的是，当弧形为椭圆形的一部分时，可进一步增大主防着板2朝向坩埚喷嘴1一侧的表面积，以更好的减小主防着板2正对坩埚喷嘴1中部所形成的附着层3的材料积累量，有效削弱防着板上材料剥落、造成坩埚喷嘴1发生塞孔的风险。

在上述技术方案的基础上，为了进一步增大主防着板2朝向坩埚喷嘴1一侧的表面积，作为一种优选实施方式，请继续参考图1，在主防着板2朝向坩埚喷嘴1的一侧表面形成网孔层4。

值得注意的是，网孔层4在增大主防着板2朝向坩埚喷嘴1一侧表面积的同时，使得主防着板2上的材料可积累量增多，即，当附着层3的材料积累量相同时，设置网孔层4的主防着板2上更不容易发生材料的剥落现象。

在上述技术方案的基础上，请继续参考图1，本发明提供的防着组件还包括设于主防着板2背离坩埚喷嘴1一侧、用于对主防着板2的边缘部进行冷却的冷却装置5。

需要说明的是，在主防着板2上安装冷却装置5后，材料会累积在温度较低的部位(即，冷却装置5对应的主防着板2的边缘部)，从而可减少附着层3在主防着板2正对坩埚喷嘴1的中部的材料积累厚度，则当发生附着层3内部分材料剥落现象时，可使剥落部出现在附着层3对应主防着板2的边缘部，则该部分剥落材料并不会跌落至坩埚喷嘴1内部，造成坩埚喷嘴1的堵塞，可有效降低坩埚喷嘴1发生塞孔的风险。

在上述技术方案的基础上，作为一种可选实施方式，冷却装置5包括用于对主防着板2的一侧边部进行冷却的第一冷却组件。

作为另一种可选实施方式，冷却装置5包括用于对主防着板2的两侧边部分别进行冷却的第一冷却组件和第二冷却组件。

需要说明的是，当冷却装置5既包括第一冷却组件，又包括第二冷却组件时，可更好的对主防着板2的两侧边缘进行冷却，以使附着层3内的材料积累量主要位于边缘部，从而有效降低坩埚喷嘴1发生塞孔的风险。

上述所称的冷却，例如可以是风冷等非接触式冷却，还可以是半导体冷却、液冷等接触式冷却。

在上述技术方案的基础上，请继续参考图2，本发明提供的防着组件还包括用于辅助遮蔽坩埚喷嘴1的副防着板6，当副防着板6处于遮蔽工位时，副防着板6设于主防着板2朝向坩埚喷嘴1的一侧，且副防着板6的至少一部分位于主防着板2的防护区域内。

需要说明的是，副防着板6可以阻挡透过主防着板2掉落下来的剥落材料，从而起到双重保护作用。

具体的，可以在整个蒸镀腔室内的每个主防着板2侧部都设置一个副防着板6，该副防着板6和与其对应的主防着板2起到双重保护作用，或者，在两个或者几个主防着板2之间设置一个或者几个副防着板6，在需要的时候利用马达将副防着板6驱动到需要阻挡的位置，使其处于遮蔽工位。

在上述技术方案的基础上，具体的，选取副防着板6为平面型防着板。

同样的，为了进一步增大副防着板6朝向坩埚喷嘴1一侧的表面积，作为一种优选实施方式，副防着板6朝向坩埚喷嘴1的一侧表面形成有网孔层4。

本发明还提供一种蒸镀设备，包括上述技术方案提供的任意一种防着组件。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。