一种防着组件以及蒸镀设备的制作方法

文档序号:17469141发布日期:2019-04-20 05:42阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及显示技术领域,公开了一种防着组件以及蒸镀设备,该防着组件包括用于防止坩埚喷嘴被堵塞的主防着板,主防着板朝向坩埚喷嘴的一侧表面为开口朝向坩埚喷嘴的凹面。在使用上述主防着组件时,主防着板的凹面开口朝向坩埚喷嘴、用以防止坩埚喷嘴被堵塞。由于主防着板朝向坩埚喷嘴的一侧表面为凹面,则凹形结构增大了主防着板朝向坩埚喷嘴一侧的表面积,使得单位时间内,主防着板朝向坩埚喷嘴一侧形成的附着层在主防着板正对坩埚喷嘴的中部积累量减少,可有效削弱防着板上材料剥落、造成坩埚喷嘴发生塞孔的风险。

技术研发人员:金明洙;曾利
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
技术研发日:2019.02.25
技术公布日:2019.04.19
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