一种便于蒸发源拆装的装置的制作方法

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种便于蒸发源拆装的装置。

背景技术：

在真空镀膜技术中，蒸发使用的源材料消耗完毕时，需要对蒸发源进行拆卸更换。现有技术中的蒸发源固定在蒸发腔体的安装法兰上，且蒸发源与水平面间存在35度的倾斜角。

目前蒸发源在拆装时主要通过人工利用支撑杆，通过水平方向和竖直方向的配合移动将蒸发源从安装法兰上拆下，因蒸发源本身较重，人工拆装时，移动的速度不易控制，容易磕碰到蒸发源上的加热器，拆装过程费时费力。

技术实现要素：

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中蒸发源拆装不便的问题，从而提供一种变故蒸发源拆装的装置。

为了解决上述问题，本发明提供了一种便于蒸发源拆装的装置，底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同。

进一步地，所述伸缩机构包括：伸缩轴；气缸安装座，设置在所述底盘上；气缸，一端连接在所述气缸安装座上，另一端连接所述伸缩轴，所述气缸带动所述伸缩轴作伸缩往复运动。

进一步地，所述蒸发源的外表面设置吊孔，所述伸缩轴的一端伸入所述吊孔内，并锁付在所述吊孔上。

进一步地，本发明中的便于蒸发源拆装的装置还包括导向支撑组件，一端设置在所述底盘上，另一端支撑所述蒸发源。

进一步地，所述导向支撑组件包括：液压缸，设置在所述底盘上；液压杆，连接在所述液压缸上，液压缸驱动液压杆支撑或分离于所述蒸发源。

进一步地，所述导向支撑组件还包括：导向槽，设置在所述液压杆上，所述蒸发源的外表面部分容置在所述导向槽内。

进一步地，所述导向槽呈圆弧状，其内表面贴合于所述蒸发源的外表面。

进一步地，本发明中的便于蒸发源拆装的装置还包括：移动机构，设置与所述底盘底部，用于支撑并移动所述底盘。

进一步地，本发明中的便于蒸发源拆装的装置还包括：升降装置，设于所述底盘底部与所述移动机构之间。

进一步地，所述移动结构为四个安装在所述底盘底部的万向轮。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的便于蒸发源拆装的装置，包括：底盘；伸缩机构，设置于所述底盘上；所述伸缩机构的伸缩端可拆卸的与蒸发源连接，带动蒸发源从安装法兰上分离，或带动蒸发源装配在安装法兰上；所述伸缩机构的伸缩方向与蒸发源相对安装法兰的拆装方向相同。

与现有技术中的人工拆卸相比，本发明中利用伸缩机构的伸缩端沿着蒸发源的安装方向运动，进而带动连接在伸缩机构上的蒸发源从安装法兰上分离或靠近，拆装简单便捷，不需要人工施力辅助拆装，省时省力。

2.本发明提供的便于蒸发源拆装的装置中利用气缸驱动伸缩轴，可通过调节气缸的气量的大小来控制蒸发源的拆分速度，实现了拆装速度的可调，适应不同的工况下，尽可能的提高工作效率。

3.本发明提供的便于蒸发源拆装的装置还包括导向支撑组件具有液压缸，固定在所述底盘远离所述移动结构的端面上；液压杆，连接在所述液压缸上，且在所述液压缸的作用下向上延伸抵接于所述蒸发源上，通过液压缸驱动液压杆支撑蒸发源，利用液压缸无极调压的特点，可以精确调节液压杆作用在蒸发源上压力，防止顶压过大损伤蒸发源。

4.本发明提供的便于蒸发源拆装的装置中导向支撑组件还包括连接在液压杆上的导向槽，导向槽呈圆弧状，其内表面贴合在蒸发源的外表面，在伸缩轴作用下，蒸发源沿着导向槽的导槽滑动，导槽对蒸发源起到包覆约束作用，有利于拆装过程的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例中提供的一种便于蒸发源拆装的装置的结构示意图。

附图标记说明：

1－底盘；

2－移动结构；

3－伸缩机构；31－伸缩轴；32－气缸安装座；33－气缸；

4－蒸发源；

5－安装法兰；

6－导向支撑组件；61－液压缸；62－液压杆；63－导向槽；

7－吊孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例

如图1所示，为本实施例提供的一种便于蒸发源拆装的装置，包括底盘1，伸缩机构3设置于所述底盘1上；所述伸缩机构3的伸缩端可拆卸的与蒸发源4连接，带动蒸发源4从安装法兰5上分离，或带动蒸发源4装配在安装法兰5上，所述伸缩机构3的伸缩方向与蒸发源4相对安装法兰5的拆装方向相同。

本实施例中，底盘1由3mm厚度的钢板焊接而成，保证其具有相当的质量，以保证便于蒸发源拆装的装置在使用过程中的稳定性。

底盘1靠近地面的一端安装有移动机构2，本实施例中的移动机构2为四个万向轮，四个万向轮安装在底盘1的四角处，以保证支撑力的均匀性，在外力的作用下，所述的便于蒸发源拆装的装置可在万向轮的作用下滚动移动。本实施例中的万向轮上具有刹车片，以便在拆装蒸发源时，止停便于蒸发源拆装的装置，方便拆装。

在另一些实施方式中，底盘1靠近地面的一端可安装有滑轨，与安装在地面上或生产线上的滑槽配合使用，以实现便于蒸发源拆装的装置的移动，采用滑轨结构的话，滑轨本身具有较高的移动精度，在外力的作用下所述的便于蒸发源拆装的装置止停的位置在滑轨的作用下更准确，从而实现伸缩机构3与蒸发源4的精准对位，利于拆装结构的快速配合。

如图1所示，本实施例中的伸缩机构3安装在底盘1的上端面上，包括与底盘1通过螺钉固定连接的气缸安装座32，气缸33锁付在气缸安装座32的上端面上。气缸33上连接有伸缩轴31，本实施例中的蒸发源4以与地面间倾斜35度角的方式固定在蒸镀腔体外的安装法兰5上，基于此，本实施例中伸缩机构3的伸缩方向与蒸发源4相对安装法兰5的拆装方向相同。伸缩轴31的前端在气缸33的作用下延伸入蒸发源4上的吊孔7内，本实施例中的吊孔7上开设有螺钉通孔，伸缩轴31的前端加工有与所述螺钉通孔配合使用的螺纹孔，在伸缩轴31的前端伸入吊孔7内到达指定位置后，人工利用螺钉将二者锁付在一起。

在另一些实施方式中，气缸安装座32可设计为高度可调的升降座，在不同的工况环境下，蒸发源的尺寸以及距离地面的高度不同，可升降的气缸安装座32可以根据使用环境调节伸缩轴31的高度位置，增加了便于蒸发源拆装装置的实用性能。

在一些实施方式中，还包括有升降装置，设于所述底盘1的底部与上述的移动机构2之间，用于实现所述的便于蒸发源拆装的装置的整体高度可调，以便人工将蒸发源4从所述便于蒸发源拆装的装置取下或放置在所述便于蒸发源拆装的装置上时，有一个合理的操作高度，以减轻人工操作难度。在一个具体的实施例中，所述升降装置(图中未示出)为可调节支脚，可调节支脚具体为气杆结构，四个气杆的一端分别连接有上述的万向轮，另一端连接在底盘1的底部，调节气杆的行程完成对便于蒸发源拆装的装置的高度的调整。为了保证蒸发源4在拆装过程的稳定性，本实施例在底盘1上还安装固定了导向支撑组件6，如图1所示，导向支撑组件6一端设置在所述底盘1上，另一端支撑所述蒸发源4，其包括固定在底盘1上的液压缸61，液压缸61上连接有液压杆62，液压杆62在液压缸61的作用下伸长抵接到蒸发源4的表面，支撑蒸发源4，本实施例中的液压杆62与蒸发源4接触的地方还连接有导向槽63，导向槽63呈圆弧状，其内表面贴合在蒸发源4的外表面上，蒸发源4可伸缩轴31的带动下可在导向槽63内滑动，同时本实施例中的蒸发源4靠近安装法兰5的一端上成型有法兰边，在伸缩轴31工作不稳定时，有可能导致蒸发源4直接滑落，导向槽63可在法兰边的位置限制其滑落，起到一定的保护作用。

本实施例中的便于蒸发源拆装的装置的使用过程如下：

安装蒸发源4时，闭合万向轮的刹车片，人工将蒸发源4固定在伸缩轴31上，启动液压缸61，带动液压杆62上的导向槽63抵接到蒸发源4上，完成蒸发源4在所述的便于蒸发源拆装的装置上的固定。打开万向轮刹车片，推动所述的便于蒸发源拆装的装置到安装法兰5处，调整便于蒸发源拆装的装置的位置完成蒸发源4与安装法兰5的对位配合，启动气缸33，带动伸缩轴33向安装法兰5处延伸，将蒸发源4抵接在安装法兰5上，最终人工将蒸发源4和安装法兰5锁付在一起，完成对蒸发源4的安装工作。

拆分蒸发源4时，打开万向轮的刹车片将便于蒸发源拆装的装置人工推到蒸发源4处，启动气缸33，并调节此装置的位置，使伸缩轴31深入到吊孔7内，并用螺钉将两者锁付在一起，闭合万向轮的刹车片，启动液压缸61，带动液压杆62上的导向槽63抵接到蒸发源4上。将蒸发源4锁付在安装法兰5上的螺钉拆除，启动气缸33驱动伸缩轴31缩回，带动蒸发源4从安装法兰5上脱离，完成蒸发源4的拆卸工作。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。