技术编号:17469386
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种电解熔融盐直接合成高纯六氟化钨的装置及工艺。背景技术六氟化钨(WF6)截至目前是钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种。重要用途很多;如通过混合金属的CVD工艺制得钨/铼复合涂层,可用于太阳能吸能材料和X射线发射电极的制造;使钨在钢、铜或其它金属表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善金属的表面性能以及用于制造各种异形钨部件如钨管、钨喷嘴和钨坩埚等。WF6在电子行业中还广泛用作半导体电极和导电浆糊原材料,特别是用其制成的二硅化钨(WSi2),常被用于微电子中作为触电材料及多晶硅线上的分流...
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