技术编号:17480178
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及装卸装置技术领域,尤其涉及一种石墨模具装卸装置及其方法。背景技术石英坩埚是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿,在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器。石墨模具是生产坩埚过程中石英砂载体和保温体,最初石墨模具的厚度在20mm左右,模具重量在50kg左右,装卸模具都由人工来完成,但熔制炉数比较少,相对来说每只坩埚生产成本较高。目前,增加石墨模具的厚度是降低石英坩埚的生产成本的途径之一,但增厚后的石墨模具重量在110kg左右,人工劳动强度较大,两个人基本无法装卸,同时,需要模具冷却时...
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