技术编号:17578567
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管制造技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板。背景技术无论是风靡全球的LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)显示面板,或是正处于发展开始阶段的OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)显示面板,阵列基板或BP(Backplane)背板作为显示面板制程中最重要、最复杂工序段,其工艺流程及mask(掩膜板)设计至关重要,而其中SD layer(源漏层)的mask设计和制造方案更为重中之重。目前SD...
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