技术编号:17800531
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种吸附装置。背景技术晶片、太阳能电池、芯片等多为脆性材料,弯曲半径十分有限,超过极限会损坏其性能。以薄膜太阳能电池为例,目前在薄膜太阳能电池生产工序中,利用真空吸盘对其进行吸平、固定。但现有真空吸盘结构主要为在金属板上开设通气孔,在较高真空度下,薄膜在通气孔处会形成“凹陷”,导致薄膜损伤。实用新型内容本实用新型提供了一种吸附装置,以解决现有技术中在吸附薄膜材料时容易损伤薄膜的问题。为了解决上述问题,本实用新型提供了一种吸附装置,包括:吸附结构,吸附结...
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