吸附装置的制作方法

本实用新型涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种吸附装置。

背景技术：

晶片、太阳能电池、芯片等多为脆性材料，弯曲半径十分有限，超过极限会损坏其性能。以薄膜太阳能电池为例，目前在薄膜太阳能电池生产工序中，利用真空吸盘对其进行吸平、固定。但现有真空吸盘结构主要为在金属板上开设通气孔，在较高真空度下，薄膜在通气孔处会形成“凹陷”，导致薄膜损伤。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种吸附装置，以解决现有技术中在吸附薄膜材料时容易损伤薄膜的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种吸附装置，包括：吸附结构，吸附结构上具有多个通气孔；覆膜透气纺织材料，设置在吸附结构上并覆盖住多个通气孔，吸附结构能够产生负压，以通过多个通气孔将产品吸附在覆膜透气纺织材料上。

进一步地，覆膜透气纺织材料为四氟布、特氟龙涂层纺织物、陶瓷涂层织物、纺织陶瓷中的一种或多种。

进一步地，吸附装置还包括：连接结构，用于将覆膜透气纺织材料与吸附结构连接。

进一步地，连接结构包括：第一连接部，第一连接部将覆膜透气纺织材料的第一端与吸附结构连接；第二连接部，第二连接部将覆膜透气纺织材料的第二端与吸附结构连接。

进一步地，第一连接部和第二连接部分别位于吸附结构的两侧，第一连接部和第二连接部能够将覆膜透气纺织材料张紧。

进一步地，第一连接部包括夹持部，夹持部与吸附结构连接，夹持部具有间隙，覆膜透气纺织材料的第一端至少部分地夹设在间隙中。

进一步地，夹持部包括可分离连接的第一固定杆和第二固定杆，第一固定杆和/或第二固定杆与吸附结构连接，间隙位于第一固定杆和第二固定杆之间。

进一步地，第一连接部还包括：挂耳，设置在吸附结构上，夹持部的端部设置在挂耳的凹槽内。

进一步地，第二连接部包括：压板，与吸附结构连接，压板将覆膜透气纺织材料的第二端压靠在吸附结构上。

进一步地，吸附结构包括：吸盘，多个通气孔设置在吸盘上；基座，基座具有能够产生负压的吸附腔，吸盘设置在基座上，多个通气孔均与吸附腔连通，覆膜透气纺织材料与吸盘和/或基座连接；支撑板，设置在基座的侧面，支撑板具有用于支撑覆膜透气纺织材料的弧形面。

应用本实用新型的技术方案，提供了一种吸附装置，其中，在吸附结构上设置有覆膜透气纺织材料，并且覆膜透气纺织材料覆盖住吸附结构的多个通气孔，由于覆膜透气纺织材料的存在，即可保证通气孔的透气性又可覆盖通气孔，这样吸附结构在吸附薄膜材料等产品时，在通气孔处覆膜透气纺织材料可对薄膜进行阻挡，以防止薄膜在通气孔处产生凹陷变形，从而可以避免薄膜损伤。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型的实施例提供的吸附装置的结构示意图；

图2示出了图1的另一视图；

图3示出了图1的剖视图；

图4示出了图3在A位置的放大图；

图5示出了图1中的吸附装置在使用时的示意图；

图6示出了图1中的吸盘的结构示意图；

图7示出了图1中的密封板的结构示意图；

图8示出了图1中的基座的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、吸附结构；11、吸盘；12、基座；13、支撑板；14、密封板；15、阀组；16、底座；20、覆膜透气纺织材料；30、第一连接部；31、夹持部；311、第一固定杆；312、第二固定杆；32、挂耳；40、第二连接部；50、薄膜太阳能电池。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1至图8所示，本实用新型的实施例提供了一种吸附装置，包括：吸附结构10，吸附结构10上具有多个通气孔；覆膜透气纺织材料20，设置在吸附结构10上并覆盖住多个通气孔，吸附结构10能够产生负压，以通过多个通气孔将产品吸附在覆膜透气纺织材料20上。

应用本实施例的技术方案，在吸附结构10上设置有覆膜透气纺织材料20，并且覆膜透气纺织材料20覆盖住吸附结构10的多个通气孔，由于覆膜透气纺织材料20的存在，即可保证通气孔的透气性又可覆盖通气孔。如图5所示，这样吸附结构10在吸附薄膜太阳能电池50等产品时，在通气孔处覆膜透气纺织材料20可对薄膜太阳能电池50进行阻挡，以防止薄膜太阳能电池50在通气孔处产生凹陷变形，从而可以避免薄膜太阳能电池50损伤。

在本实施例中，覆膜透气纺织材料20为在纺织材料的表面涂覆一层薄膜并且仍然具有透气性的材料。通过上述设置，可以防止PSA等胶外溢凝固后与纺织材料粘连。

在本实施例中，可以将覆膜透气纺织材料20设置为四氟布、特氟龙涂层纺织物、陶瓷涂层织物、纺织陶瓷中的一种或多种。其中，四氟布具有表面低粘性、平整、透气、耐高温、抗拉强度高、致密等优点，这样可以提高覆膜透气纺织材料20的使用寿命。在本实施例中，可以将覆膜透气纺织材料20可拆卸地与吸附结构10连接，当覆膜透气纺织材料20发生损坏时进行更换即可。

在本实施例中，吸附装置还包括：连接结构，连接结构用于将覆膜透气纺织材料20与吸附结构10连接。通过连接结构便于覆膜透气纺织材料20的安装和拆卸。通过连接结构可以采用磁吸、粘贴、螺栓拧紧等方式将覆膜透气纺织材料20与吸附结构10连接。例如，可以在覆膜透气纺织材料20的端部设置铁磁性柔性编制网，并将连接结构设置为磁性材料，通过连接结构与铁磁性柔性编制网的吸合来固定覆膜透气纺织材料20。

在本实施例中，连接结构包括：第一连接部30，第一连接部30将覆膜透气纺织材料20的第一端与吸附结构10连接；第二连接部40，第二连接部40将覆膜透气纺织材料20的第二端与吸附结构10连接。这样可通过第一连接部30和第二连接部40将覆膜透气纺织材料20的两端可靠地固定在吸附结构10上。

在本实施例中，第一连接部30和第二连接部40分别位于吸附结构10的两侧，第一连接部30和第二连接部40能够将覆膜透气纺织材料20张紧。通过上述设置，可以将覆膜透气纺织材料20伸展开并与吸盘紧贴，这样可使得覆膜透气纺织材料20具有一定的拉力，从而对薄膜太阳能电池进行阻挡，防止薄膜太阳能电池产生凹陷变形。

如图1和图2所示，第一连接部30包括夹持部31，夹持部31与吸附结构10连接，夹持部31具有间隙，覆膜透气纺织材料20的第一端至少部分地夹设在间隙中。这样可通过夹持部31的间隙夹持住覆膜透气纺织材料20的第一端，以将覆膜透气纺织材料20的第一端固定在吸附结构10上。

在本实施例中，可以将夹持部31可转动地设置在吸附结构10上，这样可对覆膜透气纺织材料20进行卷曲。在使用时可以将覆膜透气纺织材料20的长度设置为吸盘11的多倍，当一段覆膜透气纺织材料20损坏或粘有杂质时，可以转动夹持部31卷曲使用过的覆膜透气纺织材料20，并将新的覆膜透气纺织材料20转动到与吸盘11对应的位置继续使用。

如图4所示，夹持部31包括可分离连接的第一固定杆311和第二固定杆312，第一固定杆311和/或第二固定杆312与吸附结构10连接，间隙位于第一固定杆311和第二固定杆312之间。这样可通过第一固定杆311和第二固定杆312的配合夹持住覆膜透气纺织材料20。在本实施例中，第一固定杆311和第二固定杆312的相对的表面为平面。第一固定杆311和第二固定杆312的截面可以设置为半圆形。第一固定杆311和第二固定杆312通过螺钉固定。

如图1至图4所示，第一连接部30还包括：挂耳32，设置在吸附结构10上，夹持部31的端部设置在挂耳32的凹槽内。这样可通过钩挂的方式将夹持部31与挂耳32连接。此种设置方式便于覆膜透气纺织材料20的安装和拆卸。在本实施例中，可以将挂耳32设置为两个，夹持部31的两端分别设置在挂耳32的凹槽内。

在本实施例中，第二连接部40包括：压板，与吸附结构10连接，压板将覆膜透气纺织材料20的第二端压靠在吸附结构10上。这样可通过压板与吸附结构10的连接夹住覆膜透气纺织材料20。在安装时，可以先通过第一连接部30将覆膜透气纺织材料20的第一端与吸附结构10连接，然后拉拽覆膜透气纺织材料20的第二端，将覆膜透气纺织材料20拉紧后再通过第二连接部40将覆膜透气纺织材料20的第二端与吸附结构10连接。

在本实施例中，吸附结构10包括：吸盘11，多个通气孔设置在吸盘11上；基座12，基座12具有能够产生负压的吸附腔，吸盘11设置在基座12上，多个通气孔均与吸附腔连通，覆膜透气纺织材料20与吸盘11和/或基座12连接；支撑板13，设置在基座12的侧面，支撑板13具有用于支撑覆膜透气纺织材料20的弧形面。这样可通过吸附腔产生的负压来吸附产品。通过支撑板13可以对覆膜透气纺织材料20起到支撑作用，而且，支撑板13上的弧形面与覆膜透气纺织材料20接触利于覆膜透气纺织材料20的张紧，也可以避免锐角结构对覆膜透气纺织材料20造成损伤。

在本实施例中，基座12上的吸附腔可以设置为多个独立的腔室，并独立控制每个腔室的开闭。

在本实施例中，吸附结构10还包括密封板14，密封板14设置在吸盘11与基座12之间以起到密封效果，防止漏气，密封板14的形状与基座12匹配。吸附结构10还包括阀组15，阀组15用于控制气体流动。在本实施例中，吸附结构10还包括底座16，基座12和阀组15均设置在底座16上，通过底座16便于吸附结构10的装配。

通过上述技术方案，可以产生以下技术效果：

1，保护薄膜太阳能电池以免形变损伤。吸附真空度适应范围可达：-5KPa～-95KPa，降低了生产设备对真空度精度需求。

2，保护吸盘免于堵塞，在叠片机处理工序点胶和层压操作时，挤出的胶滴将附着在覆膜透气纺织材料上，不会堵塞吸盘上的通气孔，故无需频繁清洁吸盘，只需更换失效的覆膜透气纺织材料。

3，覆膜透气纺织材料热阻大于金属，采用覆盖式加热单元(例如电加热毯)对薄膜太阳能电池加热时，利于温度的一致性，可以得到更好的温升曲线和温度场。

4，实施工艺简单，技术成熟，成本较低，利于实现自动化作业。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。