一种传输装置的制作方法

本实用新型涉及气相外延设备技术领域，尤其涉及一种传输装置。

背景技术：

金属有机物化学气相沉积(MOCVD)，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种化学气相沉积工艺，用于生长外延晶片。它是以III族、II族元素的有机化合物和V、VI族元素的氢化物等作为晶体生长的反应气体，以热分解反应方式在蓝宝石衬底或其他衬底上进行外延沉积工艺，生长各种III-V族、II-VI族化合物半导体以及它们的多元固溶体的外延材料层。通常MOCVD的生长条件是在低压(1000-10000pa)下进行，生长使用的载气(通常为N2或H2)与原料气体按一定比例混合通入反应腔内，衬底温度一般在700-1500K之间。

目前在薄膜太阳能电池组件中，薄膜层起到光电转换的作用，其性能在很大程度上决定了电池片的光电转换效率，即电池片的关键性能参数。薄膜层一般采用MOCVD的加工方式进行材料生长，在整条薄膜太阳能电池片生产线中，MOCVD设备成本占据非常高的比例，其产能的提高能够极大的降低电池片的制造成本。

传输腔模块是MOCVD设备中的关键组成部分，其主要功能是将载板从设备加载端传递至其内部，载板传递过程中，传输腔的设计要保证载板能够在快速状态下，稳定而安全的到达指定位置。传输腔模块是MOCVD设备中的关键组成部分，其主要功能是将载板从设备加载端传递至其内部，载板传递过程中，传输腔的设计要保证载板能够在快速状态下，稳定而安全的到达指定位置。同时，在工艺腔打开时，传输腔的设计还要能快速而精确的将载板从传输腔传递至工艺腔中。待工艺结束时，传输腔的也要满足将载板从工艺腔传出至设备的加载端。

为了保证载板在传输运动时，运动方向保持与传输轴线一致，腔室侧板内侧设计有传动调整机构，传动调整机构的主要结构由与腔室侧壁焊接一体的传动调整支撑台与安装在台上的调整轮固定轴及绕轴旋转的调整轮组成。而根据实际调试运行发现此种方案存在以下几点缺陷：

1)传输腔室较大，调整轮支撑台与旋转轴安装的垂直度难以保证，导致调整轮与载板的间隙难以保证至要求尺寸，载板运行稳定性不高。

2)传输调整轮支撑台与腔室为焊接一体结构，旋转轴安装在支撑台上，此种结构方式无法在设备调试时根据实际需要去调整调轮与载板之间的间隙大小，风险较大。

技术实现要素：

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是解决现有的传输装置中传输调整轮与腔室为一体结构，使调整轮安装位置的平面度以及调整轮与载板间隙调整无法达到要求的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种传输装置，包括传输组件和调整组件，所述传输组件包括腔室和位于所述腔室内用于输送载板的传送件，所述调整组件沿所述载板的传输方向设置于所述腔室的内侧壁上；所述调整组件包括调整轮和调整轮支撑台，所述调整轮支撑台与所述腔室的内侧壁通过第一连接件可拆卸连接，所述调整轮设置于所述调整轮支撑台上。

其中，所述第一连接件包括第一紧固件，所述调整轮支撑台上设有第一安装孔，所述第一紧固件通过所述第一安装孔将所述调整轮支撑台与所述腔室的内侧壁连接。

其中，所述调整轮支撑台上还设有第一顶丝，所述第一顶丝与所述腔室的内侧壁连接。

其中，所述调整轮与所述调整轮支撑台通过第二连接件可调节连接。

其中，所述第二连接件包括调整块和第二紧固件，所述调整块上设有第二安装孔，所述第二紧固件通过所述第二安装孔将所述调整块与所述调整轮支撑台连接。

其中，所述调整块上还设有第二顶丝，所述第二顶丝与所述调整轮支撑台连接。

其中，所述调整轮支撑台与所述调整块连接的表面设有凸台，所述凸台位于所述调整块与所述腔室的内侧壁之间。

其中，所述第一紧固件为螺钉。

其中，所述第二紧固件为螺钉。

其中，所述传送件包括滚轮，所述滚轮的外圆周面可与所述载板的底面接触。

(三)有益效果

本实用新型的上述技术方案具有如下优点：本实用新型的传输装置由腔室及腔室内部相关传送件组成，载板在通过腔室时，传递动力主要靠腔室两侧的传送件，传递过程中，为保证载板运动方向的精确度，两侧腔室壁上有相关调整组件，当载板与传输方向有所偏离时，载板边缘会接触调整轮的外圆周面，调整轮转动对载板进行传输定位。本实用新型将调整组件与腔室进行分离，调整轮支撑台通过外在第一连接件与腔室内侧壁进行可拆卸连接安装，调整轮设置在调整轮支撑台上，调整轮的轴向与载板的传输方向垂直，调整轮的外圆周面可与载板的边缘接触，通过活动第一连接件，调整调整轮支撑台的位置角度，可有效保证腔室内所有调整轮支撑台上调整轮所在面的整体平面度的精度，保证了滚轮安装基准面的精度，从而便于调整轮与载板的间隙达到要求尺寸，提高载板运行稳定性，以及载板的传输精度和效率。本实用新型结构简单可靠，可有效保证载板传输方向的一致性和调整轮位置的调整性，由原来不可调式的结构优化为可调式，同时也增加了后续载板传输方向的可调节性，在腔室主要为载板进入MOCVD工艺环境时保证传输的精确性与稳定性，对实现和保证设备的高产能具有重要意义。

除了上面所描述的本实用新型解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本实用新型的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明。

附图说明

图1是本实用新型实施例传输装置的结构示意图；

图2是图1中B-B的截面图；

图3是图2中C向视图；

图4是图2中D向视图。

图中：1：传输组件；2：调整组件；3：载板；4：第一连接件；5：第二连接件；6：凸起；11：腔室；12：传送件；21：调整轮；22：调整轮支撑台；41：第一紧固件；42：第一顶丝；51：调整块；52：第二紧固件；53：第二顶丝；121：滚轮。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供的传输装置，包括传输组件1和调整组件2，传输组件1包括腔室11和位于腔室11内用于输送载板3的传送件12，调整组件2沿载板3的传输方向设置于腔室11的内侧壁上，调整组件2包括调整轮21和调整轮支撑台22，调整轮支撑台22与腔室11的内侧壁通过第一连接件4可拆卸连接，调整轮21设置于调整轮支撑台22上。

本实用新型的传输装置由腔室及腔室内部相关传送件组成，载板在通过腔室时，传递动力主要靠腔室两侧的传送件，传递过程中，为保证载板运动方向的精确度，两侧腔室壁上有相关调整组件，当载板与传输方向有所偏离时，载板边缘会接触调整轮的外圆周面，调整轮转动对载板进行传输定位。本实用新型将调整组件与腔室进行分离，调整轮支撑台通过外在第一连接件与腔室内侧壁进行可调节连接安装，调整轮设置在调整轮支撑台上，调整轮的轴向与载板的传输方向垂直，调整轮的外圆周面可与载板的边缘接触，通过活动第一连接件，调整调整轮支撑台的位置角度，可有效保证腔室内所有调整轮支撑台上调整轮所在面的整体平面度的精度，保证了滚轮安装基准面的精度，从而便于调整轮与载板的间隙达到要求尺寸，提高载板运行稳定性，以及载板的传输精度和效率。本实用新型结构简单可靠，可有效保证载板传输方向的一致性和调整轮位置的调整性，由原来不可调式的结构优化为可调式，同时也增加了后续载板传输方向的可调节性，在腔室主要为载板进入MOCVD工艺环境时保证传输的精确性与稳定性，对实现和保证设备的高产能具有重要意义。

其中，如图4所示，第一连接件4包括第一紧固件41，调整轮支撑台22上设有第一安装孔，第一紧固件41通过第一安装孔将调整轮支撑台22与腔室11的内侧壁连接。其中，调整轮支撑台22还设有第一顶丝42，第一顶丝42与腔室11的内侧壁连接。本实施例中，调整轮支撑台与腔室通过4个第一紧固件进行固定，在固定时，4个第一紧固件中间有2个调平的第一顶丝，当顶丝将调整轮支撑台与腔室内壁的相对位置调整好后，再将4个第一紧固件拧紧，形成调整轮的高精度安装调整。

其中，调整轮21与调整轮支撑台22通过第二连接件5可调节连接。调整轮通过外在的第二连接件与调整轮支撑台可调节连接，在固定过程中，通过活动第二连接件，可实现对调整轮在调整轮支撑台上的位置调整，便可控制调整轮的外圆周面与载板边缘的间隙。

其中，如图3所示，第二连接件5包括调整块51和第二紧固件52，调整轮21设置于调整块51上，调整块51上设有第二安装孔，第二紧固件52通过第二安装孔将调整块51与调整轮支撑台22连接，第二安装孔的形状为条状，且垂直于载板3的传输方向。其中，调整块51上还设有第二顶丝53，第二顶丝53与调整轮支撑台22连接。调整轮支撑台与腔室内壁位置确定后，再通过调整块上的第二顶丝和第二紧固件，将调整块与调整轮支撑台的相对位置调整好，以确保安装在调整轮支撑台上的调整轮位置，进而保证可以保证载板的运动方向的精确度。本实施例中，在调整轮支撑台上增加调整块的设计，调整轮安装在调整块上，调整块上有4个第二安装孔，第二安装孔为长圆的螺纹安装通孔，4个第二安装孔中间分布有3个第二顶丝，第二紧固件在第二安装孔中，可通过长圆的第二安装孔可以在小范围内调整调整块距离载板的距离，从而实现对调整轮位置的调整，改变对调整轮与载板间的间隙大小，第二顶丝可以通过对调整块水平面的调整来控制调整轮与载板的相对平行度，保证调整轮与载板在水平面上的相对位置关系，达到对调整轮位置精确调节的效果。

其中，调整轮支撑台222与调整块51连接的表面设有凸起6，凸起6位于调整块51与腔室11的内侧壁之间。调整轮的上表面设置凸起，形成台阶面结构，该台阶面为二次加工面，由于凸起设置于调整块与腔室内侧壁之间，所以可对调整块位置进行一定的限制定位，保证调整块调整的精确度。

其中，第一紧固件41与第二紧固件52均为螺钉。调整轮支撑台与腔室进行调平后螺装，调整块与调整轮支撑台进行调平后螺装。结构简单，安装调整方便，便于拆卸修整。

其中，传送件12包括滚轮121，滚轮121的外圆周面可与载板3的底面接触。腔室整体为一箱体结构，前后端分别设有进口与出口，腔室两侧有驱动载板传输的传送件，载板运行时，载板依靠滚轮的摩擦力前后运动。本实施例中滚轮与调整轮交替间隔设置，且在腔室两侧对称设置，以在整个载板输送过程中，实时保证载板的输送方向与传送精确度。

综上所述，本实用新型的传输装置由腔室及腔室内部相关传送件组成，载板在通过腔室时，传递动力主要靠腔室两侧的传送件，传递过程中，为保证载板运动方向的精确度，两侧腔室壁上有相关调整组件，当载板与传输方向有所偏离时，载板边缘会接触调整轮的外圆周面，调整轮转动对载板进行传输定位。本实用新型将调整组件与腔室进行分离，调整轮支撑台通过外在第一连接件与腔室内侧壁进行可调节连接安装，调整轮设置在调整轮支撑台上，调整轮的轴向与载板的传输方向垂直，调整轮的外圆周面可与载板的边缘接触，通过活动第一连接件，调整调整轮支撑台的位置角度，可有效保证腔室内所有调整轮支撑台上调整轮所在面的整体平面度的精度，保证了滚轮安装基准面的精度，从而便于调整轮与载板的间隙达到要求尺寸，提高载板运行稳定性，以及载板的传输精度和效率。本实用新型结构简单可靠，可有效保证载板传输方向的一致性和调整轮位置的调整性，由原来不可调式的结构优化为可调式，同时也增加了后续载板传输方向的可调节性，在腔室主要为载板进入MOCVD工艺环境时保证传输的精确性与稳定性，对实现和保证设备的高产能具有重要意义。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。