技术编号：17878568
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于机械领域，具体涉及一种硅片同时翻转装置。背景技术硅片翻转在硅片生产工艺中有很广泛的运用，如刻蚀、丝网印刷、硅片颜色分选都需要对硅片做正反面的检测，所以硅片翻转机构设计影响到生产工艺要求和设备产能。现有技术中，主要依靠人工进行翻转装配，效率低下，浪费人力，而且容易造成硅片的破损。有的采用单独翻转台，此翻转对于多道同时工作时容易造成硅片出料不齐，在进出清洗设备或花篮时容易破碎。发明内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片同时翻转装置，以解决现有技术存在的效果不佳等问题。为解决上述技...
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