一种硅片同时翻转装置的制作方法

本实用新型属于机械领域，具体涉及一种硅片同时翻转装置。

背景技术：

硅片翻转在硅片生产工艺中有很广泛的运用，如刻蚀、丝网印刷、硅片颜色分选都需要对硅片做正反面的检测，所以硅片翻转机构设计影响到生产工艺要求和设备产能。

现有技术中，主要依靠人工进行翻转装配，效率低下，浪费人力，而且容易造成硅片的破损。有的采用单独翻转台，此翻转对于多道同时工作时容易造成硅片出料不齐，在进出清洗设备或花篮时容易破碎。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片同时翻转装置，以解决现有技术存在的效果不佳等问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种硅片同时翻转装置，它包括设置在支架上的旋转翻转架和驱动装置；其中，所述的驱动装置包括依次连接的伺服电机、联轴器和翻转轴。

其中，所述的旋转翻转架为叶轮结构的翻转架。

其中，所述的旋转翻转架包括四个及以上均匀分布的叶片。

其中，相邻两叶片间设有放置硅片的卡位。

其中，翻转轴垂直通过旋转翻转架的轴心。

其中，翻转轴上设有10个旋转翻转架。

有益效果：

与现有技术相比，本实用新型可满足硅片的同时翻转，可满足硅片刻蚀、丝网印刷、颜色分选硅片翻转的工艺要求的运用。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的左视图。

具体实施方式

实施例1

如图1和图2所示的硅片同时翻转装置，硅片连续输送进入旋转翻转架2，所述旋转翻转架为叶轮结构的翻转架，所述叶轮结构包括12个以上均匀分布的叶片1，每两个相邻的叶片设有用于置放所述硅片的卡位8。驱动伺服电机6带动旋转翻转架2转动到硅片出位置，硅片被输送出翻转机构，实现硅片的翻转。驱动伺服电机6带动联轴器5转动，驱动翻转轴4转动，旋转翻转架2固定在翻转轴上转动，驱动伺服电机6、联轴器5、旋转翻转架全部固定在支架7上。

本运用新型硅片翻转机构，配合硅片有翻转工艺要求的场合使用。硅片输送机将硅片输送到旋转翻转架2中的等分叶片1空隙中后，驱动伺服电机6在得到硅片3进入空隙后的信号后会旋转30°，硅片3连续输送进入，旋转翻转架2在驱动伺服电机6带动下连续转动；硅片3进入硅片出位置时，硅片被硅片输送机送出；硅片进与硅片出实现连续不间断工作。