1.一种硅片同时翻转装置，其特征在于，它包括设置在支架(7)上的旋转翻转架(2)和驱动装置；其中，所述的驱动装置包括依次连接的伺服电机(6)、联轴器(5)和翻转轴(4)；
翻转轴(4)垂直通过旋转翻转架(2)的轴心；
翻转轴(4)上设有10个旋转翻转架(2)；
所述的旋转翻转架(2)为叶轮结构的翻转架，
所述的旋转翻转架(2)包括四个及以上均匀分布的叶片(1) ，
相邻两叶片(1)间设有放置硅片的卡位(8)。