一种硅片同时翻转装置的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种硅片同时翻转装置，它包括设置在支架上的旋转翻转架和驱动装置；所述的驱动装置包括依次连接的伺服电机、联轴器和翻转轴。与现有技术相比，本实用新型可满足硅片的同时翻转，可满足硅片刻蚀、丝网印刷、颜色分选硅片翻转的工艺要求的运用。

技术研发人员：张弛;王志刚;王四海
受保护的技术使用者：南京卓胜自动化设备有限公司
技术研发日：2018.07.13
技术公布日：2019.06.11