技术编号:17883426
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种蒸镀源装置,特别是涉及一种用于蒸镀有机材料的蒸镀源装置。背景技术现有技术的OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管,简称OLED)蒸镀设备在蒸镀有机材料时,是将有机材料放置在蒸镀坩埚内,并通过加热线圈等加热装置对蒸镀坩埚加热,使其蒸镀坩埚内有机材料由粉状固态转化成液态而升华。但是由于现有技术的蒸镀设备内没有搅拌机构,仅是依靠加热装置加热蒸镀坩埚使蒸镀坩埚内的有机材料升华,无法使蒸镀坩埚内的有机材料达到有效的均温转换,易造成材料液化不完全...
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