蒸镀源装置的制作方法

本实用新型涉及一种蒸镀源装置，特别是涉及一种用于蒸镀有机材料的蒸镀源装置。

背景技术：

现有技术的OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管，简称OLED)蒸镀设备在蒸镀有机材料时，是将有机材料放置在蒸镀坩埚内，并通过加热线圈等加热装置对蒸镀坩埚加热，使其蒸镀坩埚内有机材料由粉状固态转化成液态而升华。

但是由于现有技术的蒸镀设备内没有搅拌机构，仅是依靠加热装置加热蒸镀坩埚使蒸镀坩埚内的有机材料升华，无法使蒸镀坩埚内的有机材料达到有效的均温转换,易造成材料液化不完全，进而导致有机材料的浪费。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种蒸镀源装置，以解决上述技术问题，具体的技术方案如下：提供一种蒸镀源装置，装设在蒸镀设备中，用于蒸镀有机材料，其中蒸镀源装置包括：蒸镀坩埚，用于承装有机材料；加热器，与蒸镀坩埚对应设置，加热器用于加热蒸镀坩埚；磁性搅拌机构，设置于蒸镀坩埚内，磁性搅拌机构用于搅拌有机材料；以及电磁驱动机构，设置于蒸镀坩埚外侧，电磁驱动机构与磁性搅拌机构对应设置，电磁驱动机构通电并产生一磁场，磁场与磁性搅拌机构相互作用，驱动磁性搅拌机构转动而搅拌有机材料。

在一种可能的设计中，电磁驱动机构为交流电磁线圈，蒸镀坩埚设置在交流电磁线圈内。

在一种可能的设计中，磁性搅拌机构为带有感磁性的金属搅拌叶。

在一种可能的设计中，金属搅拌叶表面还设有一层非金属层。

在一种可能的设计中，非金属层的材质为陶瓷或氮化硼或二氧化锆。

在一种可能的设计中，金属搅拌叶包括：轴杆，竖直设置于蒸镀坩埚内，轴杆是与电磁驱动机构对应设置，轴杆通过电磁驱动机构驱动转动；以及多个搅拌叶片，从上至下依次设置于轴杆上，多个搅拌叶片通过轴杆带动转动而搅拌有机材料。

在一种可能的设计中，轴杆与多个搅拌叶片为一体式结构。

在一种可能的设计中，蒸镀源装置还包括电磁铁控制单元，电磁铁控制单元与电磁驱动机构连接，电磁铁控制单元用于控制电磁驱动机构的通电电压量，以驱动磁性搅拌机构转动。

在一种可能的设计中，加热器为加热线圈，加热线圈缠绕在蒸镀坩埚上。

在一种可能的设计中，蒸镀源装置还包括坩埚加热控制单元，与加热线圈连接，坩埚加热控制单元用于控制加热线圈的通电电流量，以加热蒸镀坩埚。

本实用新型与现有技术相比具有的优点有：

1、本实用新型的蒸镀源装置可在蒸镀设备蒸镀有机材料时，通过电磁驱动机构驱动磁性搅拌机构转动而搅拌有机材料，使有机材料在坩锅内加热升华时受热均匀，避免有机材料受热不均，造成材料液化不完全，进而导致有机材料的浪费；

2、本实用新型的电磁驱动机构与磁性搅拌机构为非接触式电磁驱动式结构，可避免外部连接的其他结构污染有机材料。

附图说明

利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的内容不构成对本实用新型的任何限制。

图1是本实用新型一实施例的蒸镀源装置的结构示意图。

图2是本实用新型一实施例的金属搅拌叶的结构示意图。

图3是本实用新型一实施例的蒸镀源装置装设在蒸镀设备在中的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的一实施例中揭露了一种蒸镀源装置1，请参考图1-3所示，装设在蒸镀设备2中，用于蒸镀有机材料3，蒸镀源装置1包括蒸镀坩埚4、加热器5、磁性搅拌机构6和电磁驱动机构7，其中：

请参考图3所示，蒸镀坩埚4用于承装有机材料3，在本实用新型中对于蒸镀坩埚4的选择没有特殊要求，参照本领域常规选择即可。

请参考图1、3所示，加热器5与蒸镀坩埚4对应设置，加热器5用于加热蒸镀坩埚4，本实施例公开的加热器5为加热线圈，加热线圈缠绕在蒸镀坩埚4上，通过给加热线圈通以电流，使加热线圈发热而加热蒸镀坩埚4，进而蒸镀有机材料3，然加热器5的结构并不局限于此，本领域技术人员可以根据本实用新型的教导选择其他的合适的加热器5，例如为加热丝或加热筒。

请参考图1、3所示，磁性搅拌机构6设置于蒸镀坩埚4内，磁性搅拌机构6用于搅拌有机材料3，本实施例公开的磁性搅拌机构6为带有感磁性的金属搅拌叶，但并不以此为限，本领域技术人员也可以根据本实用新型的教导选择其他合适的带有感磁性的搅拌机构。本实施例进一步公开的金属搅拌叶表面还设有一层非金属层，以提高金属搅拌叶的耐腐蚀性、耐磨性及耐高溫性，非金属层的材质为陶瓷或氮化硼或二氧化锆，但并不以此为限，本领域技术人员可以根据本实用新型的教导选择其他合适的无机材料作为非金属层的材质。

在一优选实施例中，请参考图2所示，金属搅拌叶包括轴杆61和多个搅拌叶片62，轴杆61竖直设置于蒸镀坩埚4内，轴杆61是与电磁驱动机构7对应设置，本实施例公开的设置方式是轴杆61活动设置于蒸镀坩埚4内并位于电磁驱动机构7的中间位置，本实用新型中所指的活动设置是轴杆61可绕着其轴心自由转动。电磁驱动机构7通电产生一磁场而驱动轴杆61转动，多个搅拌叶片62从上至下依次设置于轴杆61上，多个搅拌叶片62与轴杆61可以为一体式结构，也可以为通过焊接方式连接，但并不以此为限。多个搅拌叶片62通过轴杆61带动转动而搅拌有机材料3，然金属搅拌叶的结构并不局限于此，本领域技术人员可以根据本实用新型的教导选择其他合适的金属搅拌叶结构，例如为螺旋状金属搅拌叶片。

请参考图1、3所示，电磁驱动机构7设置于蒸镀坩埚4外侧，电磁驱动机构7与磁性搅拌机构6对应设置，本实施例公开的电磁驱动机构7为交流电磁线圈，蒸镀坩埚4设置在交流电磁线圈内，磁性搅拌机构6设置在蒸镀坩埚4内，然电磁驱动机构7、磁性搅拌机构6及蒸镀坩埚4的设置方式并不局限于此，本领域技术人员可以根据实际需求选择对应的设置方式。电磁驱动机构7通电并产生一磁场，磁场与磁性搅拌机构6相互作用，驱动磁性搅拌机构6转动而搅拌有机材料3，由于本实用新型中的电磁驱动机构7与磁性搅拌机构6为非接触式电磁驱动式结构，因此可避免外部连接的其他结构污染有机材料。同时，电磁驱动机构7驱动磁性搅拌机构6转动而搅拌有机材料3，可使有机材料3在蒸镀坩埚4内加热升华时受热均匀，避免有机材料受热不均，造成材料液化不完全，进而导致有机材料的浪费。

在一优选实施例中，请参考图1、3所示，蒸镀源装置1还包括电磁铁控制单元8，电磁铁控制单元8与电磁驱动机构7连接，电磁铁控制单元8用于控制电磁驱动机构7的通电电压量，以驱动磁性搅拌机构6转动，本实用新型中的通电电压以交流电压为主,并且电磁驱动机构7的通过电压量越大磁场越强,磁性搅拌机构6(金属搅拌叶)转动速度越快，进而通过电磁铁控制单元8控制电磁驱动机构7的通电电压量，控制磁性搅拌机构6的转动速度，至于电磁铁控制单元8控制电磁驱动机构7的电路不是本申请的保护范围，因此，在此不进行赘述。

在一优选实施例中，请参考图1、3所示，蒸镀源装置1还包括坩埚加热控制单元9，坩埚加热控制单元9与加热线圈连接，坩埚加热控制单元9用于控制加热线圈的通电电流量，以加热蒸镀坩埚4。本实用新型中的加热线圈的通电电流量越大，产生的热量越多，蒸镀坩埚4的蒸镀温度越高，进而通过坩埚加热控制单元控制加热线圈的通电电流量，控制蒸镀坩埚4的蒸镀温度，至于坩埚加热控制单元9控制加热线圈的电路不是本申请的保护范围，因此，在此不进行赘述。

上述说明示出并描述了本实用新型的若干优选实施方式，但如前所述，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施方式的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述实用新型构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。