蒸镀组件及蒸镀系统的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀组件及蒸镀系统。

背景技术：

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机电致发光二极管)显示技术由于具有自发光、视角广、对比度高、反应速度快以及能耗较低等优点，受到人们的广泛关注。OLED器件通常由阳极、阴极、以及位于这两个电极之间的电子传输层、空穴传输层和发光层等功能层构成。在阳极与阴极之间产生偏压的情况下，从阴极注入的电子和从阳极注入的空穴，分别经电子传输层、空穴传输层等有机层的传输，在发光层内复合，从而激发发光层的分子产生单态激子，单态激子辐射衰减而发光。

其中的有机层(如电子传输层、空穴传输层和发光层等)通常都是通过蒸镀工艺形成的。即，通过蒸镀源(Source源)对待蒸镀的材料进行加热，以使其气化后透过FMM(Fine Metal Mask，精细金属掩膜板)上的开孔蒸镀到背板(Back Panel)上的指定位置。

然而，由于FMM通常由金属材料制成，受其自身重力影响，在蒸镀的过程中，FMM会发生一定的形变下垂，导致从蒸发出的材料在背板上的蒸镀位置发生偏移，无法准确蒸镀到原有的设计位置，从而导致制成的OLED面板产生混色、色偏等不良。

技术实现要素：

本实用新型的实施例提供一种蒸镀组件及蒸镀系统，采用该蒸镀组件进行蒸镀时，可有效防止掩膜板发生形变下垂，从而提高蒸镀材料蒸镀时的位置精度。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例一方面提供一种蒸镀组件，包括：蒸镀源；所述蒸镀源具有一蒸镀口；设置在所述蒸镀源上、且位于所述蒸镀口的蒸镀区域外侧的平整件；所述平整件用于在所述蒸镀源在掩膜板下方移动的过程中，对所述掩膜板朝向所述蒸镀源一侧的表面进行平整。

在本实用新型一些实施例中，所述平整件包括：转轴、套设在所述转轴上并可绕所述转轴转动的滚轮、设置在所述蒸镀源上并连接所述转轴的支撑架；其中，所述滚轮用于与所述掩膜板朝向所述蒸镀源一侧的表面接触；所述转轴的轴向与所述蒸镀源的移动方向垂直。

在本实用新型一些实施例中，所述蒸镀源包括：条状的蒸镀容器和角度板；其中，所述蒸镀口为所述蒸镀容器的开口，所述角度板设置在所述蒸镀口垂直于条状方向的两侧处，所述移动方向垂直于所述条状方向；所述平整件设置在所述两侧中的至少一侧处，且所述支撑架固定在所述角度板远离所述蒸镀口的一侧表面上；所述转轴至所述蒸镀口所在面的垂直距离，大于或等于所述角度板远离所述蒸镀口的端部至所述蒸镀口所在面的垂直距离。

在本实用新型一些实施例中，所述平整件分别设置在所述两侧处，且对称设置。

在本实用新型一些实施例中，所述角度板与所述蒸镀口所在面之间呈垂直设置；或者，所述角度板向远离所述蒸镀口的方向倾斜，所述角度板与所述蒸镀口所在面之间的倾斜角度大于90°、且小于或等于120°。

在本实用新型一些实施例中，所述滚轮包括：滚轮本体和套设在所述滚轮本体外径上的外圈，所述外圈采用弹性材料制成。

在本实用新型一些实施例中，所述弹性材料包括：橡胶、硅胶、泡棉中的至少一种。

本实用新型实施例另一方面提供一种蒸镀系统，包括：如上述任一项所述的蒸镀组件；设置在所述蒸镀口上方的掩膜板，所述掩膜板朝向所述蒸镀源一侧的表面与所述平整件相接触。

在本实用新型一些实施例中，所述掩膜板包括：框架、在所述框架上间隔设置的多个第一支撑条和多个第二支撑条、在所述第一支撑条与所述第二支撑条上间隔设置的多个掩膜片；其中，所述第一支撑条的条状方向与所述第二支撑条的条状方向相交叉；多个所述第一支撑条、多个所述第二支撑条及多个所述掩膜片依次远离所述蒸镀口；所述平整件与所述第一支撑条相接触。

在本实用新型一些实施例中，还包括：驱动装置，用于驱动所述蒸镀源在所述掩膜板下方移动。

基于此，通过本实用新型实施例提供上述蒸镀组件，能够在进行蒸镀工艺中，随着蒸镀源在掩膜板下方移动的过程中，通过设置在蒸镀源上的平整件实时地对掩膜板朝向蒸镀源一侧的表面进行平整，从而及时减少掩膜板由于受到自身重力影响而产生的变形下垂，有效提高蒸镀材料蒸镀时的位置精度，从而避免由于蒸镀位置不精确而产生的OLED面板混色、色偏等不良，继而提高了采用上述蒸镀组件蒸镀形成的OLED面板的产品良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为相关技术提供的一种掩膜板的结构及制作工艺示意图；

图2为相关技术提供的一种蒸镀系统的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种蒸镀组件的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的一种蒸镀系统的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的再一种蒸镀组件的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的另一种蒸镀组件的结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的又一种蒸镀组件的结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的又一种蒸镀组件的结构示意图；

图9为本实用新型实施例提供的另一种蒸镀系统的结构示意图。

01/01’-蒸镀系统；02-待蒸镀的基板；

10-蒸镀组件；11/11’-蒸镀源；11a-蒸镀口；111-蒸镀容器；112- 角度板；112a-端部；12-平整件；121-转轴；122-滚轮；122a-滚轮本体；122b-外圈；123-支撑架；

20-掩膜板；21-框架；22-横向条状骨架/第一支撑条；23-纵向条状骨架/第二支撑条；24-掩膜片；24a-方形小孔；20a-朝向蒸镀源一侧的表面。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

以下，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请实施例的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

并且，本实用新型说明书以及权利要求书中所使用的“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“上/上方”以及“下/下方”等指示的方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于说明本实用新型的技术方案的简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

图1为相关技术提供的一种掩膜板的结构及制作过程示意图。请参阅图1所示，掩膜板20主要由：框架21(Frame)、多个横向条状骨架22(Cover sheet，也可称为横向支撑条)、多个纵向条状骨架 23(Howling sheet，也可称为纵向支撑条)以及多个掩膜片24(FMM Sheet)构成。

在制作掩膜板20时，首先将上述横向条状骨架22采用例如焊接的方式固定在框架21，再将上述纵向条状骨架23采用例如焊接的方式固定在框架21上，最后将掩膜片24采用例如焊接的方式固定在横纵交叉的横向条状骨架22与纵向条状骨架23上。

这里，横向条状骨架22与纵向条状骨架23的固定的先后顺序没有限定，以上描述仅为示例。

请继续参阅图1中的虚线框放大部分，掩膜板20中的掩膜片24 是具有一定掩膜图案(例如多个方形小孔24a或多个条形狭缝)的薄片状结构。蒸镀时，将掩膜片24一侧紧贴在待蒸镀的基板上，从而使得掩膜板20下方的蒸发出的蒸镀材料透过掩膜图案上的小孔或狭缝，沉积在待蒸镀的基板上。

如图2所示，为相关技术提供的一种蒸镀系统01’，在蒸镀的过程中，掩膜板20放置在蒸镀源11’上方，掩膜板20上方放置有待蒸镀的基板02，通过将蒸镀源10’移动至掩膜板20下方的相应位置，从而使得蒸发出的材料(图2中的点状物表示蒸发出的材料)透过掩膜板20上的开孔(请参阅图1中的方形小孔24a，图2中未示意出) 蒸镀到基板02上的相应位置。

然而，由于掩膜板20受自身重力影响，容易发生下垂(如图2 中虚线框示意出的区域)，并且下垂的程度在中间区域最为严重，从而导致蒸发出的材料无法准确蒸镀到原有的设计位置，导致蒸镀出的图案精度下降。

基于此，为解决上述技术问题，本实用新型实施例一方面提供了一种蒸镀组件，如图3所示，该蒸镀组件10包括：蒸镀源11和平整件12。其中，该蒸镀源11具有一蒸镀口11a；上述平整件12设置在该蒸镀源11上、且位于蒸镀口11a的蒸镀区域外侧。如图4所示，该平整件12用于在蒸镀源11在掩膜板20下方移动(移动方向如图 4中双向箭头所示)的过程中，对掩膜板20朝向蒸镀源11一侧的表面20a进行平整。

上述的蒸镀源11例如可以为坩埚，其内放置有待蒸镀的材料，通过加热使得材料气化，从而通过掩膜板20上的开孔蒸镀到基板上。

可以理解的是，为了避免平整件12对蒸镀工艺造成影响，因此，平整件12设置在蒸镀口11a的蒸镀区域外侧。这里，所谓“蒸镀区域外侧”，是指蒸镀口11a及其上方所在区域的外侧。

本实用新型实施例对平整件12的数量及分布方式不作限定，以上图3中仅以平整件12设置在蒸镀源11两侧为例进行示意。

这样一来，上述平整件12在与掩膜板20朝向蒸镀源11一侧的表面20a相接触的过程中，对掩膜板20起到托起的作用；并且，由于平整件12设置在该蒸镀源11上(即平整件12集成在蒸镀源11上)，从而可以在蒸镀源11在掩膜板20下方移动(例如为平移)的过程中，通过上述平整件12实时地对上述的掩膜板20进行平整，以减小掩膜板20的形变量。

请继续参阅图4，由于掩膜板20中的掩膜片是设置在远离蒸镀源11的另一侧，因此，在平整件12对掩膜板20进行平整的过程中不会对掩膜片造成损伤和变形，更不会对掩膜板20上方的待蒸镀的基板02造成挤压。

基于此，通过本实用新型实施例提供上述蒸镀组件10，能够在进行蒸镀工艺中，随着蒸镀源11在掩膜板20下方移动的过程中，通过设置在蒸镀源11上的平整件12实时地对掩膜板20朝向蒸镀源11 一侧的表面20a进行平整，从而及时减少掩膜板20由于受到自身重力影响而产生的变形下垂，有效提高蒸镀材料蒸镀时的位置精度，从而避免由于蒸镀位置不精确而产生的OLED面板混色、色偏等不良，继而提高了采用上述蒸镀组件10蒸镀形成的OLED面板的产品良率。

并且，上述平整件12在对掩膜板进行平整的过程中，不会对掩膜片及掩膜板上方的待蒸镀的基板造成影响，实用性更强。

这里，平整件12可以是能够对掩膜板20朝向蒸镀源11一侧的表面20a进行平整的相应结构，示例的，如图5所示，上述平整件 12包括：转轴121、套设在转轴121上并可绕转轴121转动的滚轮 122、设置在蒸镀源11上并连接转轴121的支撑架123；其中，滚轮 122用于与掩膜板朝向蒸镀源一侧的表面接触(即贴附在其表面)；转轴121的轴向(即垂直于图5的纸面方向)与蒸镀源11的移动方向(如图5中双向箭头所示)垂直。

这样，当蒸镀源11例如沿图5中自右向左的方向移动时，能够带动滚轮122转动(转动方向如图5中单向箭头所示)，从而通过转动的方式对掩膜板朝向蒸镀源一侧的表面进行平整或规整，以减少其形变量。

进一步的，如图6所示，上述蒸镀源11具体包括：条状的蒸镀容器111(如图6中箭头所示的放大结构图)和角度板112；其中，蒸镀口11a为蒸镀容器111的开口，角度板112设置在蒸镀口11a垂直于条状方向的两侧处，上述蒸镀源11的移动方向垂直于该条状方向。

条状的蒸镀容器111例如可以为坩埚，设置在蒸镀口11a垂直于条状方向的两侧处的角度板112能够对从蒸镀容器111中蒸发出的材料的运行方向和蒸镀区域进行限定，以提高对蒸镀材料的利用率。

这里，考虑到条状的蒸镀容器111的条状尺寸通常较长，该长度往往与上方的掩膜板的宽度相当或是更长，这样一来，若将平整件 12设置在垂直于条状方向的两侧中的至少一侧处，有可能使得平整件12仅能与掩膜板朝向蒸镀源一侧的四周框架接触，难以对掩膜板中心区域发生下垂变形的区域进行支撑和平整。因此，本实用新型实施例进一步将平整件12设置在条状方向的两侧中的至少一侧处，且支撑架123固定在角度板112远离蒸镀口11a的一侧表面上，从而使得在该条状的蒸镀容器111沿垂直于条状方向移动的过程中，通过位于条状方向的两侧中的至少一侧处的平整件12，能够对掩膜板中心区域发生下垂变形的区域进行有效支撑和平整。

这里，上述图6中仅以平整件12设置在条状方向的两侧、且两侧各设置有一个为例进行说明，本实用新型实施例对平整件12的分布方式及数量不作限定，只能使得平整件12能够在与蒸镀源11一并移动的过程中，对掩膜板朝向蒸镀源一侧的表面进行平整即可。

例如，平整件12可以仅设置在条状方向的两侧中的一侧处；并且，每侧设置的数量还可以为多个。

这里，平整件12可以参考图6所示，分别设置在条状方向的两侧处，且对称设置，这样可以使得掩膜板受到的平整件12的支撑作用受力均匀，进一步减小掩膜板的形变量。

支撑架123可以采用例如焊接固定、螺丝钉固定等多种固定方式，固定在角度板112远离蒸镀口11a的一侧表面上。

可以理解的是，为了保证滚轮122能够贴附在掩膜板朝向蒸镀源一侧的表面，以通过转动的方式对其进行平整，因此，请继续参阅图 6，转轴121至蒸镀口11a所在面的垂直距离H1，大于或等于角度板112远离蒸镀口的端部112a至蒸镀口11a所在面的垂直距离H2，即滚轮122突出于角度板112的端部112a。

当然，本实用新型实施例提供的上述蒸镀组件10中的蒸镀容器也可以为柱状的结构(例如为圆柱、椭圆柱或矩形柱，即其横截面为圆形、椭圆形或矩形)，由于其横截面的尺寸相较于掩膜板的面积较小，不会出现平整件12仅能与掩膜板朝向蒸镀源一侧的四周框架接触的情况，因此，当蒸镀容器为柱状结构时，也可以将平整件12设置在柱状的蒸镀容器的四周，具体结构可参考图6，此处不再赘述。

这里，角度板112与蒸镀口11a所在面可设置为垂直(即90°) 或接近垂直，这样，两侧的角度板112对蒸镀口11a的有效蒸镀面积不会产生影响，还能通过竖直(或接近竖直)设置的角度板112降低承装在蒸镀容器111中的固体材料气化后发生的无规则扩散，进一步提高蒸镀材料的利用率。

示例的，请继续参阅图6，角度板112可以与蒸镀口11a所在面之间呈垂直设置；或者，如图7所示，角度板112向远离蒸镀口11a 的方向倾斜，角度板112与蒸镀口11a所在面之间的倾斜角度θ大于 90°、且小于或等于120°。

进一步的，考虑到掩膜板的结构较为精细、成本较高，为避免滚轮122在掩膜板朝向蒸镀源一侧的表面进行滚动、平整时，对掩膜板的表面产生磨损等不良，本实用新型实施例进一步提供以下蒸镀组件 10：

如图8所示，上述滚轮122包括：滚轮本体122a和套设在滚轮本体122a外径上的外圈122b，该外圈122b采用弹性材料制成。

这里，滚轮本体122a即为套设在转轴121上并可绕转轴121转动的主体结构；弹性材料例如可以为橡胶、硅胶、泡棉等常规弹性材料中的至少一种，以使得滚轮122中与掩膜板直接相接触的部分为具有一定弹性的外圈122b，避免对掩膜板产生损伤。

在上述基础上，本实用新型实施例另一方面还提供了一种蒸镀系统，请参阅图4所示，该蒸镀系统01包括：上述各实施例提供的蒸镀组件10；设置在蒸镀口11a上方的掩膜板20，掩膜板20朝向蒸镀源一侧的表面20a与平整件12相接触。

上述蒸镀系统01所能实现的有益效果与本实用新型实施例第一方面所提供的蒸镀组件10所能实现的有益效果相同，此处不再赘述。

请参阅图1所示，掩膜板20包括：框架21、在框架21上间隔设置的多个第一支撑条22和多个第二支撑条23、在第一支撑条22 与第二支撑条23上间隔设置的多个掩膜片24；其中，第一支撑条22 的条状方向与第二支撑条23的条状方向相交叉。

如图9所示，多个第一支撑条22、多个第二支撑条23及多个掩膜片24依次远离蒸镀口11a；平整件12与第一支撑条22相接触。

这里，为便于描述，将待蒸镀的基板02所在的区域称为上方，相对应的，将蒸镀口11a称为下方，则平整件12具体是与掩膜板20 中、靠近下方的第一支撑条22相接触。

即，上述的掩膜板朝向蒸镀源一侧的表面20a，即为第一支撑条 22朝向蒸镀源一侧的表面。

请继续参阅图9，如图9中(a)部分所示，当第一支撑条22示例的为横向设置时，平整件12则是与横向的第一支撑条22相接触；具体可以是平整件12中的滚轮122与横向的第一支撑条22相接触。

或者，如图9中(b)部分所示，当第一支撑条22示例的为纵向设置时，平整件12则是与纵向的第一支撑条22相接触；具体可以是平整件12中的滚轮122与纵向的第一支撑条22相接触。

进一步的，上述蒸镀系统01还包括：用于驱动蒸镀源11在掩膜板20下方移动的驱动装置。

这里，驱动装置可以沿用相关技术中的例如丝杠、马达等多种驱动装置，只能能够驱动蒸镀源11在掩膜板20下方移动即可，具体结构不再赘述。

上述蒸镀系统01例如还可以包括承载掩膜板的固定架、容纳上述蒸镀组件10、掩膜板20以及待蒸镀的基板02的真空腔室等结构，具体可沿用相关技术，本实用新型实施例对此不再赘述。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。