一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件的制作方法

本实用新型涉及一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件，属于OLED技术领域。

背景技术：

在有机发光二极管（OLED）的显示面板制造领域中，通常采用蒸镀工艺形成有机发光层，掩膜版是OLED制造过程中的一种重要元器件，单片精密金属掩膜版包括框架、支撑用掩膜版及金属掩膜，这种单片精密掩膜版中，支撑用掩膜版是由多个支撑条横竖交错焊接而成，这种支撑条组成的支撑用掩膜版的结构示意图及仰视图如图1所示。公开号为CN108149192A、公开日为2018年6月12日、名称为“一种金属掩膜版及其制造方法”的中国实用新型专利申请就采用的是交错设置的支撑条，各支撑条交错在一起形成支撑网。这种单片精密金属掩膜版在拼焊时，需要先将支撑条焊接到金属框架上，起到支撑作用，然后在将精密金属掩膜搭载在支撑条上，进行焊接。这种支撑用金属掩膜版通常需要约20条长支撑条、约15条短支撑条，长、短支撑条交叉排列。这种支撑用金属掩膜版存在以下问题：

（1）需要支撑条的数量越多，越要花大量时间进行拉网焊接；

（2）由于交叉排列的支撑条，存在大量缝隙，蒸镀时有机材料会进入这些缝隙中，浪费材料，并且不容易清理；

（3）单条支撑条拼焊，支持条交叉重叠，由于厚度的叠加，导致精密金属掩膜版焊接后表面平整度差异大。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种表面平整、无焊接缝隙的支撑用金属掩膜版。同时，本实用新型还提供一种支撑用金属掩膜版组件。

本实用新型采用如下技术方案：一种支撑用金属掩膜版，其是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。

所述支撑用金属掩膜版的网格为矩形或圆形或半圆形或椭圆形。

所述支撑用金属掩膜版的网格呈矩形阵列分布。

所述支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边，支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条。

一种金属掩膜版组件，其包括金属框架和焊接在金属框架上的支撑用金属掩膜版，所述支撑用金属掩膜版是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。

所述支撑用金属掩膜版的网格为矩形或圆形或半圆形或椭圆形。

所述支撑用金属掩膜版的网格呈矩形阵列分布。

所述支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边，条形边整体焊接在金属框架上，支撑用金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条，各支持条分别焊接在金属框架上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用一体制作成型的镂空网格结构的金属掩膜版，完全可以取代现有技术的支撑条，在焊接到金属框架上时，只需要一次拉网，一次焊接，可以大大提高生产效率；而且一体成型的金属掩膜版无缝隙，解决了现有技术支撑条交叉处残留有机材料问题。另外，由于整个支撑用金属掩膜版只有一个厚度，保证后期的多片精密金属掩膜能搭载在同一个平面上，使整个金属掩膜版表面的平整度大大提高。

作为本实用新型一种优选的方案，金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边，条形边整体焊接在金属框架上，使支撑用金属掩膜版与金属框架的焊接更加方便，能大大提升产品的平坦度及强度，还能提升产品蒸镀良率。

附图说明

图1是现有技术的支撑条组成的支撑用掩膜版的结构示意图及仰视图；

图2是本实用新型一种实施例的支撑用掩膜版的结构示意图；

图3是本实用新型一种实施例的掩膜版组件的结构示意图；

图4是图3中的局部放大图。

图中，1-支撑用掩膜版，11-网格，12-条形边，13-支持条，2-金属框架。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。

本实用新型一种实施例的支撑用掩膜版的结构如图2所示，本实施例的支撑用金属掩膜版1，其是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版1的网格11为镂空结构。所述支撑用金属掩膜版1的网格11为矩形，所述支撑用金属掩膜版1的网格11呈矩形阵列分布，所述支撑用金属掩膜版1一组相对的两个侧边分别具有条形边12，支撑用金属掩膜版1一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条13。

本实用新型一种实施例的掩膜版组件的结构如图3至图4所示，本实施例的金属掩膜版组件包括金属框架2和焊接在金属框架2上的支撑用金属掩膜版1，所述支撑用金属掩膜版1是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版1的网格11为镂空结构。所述支撑用金属掩膜版1的网格11为矩形，所述支撑用金属掩膜版1的网格11呈矩形阵列分布，所述支撑用金属掩膜版1一组相对的两个侧边分别具有条形边12，条形边12整体焊接在金属框架2上，支撑用金属掩膜版1一组相对的两个侧边分别具有间隔设置的支持条13，各支持条13分别焊接在金属框架2上。

本实用新型采用一体制作成型的镂空网格结构的金属掩膜版，完全可以取代现有技术的支撑条，在焊接到金属框架上时，只需要一次拉网，一次焊接，可以大大提高生产效率；而且一体成型的金属掩膜版无缝隙，解决了现有技术支撑条交叉处残留有机材料问题。另外，由于整个支撑用金属掩膜版只有一个厚度，保证后期的多片精密金属掩膜能搭载在同一个平面上，使整个金属掩膜版表面的平整度大大提高。金属掩膜版一组相对的两个侧边分别具有条形边，条形边整体焊接在金属框架上，使支撑用金属掩膜版与金属框架的焊接更加方便，能大大提升产品的平坦度及强度，还能提升产品蒸镀良率。

支撑用金属掩膜版制作时，可根据需求，在其表面蚀刻凹陷；支撑用金属掩膜版还可以是上下表面均为无凸起、无凹陷的平面。无论采用何种形式，本实用新型中的支撑用金属掩膜版表面没有凸起，任意位置的厚度一致。

在本实用新型其它的实施例中，支撑用金属掩膜版上网格的形状还可以是圆形或半圆形或椭圆形等形状或其它不规则图形。

在本实用新型其它的实施例中，支撑用金属掩膜版侧边是选用条形边还是支持条，可以根据实际需要灵活选用。

虽然上面已经对本实用新型的实施方式进行了详细描述，但本实用新型不限于上述的实施方式。所附的权利要求所限定的本实用新型的范围包含所有等同的替代和变化。