技术总结
本实用新型涉及种蒸镀源装置，装设在蒸镀设备中，用于蒸镀有机材料，其中蒸镀源装置包括：蒸镀坩埚，用于承装有机材料；加热器，与蒸镀坩埚对应设置，加热器用于加热蒸镀坩埚；磁性搅拌机构，设置于蒸镀坩埚内，磁性搅拌机构用于搅拌有机材料；以及电磁驱动机构，设置于蒸镀坩埚外侧，电磁驱动机构与磁性搅拌机构对应设置，电磁驱动机构通电并产生一磁场，磁场与磁性搅拌机构相互作用，驱动磁性搅拌机构转动而搅拌有机材料。本实用新型的蒸镀源装置可在蒸镀设备蒸镀有机材料时，通过电磁驱动机构驱动磁性搅拌机构转动而搅拌有机材料，使有机材料在坩锅内加热升华时受热均匀，避免有机材料受热不均，造成材料液化不完全，进而导致有机材料的浪费。
技术研发人员：李嘉宸
受保护的技术使用者：陕西坤同半导体科技有限公司
技术研发日：2018.10.31
技术公布日：2019.06.11