一种蒸镀装置的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种蒸镀装置。

背景技术：

在显示基板的膜层制备过程中，蒸镀技术是常用的一种膜层制备技术，蒸镀装置是蒸镀过程中至关重要的设备，目前，用于生成OLED显示器件的有机材料发光层的蒸镀装置，其对有机材料的利用率较低，不足10％，而有机发光材料价格昂贵，因此容易造成极大地材料成本浪费，并且会造成部分有机材料蒸发后在设备内部冷凝附着，增加了停机维护清洗的次数，且增加了设备内部冷凝附着的有机材料脱落形成颗粒异物的风险，进而会影响玻璃基板上蒸镀生成均匀膜层，从而造成显示器件显示不良。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种蒸镀装置，该述蒸镀装置中，弹性蒸镀腔体可以扩张或收缩以增大或减小容积以收容气态材料，且弹性蒸镀腔体的腔体壁中设置有调温层可以保障在弹性蒸镀腔体内的气态材料维持气态，有效增加了蒸镀材料的利用率，减少停机维护清洗次数，从而提高产能，且使弹性蒸镀腔体内的气态材料有更好的均一性，有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种蒸镀装置，包括：

蒸发源，所述蒸发源设有蒸气出口；

弹性蒸镀腔体，所述弹性蒸镀腔体设有进气口，所述弹性蒸镀腔体背离所述进气口的一侧设有出气口，所述进气口与所述蒸发源的蒸气出口连接，且所述弹性蒸镀腔体的腔体壁设有调温层；

与所述弹性蒸镀腔体连接、且用于控制所述弹性蒸镀腔体收缩或扩张的驱动机构；

喷嘴，所述喷嘴与所述弹性蒸镀腔体的出气口连接。

上述蒸镀装置中，蒸发源的蒸气出口与弹性蒸镀腔体的进气口连接，弹性蒸镀腔体的出气口与喷嘴连接，蒸发源将材料蒸发成气态，通过弹性蒸镀腔体然后从喷嘴喷出，将材料蒸镀到显示基板上形成一定厚度的膜层，其中，本实施例中的弹性蒸镀腔体具有一定的伸缩性，即可以将弹性蒸镀腔体设置为柔性结构的蒸镀腔体，或者将弹性蒸镀腔体的部分结构设置为柔性结构，弹性蒸镀腔与驱动机构连接，在驱动机构的驱动下，弹性蒸镀腔体可以扩张以扩大容积，也可以收缩以缩小容积，且弹性蒸镀腔体的腔体壁设有调温层，可以对弹性蒸镀腔体内部进行调节温度，当蒸发源中的材料蒸发成气态，进入弹性蒸镀腔体内部，当需要对显示基板进行蒸镀时，弹性蒸镀腔体收缩，容积变小，提高弹性蒸镀腔体内的气态材料的浓度，是较高浓度的气态材料可以顺利通过气嘴喷出，对显示基板进行蒸镀，当停止蒸镀作业，则弹性蒸镀腔体扩张，容积变大，将气态材料收容在容积变大之后的弹性蒸镀腔体内，以备下一次蒸镀作业时，收缩弹性蒸镀腔体进行蒸镀作业，在停止蒸镀作业时，将气态材料收容于容积扩大的弹性蒸镀腔体内，且弹性蒸镀腔体的腔体壁设置有调温层，可以使弹性蒸镀腔体内有适宜的温度，可以保障弹性蒸镀腔体内的气态材料保持气体状态，避免在弹性蒸镀腔体内壁凝固聚集，降低蒸镀材料形成颗粒影响形成的蒸镀膜层，有效提高蒸镀材料的利用率，尤其是现在有机发光材料比较昂贵，可以有效节约有机发光材料，提高有机发光材料的利用率，且减少停机维护清洗次数，提高产能；另外，上述弹性蒸镀腔体的结构还可以使气态材料在弹性蒸镀腔体内更好的均一化，可以有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。

因此，上述蒸镀装置中，弹性蒸镀腔体可以扩张或收缩以增大或减小容积以收容气态材料，且弹性蒸镀腔体的腔体壁中设置有调温层可以保障在弹性蒸镀腔体内的气态材料维持气态，有效增加了蒸镀材料的利用率，减少停机维护清洗次数，从而提高产能，且使弹性蒸镀腔体内的气态材料有更好的均一性，有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。

优选地，所述调温层包括导热橡胶层以及嵌设于所述导热橡胶层中的加热丝和冷凝管，且所述加热丝和所述冷凝管依次交替且间隔分布。

优选地，所述驱动机构包括：

包围于所述弹性蒸镀腔体的外周侧的压缩作用腔体，所述压缩作用腔体的内表面与所述弹性蒸镀腔体的外表面之间具有间隙，且所述间隙为密封间隙；

设于所述弹性蒸镀腔体与所述压缩作用腔体之间、且用于给所述弹性蒸镀腔体提供拉力的弹性组件；

与所述压缩作用腔体连通且用于给所述间隙充入气体的充气装置。

优选地，所述压缩作用腔体的腔体壁的材料包括铝合金或合金钢。

优选地，所述调温层朝向所述弹性蒸镀腔体的内部的一侧设有导热层，且所述调温层朝向所述弹性蒸镀腔体的外部的一侧设有绝热层。

优选地所述弹性蒸镀强体的腔体壁的内表面设有耐热防静电涂层。

优选地，所述喷嘴包括喷嘴本体，所述喷嘴本体朝向所述弹性蒸镀腔体的一侧与所述弹性蒸镀腔体的出气口连接，所述喷嘴背离所述弹性蒸镀腔体的一侧设有朝向背离所述弹性蒸镀腔体的方向凸起的至少一个楔形结构，每个所述楔形结构的顶侧设有喷气口。

优选地，所述喷气口周侧设有至少一个用于检测气体浓度的传感器。

优选地，所述喷嘴本体内嵌设有加热丝。

优选地，所述喷气口为条状缝隙，所述条状缝隙的宽度尺寸为大于或等于0.01㎜且小于或等于10㎜。

附图说明

图1为本实用新型实施例中提供的蒸镀装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例中提供的蒸镀装置的主视图；

图3为图2中沿A-A处的剖面结构示意图；

图4为本实用新型实施例中提供的弹性蒸镀腔体的腔体壁的局部结构示意图；

图5为本实用新型实施例中提供的调温层的加热丝和冷凝管的局部分布示意图；

图标：1-蒸发源；2-弹性蒸镀腔体；3-驱动机构；4-喷嘴；21-调温层；22-导热层；23-绝热层；24-防静电涂层；31-压缩作用腔体；41-楔形结构；42-喷气口；211-导热橡胶层；212-加热丝；213-冷凝管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1至图3，本实用新型实施例提供的一种蒸镀装置，包括：

蒸发源1，蒸发源1的一侧设有蒸气出口；

弹性蒸镀腔体2，弹性蒸镀腔体2设有进气口，弹性蒸镀腔体2背离进气口的一侧设有出气口，进气口与蒸发源1的蒸气出口连接，且弹性蒸镀腔体2的腔体壁包括调温层21；

与弹性蒸镀腔体2连接、且用于控制弹性蒸镀腔体2收缩或扩张的驱动机构3；

喷嘴4，喷嘴4与弹性蒸镀腔体2的出气口连接。

上述蒸镀装置中，如图1-图3所示，蒸发源1的蒸气出口与弹性蒸镀腔体2的进气口连接，弹性蒸镀腔体2的出气口与喷嘴4连接，蒸发源1将材料蒸发成气态，通过弹性蒸镀腔体2然后从喷嘴4喷出，将材料蒸镀到显示基板上形成一定厚度的膜层，其中，本实施例中的弹性蒸镀腔体2具有一定的伸缩性，且弹性蒸镀腔与驱动机构3连接，在驱动机构3的驱动下，弹性蒸镀腔体2可以扩张以扩大容积，也可以收缩以缩小容积，且弹性蒸镀腔体2的腔体壁设有调温层21，可以对弹性蒸镀腔体2内部进行调节温度，当蒸发源1中的材料蒸发成气态，进入弹性蒸镀腔体2内部，当需要对显示基板进行蒸镀时，弹性蒸镀腔体2收缩，容积变小，提高弹性蒸镀腔体2内的气态材料的浓度，使较高浓度的气态材料可以顺利通过气嘴喷出，对显示基板进行蒸镀，当停止蒸镀作业，则弹性蒸镀腔体2扩张，容积变大，将气态材料收容在容积变大之后的弹性蒸镀腔体2内，以备下一次蒸镀作业，其中，在停止蒸镀作业时，将气态材料收容于容积扩大的弹性蒸镀腔体2内，且弹性蒸镀腔体2的腔体壁设置有调温层21，可以使弹性蒸镀腔体2内有适宜的温度，可以保障弹性蒸镀腔体2内的气态材料保持气体状态，避免在弹性蒸镀腔体2内壁凝固聚集，降低蒸镀材料形成颗粒影响形成的蒸镀膜层，有效提高蒸镀材料的利用率，尤其是现在有机发光材料比较昂贵，可以有效节约有机发光材料，提高有机发光材料的利用率，且减少停机维护清洗次数，提高产能；另外，上述弹性蒸镀腔体2的结构还可以使气态材料在弹性蒸镀腔体2内更好的均一化，可以有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。

因此，上述蒸镀装置中，弹性蒸镀腔体2可以扩张或收缩以增大或减小容积以收容气态材料，且弹性蒸镀腔体2的腔体壁中设置有调温层21可以保障在弹性蒸镀腔体2内的气态材料维持气态，有效增加了蒸镀材料的利用率，减少停机维护清洗次数，从而提高产能，且使弹性蒸镀腔体2内的气态材料有更好的均一性，有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。

具体地，如图5所示，调温层21包括导热橡胶层211以及嵌设于导热橡胶层211中的加热丝212和冷凝管213，且加热丝212和冷凝管213依次交替且间隔分布。可以根据对加热丝212和冷凝管213的工作状态控制以控制调温层21的温度，且加热丝212和冷凝管213交替设置，可以使弹性蒸镀腔体2内整体温度均匀，有利于使弹性蒸镀腔体2内的气态材料均匀化，浓度一致；另外，为进一步提高弹性蒸镀腔体2内整体温度均匀性，可以使加热丝212和冷凝管213交替且间隔均匀设置。

具体地，导热橡胶层211的材料包括全氟橡胶，可以耐高温350℃以上。

具体地，如图2和图3所示，上述驱动机构3包括：包围于弹性蒸镀腔体2的外周侧的压缩作用腔体31，压缩作用腔体31的内表面与弹性蒸镀腔体2的外表面之间具有间隙，且间隙为密封间隙；设于弹性蒸镀腔体2与压缩作用腔体31之间、且用于给弹性蒸镀腔体2提供拉力的弹性组件；与压缩作用腔体31连通且用于给间隙充入气体的充气装置。当弹性蒸镀腔体2处于扩张状态时，弹性组件在弹性蒸镀腔体2与压缩作用腔体31之间，压缩作用腔体31为刚性结构，弹性组件给弹性蒸镀腔体2提供拉力，将弹性蒸镀腔体2拉开扩张，当弹性蒸镀腔体2需要收缩时，充气装置给压缩作用腔体31内充气，气体进入压缩作用腔体31内侧与弹性蒸镀腔体2外侧之间，当气体逐渐充入到要压缩作用腔体31内，即，弹性蒸镀腔体2外侧压强逐渐增大，可以对弹性蒸镀腔体2进行挤压，是弹性组件进一步拉伸，而弹性蒸镀腔体2收缩，容积逐渐减小，当弹性蒸镀腔体2再次扩张时，可以放出压缩作用腔体31内的气体，弹性组件逐渐收缩，拉着弹性蒸镀腔体2逐渐扩张，上述驱动机构3结构简单，且调节弹性蒸镀腔体2的扩张与收缩过程，简单可靠，且压缩作用腔体31内的气体包围在弹性蒸镀腔体2的外侧，可以使弹性蒸镀腔体2的各个位置变化均匀，有利于保证弹性蒸镀腔体2内的气态材料的均匀性。

其中，为保障上述蒸镀装置的使用安全性，往压缩作用腔体31内充入的气体可以为氮气、惰性气体或过滤干燥的空气。

具体地，压缩作用腔体31的腔体壁的材料包括铝合金或合金钢，铝合金或合金钢，刚性好，且不易生锈被腐蚀，可以保证压缩作用腔体31的可靠性。

具体地，弹性组件可以包括多个设置于弹性蒸镀腔体2与压缩作用腔体31之间的弹簧，多个弹簧均匀的设置于弹性蒸镀腔体2的外表侧，且每个弹簧的一端与弹性蒸镀腔体2的外表面连接，另一端与压缩作用腔体31的内表面连接，结构简单，易于设置。

结合图3，如图4所示，调温层21朝向弹性蒸镀腔体2的内部的一侧设有导热层22，且调温层21朝向弹性蒸镀腔体2的外部的一侧设有绝热层23，在调温层21朝向弹性蒸镀腔体2的内部的一侧设置导热层22，可以更好与弹性蒸镀腔体2内部导热，有利于对弹性蒸镀腔体2内部进行温度调节，在调温层21朝向弹性蒸镀腔体2的外部的一侧设置绝热层23，避免弹性蒸镀腔体2外部环境与弹性蒸镀腔体2内部进行热交换，影响弹性蒸镀腔体2内的温度。

具体地，导热层22的材料包括导热电子硅胶。耐高温的导热电子硅胶耐热温度为250℃。

具体地，绝热层23的材料包括耐高温绝热橡胶。

具体地，弹性蒸镀腔体2的内表面设有耐热防静电涂层24，防静电涂层24易于清洗，在弹性蒸镀腔体2的内表面设有耐热防静电涂层24可以便于弹性蒸镀腔体2内部的清洗。

具体地，如图2和图3所示，喷嘴4包括喷嘴本体，喷嘴本体朝向弹性蒸镀腔体2的一侧与弹性蒸镀腔体2的出气口连接，喷嘴4背离弹性蒸镀腔体2的一侧设有朝向背离弹性蒸镀腔体2的方向凸起的至少一个楔形结构41，每个楔形结构41的顶侧设有喷气口42，其中，喷嘴4的喷气口42设置在楔形结构41顶侧，楔形结构41设置在喷嘴4背离弹性蒸镀腔体2的一侧，即沿弹性蒸镀腔体2指向喷嘴4的方向，楔形结构41内部空腔由宽变窄，则可以使气态材料更迅速的从喷气口42喷出，以便于快速的蒸镀显示基板上，具体地可以设置两个楔形结构41，即喷嘴4会有两个喷气口42，需要说明的是，也可以设置三个、四个或其他数量的楔形结构41，可以根据实际结构及作业需求设置，便于蒸镀作业，能够使均匀喷出气态材料即可。

上述喷嘴4中，喷气口42为条状缝隙，条状缝隙的宽度尺寸为大于或等于0.01㎜且小于或等于10㎜，条状缝隙的长度为大于或等于0.8㎜且小于或等于1.3㎜。

具体地，每个喷气口42周侧设有至少一个用于检测气体浓度的传感器，传感器可以根据检测喷气口42处喷出的气态材料的浓度，使工作人员可以根据喷气口42处喷出的气态材料的浓度信息更准确地调节弹性蒸镀腔体2的收缩或扩张状态以及蒸发源1的蒸发速度，以精确地调节喷气口42喷出的气态材料的浓度，确保蒸镀效率以及形成的蒸镀膜层的均一性。

具体地，在喷嘴本体内嵌设第二加热丝，可以保持喷嘴4的温度在80℃至200℃，便于气态材料从喷气口42喷出。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。