一种激光镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及镀膜加工技术领域，尤其涉及一种激光镀膜装置。

背景技术：

现有技术中，太阳能电池板、太阳能热水器的集热板上的薄膜，大多采用磁控溅射技术进行加工，该技术制备的薄膜缺陷多、质量差，从而造成制备的设备能量转换效率低。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术的不足，研制一种激光镀膜装置，采用该装置制备的薄膜质量好、缺陷少、能量转换效率高。

本实用新型解决技术问题的技术方案为：一方面，本实用新型的实施例提供了一种激光镀膜装置，包括密封舱，密封舱内设置有靶材工位，靶材工位上安装有靶材，密封舱设置有氧气入口，密封舱连接质谱仪、抽真空系统b，所述激光镀膜装置还设置有反射式高能电子衍射仪、激光发射装置、电子源，靶材工位的位置与镀膜工位正对，电子源设置在镀膜工位的前方侧面，反射式高能电子衍射仪与电子源相对镀膜工位中心对称，激光发射装置设置在靶材工位的前方侧面。

作为优化，所述密封舱还设置有观察窗。

作为优化，所述激光镀膜装置还包括靶材转动装置，靶材转动装置连接靶材工位。

作为优化，所述靶材转动装置包括电机、转轴，转轴的一端连接电机的输出轴、另一端连接靶材工位。

作为优化，所述激光镀膜装置还包括样品传递系统、隔离门、进样室、抽真空系统a，样品传递系统依次通过进样室、隔离门、密封舱，进样室连接抽真空系统a，进样室设置有进料门、出料门，样品传递系统穿过进料门、出料门。

技术实现要素：
中提供的效果仅仅是实施例的效果，而不是实用新型所有的全部效果，上述技术方案具有如下优点或有益效果：

1.该装置采用激光镀膜，所制备的薄膜质量好、缺陷少、能量转换效率高。

2.通过在密封舱上设置有观察窗，方便观察镀膜进度，可急时发现故障，增加了对设备的监控。

3.通过设置靶材转动装置，令靶材的利用更加均匀，保障了工作的顺利进行。

4.通过设置样品传递系统、隔离门、进样室、抽真空系统a，样品在样品传递系统的带动下，先通过进样室再进入密封舱，实现了样品输送的自动化，通过增加了密封舱的隔绝效果，保障了镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构原理图。

具体实施方式

为了能清楚说明本方案的技术特点，下面通过具体实施方式，并结合其附图，对本实用新型进行详细阐述。下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。应当注意，在附图中所图示的部件不一定按比例绘制。本实用新型省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述以避免不必要地限制本实用新型。

图1为本实用新型的一种实施例，如图所示，一种激光镀膜装置，包括密封舱1，密封舱1内设置有靶材工位14，靶材工位14上安装有靶材，密封舱1设置有氧气入口13，密封舱1连接质谱仪2、抽真空系统b10，所述激光镀膜装置还设置有反射式高能电子衍射仪4、激光发射装置11、电子源12，靶材工位14的位置与镀膜工位15正对，电子源12设置在镀膜工位15的前方侧面，反射式高能电子衍射仪4与电子源12相对镀膜工位15中心对称，激光发射装置11设置在靶材工位14的前方侧面。该装置采用激光镀膜，所制备的薄膜质量好、缺陷少、能量转换效率高。

所述密封舱1还设置有观察窗5。通过在密封舱1上设置有观察窗5，方便观察镀膜进度，可急时发现故障，增加了对设备的监控。

所述激光镀膜装置还包括靶材转动装置3，靶材转动装置3连接靶材工位14。通过设置靶材转动装置3，令靶材的利用更加均匀，保障了工作的顺利进行。所述靶材转动装置3包括电机、转轴，转轴的一端连接电机的输出轴、另一端连接靶材工位14。

所述激光镀膜装置还包括样品传递系统9、隔离门6、进样室7、抽真空系统a8，样品传递系统9依次通过进样室7、隔离门6、密封舱1，进样室7连接抽真空系统a8，进样室7设置有进料门、出料门，样品传递系统9穿过进料门、出料门。

通过设置样品传递系统9、隔离门6、进样室7、抽真空系统a8，样品在样品传递系统9的带动下，先通过进样室7再进入密封舱1，实现了样品输送的自动化，通过增加了密封舱1的隔绝效果，保障了镀膜质量。

上述虽然结合附图对实用新型的具体实施方式进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。