技术编号:17883428
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜加工技术领域,尤其涉及一种激光镀膜装置。背景技术现有技术中,太阳能电池板、太阳能热水器的集热板上的薄膜,大多采用磁控溅射技术进行加工,该技术制备的薄膜缺陷多、质量差,从而造成制备的设备能量转换效率低。发明内容本实用新型针对现有技术的不足,研制一种激光镀膜装置,采用该装置制备的薄膜质量好、缺陷少、能量转换效率高。本实用新型解决技术问题的技术方案为:一方面,本实用新型的实施例提供了一种激光镀膜装置,包括密封舱,密封舱内设置有靶材工位,靶材工位上安装有靶材,密封舱设置有氧气入口,密封...
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