技术编号：17883427
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种蒸镀装置。背景技术在显示基板的膜层制备过程中，蒸镀技术是常用的一种膜层制备技术，蒸镀装置是蒸镀过程中至关重要的设备，目前，用于生成OLED显示器件的有机材料发光层的蒸镀装置，其对有机材料的利用率较低，不足10％，而有机发光材料价格昂贵，因此容易造成极大地材料成本浪费，并且会造成部分有机材料蒸发后在设备内部冷凝附着，增加了停机维护清洗的次数，且增加了设备内部冷凝附着的有机材料脱落形成颗粒异物的风险，进而会影响玻璃基板上蒸镀生成均匀膜层，从而造成显示器件显示不...
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