技术总结
本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置，该蒸镀装置包括：蒸发源，蒸发源的一侧设有蒸气出口；弹性蒸镀腔体，弹性蒸镀腔体设有进气口，弹性蒸镀腔体背离进气口的一侧设有出气口，进气口与蒸发源的蒸气出口连接，且弹性蒸镀腔体的腔体壁设有调温层；与弹性蒸镀腔体连接的驱动机构；喷嘴，喷嘴与弹性蒸镀腔体的出气口连接。该蒸镀装置中，弹性蒸镀腔体可以扩张或收缩以增大或减小容积以收容气态材料，且弹性蒸镀腔体的腔体壁中设置有调温层可以保障在弹性蒸镀腔体内的气态材料维持气态，增加了蒸镀材料的利用率，减少停机维护清洗次数，从而提高产能，且使弹性蒸镀腔体内的气态材料有更好的均一性，有利于提高蒸镀膜层厚度的均一性。
技术研发人员：刘东升;周梁;陈玉;周涛
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
技术研发日：2018.11.09
技术公布日：2019.06.11