技术编号:17895761
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于平面度测量领域,具体的为平面度测量时的一种补偿方法。背景技术传统的平面度测量多采用如下的测量方法:测量设备上的测量头在待测产品上取n个点(n≥2),获得测量头至待测产品上n个点的距离,其距离值为Y1,Y2,……Yn;对获得Y值用最小二乘法求得待测产品的平面度。采用这种测量方法对测试设备上的X轴和Y轴组成的十字滑台本身的平面度要求很高,这样整个测量设备的成本会很高,如若采用本身平面度不好的十字滑台,则获得的待测产品的平面度的值和产品本身平面度的真值差距很大。发明内容为了解决传统测量方式对...
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