一种用于平面度测量时的高度补偿方法与流程

本发明属于平面度测量领域，具体的为平面度测量时的一种补偿方法。

背景技术：

传统的平面度测量多采用如下的测量方法：

测量设备上的测量头在待测产品上取n个点（n≥2），获得测量头至待测产品上n个点的距离，其距离值为y1，y2，……yn；对获得y值用最小二乘法求得待测产品的平面度。

采用这种测量方法对测试设备上的x轴和y轴组成的十字滑台本身的平面度要求很高，这样整个测量设备的成本会很高，如若采用本身平面度不好的十字滑台，则获得的待测产品的平面度的值和产品本身平面度的真值差距很大。

技术实现要素：

为了解决传统测量方式对十字滑台平面度要求过高和减少十字滑台本身平面度对测量结果的影响，本发明提供了如下的技术方案：

.一种用于平面度测量时的高度补偿方法，用于在平面测量时对测量设备的自身的平面度的补偿，所述测量设备包括x轴2,y轴3，测量头4，所述x轴2和y轴3组成十字滑台6，测量头4固定于十字滑台6上，还包括大理石平台1，其具体的测量方法为：a.将大理石平台1置于测量头4正下方，十字滑台6带着测量头4在大理石平台1上取n个点（n≥2），获得测量头4至大理石平台1上n个点的距离，其距离值为x1，x2，……xn；b.取走大理石平台1，将待测产品5正下方，十字滑台6带着测量头4在待测产品5上取n个点n≥2，获得测量头4至待测产品5上n个点的距离，其距离值为y1，y2，……yn；c.将两次测得的值进行求差，获得差值x1-y1，x2-y2，……xn-yn；d.对获得差值用最小二乘法求得待测产品5的平面度。

所述的测量头4至大理石平台1上n个点和测量头4至待测产品5上n个点为相同的点。

通过以上方案，本发明的有益效果为：

1、采用本方法补偿后，测得的平面度结果更接近真实值；

2、采用本补偿方法，对x轴和y轴本身的平面度要求不高，降低了整个测量系统的成本。

3、本方法方便调试，相比较去校正x轴和y轴的平面度，可以快速的达到更理想的效果。

附图说明

图1为本发明配大理石平台结构示意图；

图2为本发明配待测产品的结构示意图；

大理石平台1，x轴2，y轴3，测量头4，待测产品5，十字滑台6。

具体实施方式

为了更好的理解本发明，下面将进行更全面的的描述。

一种用于平面度测量时的高度补偿方法，用于在平面测量时对测量设备的自身的平面度的补偿，所述测量设备包括大理石平台1，x轴2,y轴3，测量头4，所述x轴2和y轴3组成十字滑台6，测量头4固定于十字滑台6上。

具体的测量方法为：a.将大理石平台1置于测量头4正下方，十字滑台6带着测量头4在大理石平台1上取n个点（n≥2），获得测量头4至大理石平台1上n个点的距离，其距离值为x1，x2，……xn；b.取走大理石平台1，将待测产品5正下方，十字滑台6带着测量头4在待测产品5上取n个点,这些点与步骤a里的点相同（n≥2），获得测量头4至待测产品5上n个点的距离，其距离值为y1，y2，……yn；c.将两次测得的值进行求差，获得差值x1-y1，x2-y2，……xn-yn；d.对获得差值用最小二乘法求得待测产品5的平面度。

传统的测量方法为：a.将待测产品5正下方，十字滑台6带着测量头4在待测产品5上取n个点（n≥2），获得测量头4至待测产品5上n个点的距离，其距离值为y1，y2，……yn；b.对获得y值最小二乘法求得待测产品5的平面度。

同理，我们根据测量头4至大理石平台1上n个点的距离，既距离值x1，x2，……xn，获得十字滑台6本身的平面度值m。

同时，本发明的方法测得的平面度值为m1，采用传统方法测得的平面度为m2，用本方法获得平面度值m1更接近待测产品5本身的平面度值，而采用传统方法测得的平面度值m2在（m1+m）和（m1-m）的绝对值之间，采用传统的测量方法获得平面度值会受到十字滑台6的影响，会偏大或者偏小，采用本发明后，可以测得正准确的平面度值。

技术特征：

技术总结
一种用于平面度测量时的高度补偿方法，用于在平面测量时对测量设备的自身的平面度的补偿，所述测量设备包括X轴,Y轴，测量头，大理石平台，所述X轴和Y轴组成十字滑台，测量头固定于十字滑台上，其具体的测量方法为：a.将大理石平台置于测量头正下方，十字滑台带着测量头在大理石平台上取n个点（n≥2），获得测量头至大理石平台上n个点的距离，其距离值为X1，X2，……Xn；b.取走大理石平台，将待测产品正下方，十字滑台带着测量头在待测产品上取n个点（n≥2），获得测量头至待测产品上n个点的距离，其距离值为Y1，Y2，……Yn；c.将两次测得的值进行求差，获得差值X1‑Y1，X2‑Y2，……Xn‑Yn；d.对获得差值用最小二乘法求得待测产品的平面度。

技术研发人员：班猛飞;张晋
受保护的技术使用者：深圳市盛世智能装备有限公司
技术研发日：2017.12.04
技术公布日：2019.06.11