技术编号:17948322
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种用于对太阳能电池进行刻蚀的刻蚀槽。背景技术太阳能电池制造经过扩散形成PN结后,需要通过刻蚀工序去掉硅片背面和硅片侧面的PN结,达到正面与背面绝缘的目的。刻蚀工序通常是在刻蚀槽中进行。现有的刻蚀槽如图1所示,由转动滚轮10带动硅片30前进,进行刻蚀。滚轮10的两端与刻蚀槽体11的侧壁卡接,由一个驱动电机带动所有滚轮10转动。现有的刻蚀槽的缺点是:1、滚轮10转动带动硅片30前进过程中,因相邻滚轮10之间会有高度波动,会带动液位产生波动,从而导致过度刻蚀...
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