一种刻蚀槽的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种用于对太阳能电池进行刻蚀的刻蚀槽。

背景技术：

太阳能电池制造经过扩散形成PN结后，需要通过刻蚀工序去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。刻蚀工序通常是在刻蚀槽中进行。现有的刻蚀槽如图1所示，由转动滚轮10带动硅片30前进，进行刻蚀。滚轮10的两端与刻蚀槽体11的侧壁卡接，由一个驱动电机带动所有滚轮10转动。现有的刻蚀槽的缺点是：

1、滚轮10转动带动硅片30前进过程中，因相邻滚轮10之间会有高度波动，会带动液位产生波动，从而导致过度刻蚀，需增大硅片30前后间距来保证刻蚀质量，以降低刻蚀不良率，但这也降低了刻蚀效率；

2、每个滚轮10都要与刻蚀槽体11的侧壁卡接，存在卡接不良的情况，影响刻蚀质量；

3、滚轮10长期在酸性药液中浸泡，容易产生形变，也会增加刻蚀不良的概率；

4、使用大量滚轮10输送硅片30，一旦有任意一个滚轮10出现异常，便会导致刻蚀不良。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种刻蚀效果更好的刻蚀槽，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种刻蚀槽，能够降低液面波动，避免过度刻蚀，确保刻蚀质量，并能够提高刻蚀效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种刻蚀槽，包括刻蚀槽本体和与所述刻蚀槽本体连接的输送机构，其中，所述输送机构包括：

-两根传动轴，两根所述传动轴分别与所述刻蚀槽本体的两端转动连接；

-环形网带，所述环形网带环绕在两根所述传动轴上并由两根所述传动轴带动回转。

进一步地，所述环形网带包括边框和与所述边框连接并形成网格的经线和纬线，所述经线和所述纬线上均设有呈螺旋状的凹槽。

进一步地，所述经线和所述纬线的直径为3mm-5mm。

进一步地，所述凹槽的直径为2.5mm-4.5mm。

进一步地，所述边框与所述传动轴啮合。

进一步地，所述刻蚀槽本体于所述环形网带的输送面下方转动设有用于支撑所述环形网带的多个辊轮。

进一步地，所述辊轮的外周面上周向设有多个沿其周向分布的环槽。

进一步地，所述辊轮的个数为3个，且等间距分布在所述刻蚀槽本体中。

进一步地，所述环形网带与所述辊轮的材质均为PVDF。

进一步地，所述辊轮的直径为30mm-40mm。

本实用新型的有益效果为：

1、环形网带在刻蚀槽本体内循环转动，环形网带高度与液面持平，因环形网带的输送面为平面，可以大大降低液位的波动性，从而大大提高刻蚀的稳定性，降低过刻的概率；

2、环形网带在刻蚀槽本体内循环，可以避免携带外部杂质进入刻蚀槽本体内，确保刻蚀效果；

3、因环形网带的整体性降低了液面波动，输送硅片时，可以减小硅片前后间距，大大提升刻蚀效率。

附图说明

图1是现有技术中刻蚀槽的结构示意图；

图2是本实用新型具体实施方式提供的刻蚀槽的俯视图；

图3是本实用新型具体实施方式提供的刻蚀槽的侧视图；

图4是图2中A部的截面放大图；

图5是本实用新型具体实施方式提供的刻蚀槽中的辊轮的结构示意图。

图中：

10-滚轮，11-刻蚀槽体；

20-刻蚀槽本体，21-传动轴，22-环形网带，23-边框，24-经线，25-纬线，26-凹槽，27-辊轮，28-环槽；

30-硅片。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图2至图3所示，本实用新型的刻蚀槽包括刻蚀槽本体20和与刻蚀槽本体20连接的输送机构。其中，输送机构包括两根传动轴21和环形网带22，两根传动轴21分别与刻蚀槽本体20的两端转动连接；环形网带22环绕在两根传动轴21上并由两根传动轴21带动回转。

环形网带22为整体式的结构，环形网带22的输送面为平整的面，因此，当环形网带22在刻蚀槽本体20内匀速循环转动时，整个环形网带22高度与蚀槽本体20内的液面持平，可大大降低液位的波动，从而大大提高了刻蚀的稳定性，降低了过刻的概率；因环形网带22的整体性降低了液面波动，输送硅片30时，可以减小硅片30前后间距，大大提升刻蚀效率；另外，环形网带22是在刻蚀槽本体20内循环，可以避免携带外部杂质进入刻蚀槽本体20内，确保了刻蚀效果。

再如图2和图4所示，环形网带22包括边框23和与边框23连接并形成网格的经线24和纬线25。边框23与传动轴21啮合，以便传动轴21带动环形网带22循环转动；经线24和纬线25上均设有呈螺旋状的凹槽26。采用螺旋状的凹槽26结构可以使环形网带22与药液接触时，药液沿螺旋状的凹槽26向上继续爬升，即使硅片30不接触液面也可以和药液形成良好的接触，确保刻蚀效果。

具体的，经线24和纬线25的直径为3mm-5mm，凹槽26的直径为2.5mm-4.5mm。作为本实用新型的优选实施方式，经线24和纬线25的直径为4mm，凹槽26的直径为3.5mm。另外，该环形网带22可采用材质为PVDF的丝线编织而成，PVDF材质具有优良的耐酸碱性、耐腐蚀性，结构稳定、不易变形，不易磨损，可以长期使用。

环形网带22在长时间使用后产生轻微形变，为防止环形网带22产生形变而影响硅片30的传输，本实用新型在刻蚀槽本体20于环形网带22的输送面下方转动设有用于支撑环形网带22的多个辊轮27。优选地，辊轮27的直径为30mm-40mm，辊轮27的个数为3个，且等间距分布在刻蚀槽本体20中。利用辊轮27支撑环形网带22，进一步确保了该刻蚀槽的稳定性，稳定性提高后，一方面可以提升工作效率，另一方面可以降低环形网带22的维修成本，从而降低生产成本。

为了使辊轮27可以耐酸碱、耐腐蚀，辊轮27的材质也为PVDF。

为了减轻辊轮27的自重，以便更好地支撑环形网带22，如图5所示，本实用新型在辊轮27的外周面上周向设有多个沿其周向均匀分布的环槽28。

综上，本实用新型的刻蚀槽能够降低液面的波动性，可以避免过度刻蚀，确保刻蚀质量，并能够提高刻蚀效率。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。