一种刻蚀槽的制作方法

文档序号:17948322发布日期:2019-06-18 23:50阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,公开了一种用于对太阳能电池进行刻蚀的刻蚀槽,包括刻蚀槽本体和与所述刻蚀槽本体连接的输送机构,其中,所述输送机构包括两根传动轴和环形网带,两根所述传动轴分别与所述刻蚀槽本体的两端转动连接;所述环形网带环绕在两根所述传动轴上并由两根所述传动轴带动回转。本实用新型的刻蚀槽利用整体结构的环形网带在刻蚀槽本体内循环转动输送硅片,因环形网带的输送面为平面,可以大大降低液位的波动性,从而大大提高刻蚀的稳定性,降低过刻的概率,并提升刻蚀效率。

技术研发人员:朱纹哲;何安康;闫鹏飞;费正洪
受保护的技术使用者:盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
技术研发日:2018.11.23
技术公布日:2019.06.18

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