一种晶圆自动刮边装置的制作方法

本实用新型涉及刮边装置技术领域，具体为一种晶圆自动刮边装置。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

现有的晶圆刮边装置固定晶圆的位置没有安装适宜的卡接装置，不便于使用者对不同大小类型的晶圆进行刮边处理，装置的使用效果较差，且现有的晶圆刮边装置没有安装良好的遮盖装置，当晶圆刮边装置进行刮边处理时，产生的碎末容易向四周迸溅，不便于使用者对其进行清理，为此我们提出一种晶圆自动刮边装置。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆自动刮边装置，具备提高了该晶圆自动刮边装置的适用性和便于使用者对碎末进行清理等优点，解决了现有的晶圆刮边装置固定晶圆的位置没有安装适宜的卡接装置，不便于使用者对不同大小类型的晶圆进行刮边处理，装置的使用效果较差，且现有的晶圆刮边装置没有安装良好的遮盖装置，当晶圆刮边装置进行刮边处理时，产生的碎末容易向四周迸溅，不便于使用者对其进行清理的问题。

为实现上述该晶圆自动刮边装置的适用性和便于使用者对碎末进行清理的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆自动刮边装置，包括机体，所述机体的底部固定安装有支撑腿，所述机体上表面的右侧固定安装有固定板，所述固定板的顶部固定安装有U形板，所述U形板顶部的左右两侧均开设有卡槽，两个所述卡槽以U形板竖直方向中线为对称轴相互对称，所述卡槽内壁的底部固定安装有卡块，所述卡块的顶部固定连接有竖杆，所述竖杆的内部活动套接有刮片，所述竖杆的左侧固定连接有连接块，所述连接块的左侧固定连接有筒体，所述筒体的内部活动连接有连接杆，所述连接杆的外表面活动套接有限位弹簧，所述连接杆的外表面固定连接有横板，所述刮片的顶端开设有与连接杆相适配的限位孔，所述U形板上表面的左侧通过转杆活动套接有顶盖。

优选的，所述顶盖下表面的右侧固定连接有卡柱，所述卡柱的底端与U形板上表面的右侧通过固定杆相卡接。

优选的，所述横板和限位弹簧均位于筒体的内部，所述限位弹簧的顶端与筒体内壁的顶部固定连接，所述限位弹簧的底端与横板的顶部固定连接。

优选的，所述连接杆的顶端贯穿筒体并延伸至筒体的上方，所述连接杆的顶端固定连接有拉帽，所述连接杆的底端依次贯穿筒体和刮片并延伸至限位孔的内部，所述连接杆的外表面与刮片活动连接，所述连接杆的底端与限位孔的内部相卡接。

优选的，所述U形板内壁的左侧活动连接有斜杆，所述斜杆的内部活动连接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部与顶盖的底部活动连接，所述斜杆的内部活动套接有卡板，所述伸缩杆的底端与卡板的顶部固定连接。

优选的，所述斜杆的内部活动套接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的顶端与卡板的底端固定连接，所述伸缩弹簧的底端与斜杆内壁的底端固定连接，所述机体上表面的左侧固定连接有固定块，所述固定块的正面固定安装有控制面板。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆自动刮边装置，具备以下有益效果：

1、该晶圆自动刮边装置，通过刮片、连接杆、限位孔、横板、限位弹簧、筒体和拉帽之间的配合，拉动拉帽根据晶圆的大小移动刮片，使连接杆的底端与适宜位置的限位孔的内部相卡接，继而便于使用者根据实际情况，对不同大小类型的晶圆进行刮边处理，从而提高了该晶圆自动刮边装置的适用性。

2、该晶圆自动刮边装置，通过卡柱、固定杆、伸缩杆、斜杆、卡板和伸缩弹簧之间的配合，按压顶盖并通过卡柱对顶盖和U形板进行卡接，继而防止该晶圆自动刮边装置在进行晶圆刮边过程中，向四周迸溅碎末，不便于使用者对其进行清理。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中固定杆的放大示意图；

图3为图1中卡板的放大示意图；

图4为图1中A处的放大示意图。

图中： 1、机体；2、支撑腿；3、固定板；4、U形板；5、卡槽；6、卡块；7、刮片；8、竖杆；9、连接杆；10、限位孔；11、连接块；12、横板；13、限位弹簧；14、筒体；15、拉帽；16、转杆；17、顶盖；18、卡柱；19、固定杆；20、伸缩杆；21、斜杆；22、卡板；23、伸缩弹簧；24、固定块；25、控制面板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种晶圆自动刮边装置，包括机体1，机体1的底部固定安装有支撑腿2，机体1上表面的右侧固定安装有固定板3，固定板3的顶部固定安装有U形板4，U形板4内壁的左侧活动连接有斜杆21，斜杆21的内部活动套接有伸缩弹簧23，伸缩弹簧23的顶端与卡板22的底端固定连接，伸缩弹簧23的底端与斜杆21内壁的底端固定连接，机体1上表面的左侧固定连接有固定块24，固定块24的正面固定安装有控制面板25，斜杆21的内部活动连接有伸缩杆20，伸缩杆20的顶部与顶盖17的底部活动连接，斜杆21的内部活动套接有卡板22，伸缩杆20的底端与卡板22的顶部固定连接，U形板4顶部的左右两侧均开设有卡槽5，两个卡槽5以U形板4竖直方向中线为对称轴相互对称，卡槽5内壁的底部固定安装有卡块6，卡块6的顶部固定连接有竖杆8，竖杆8的内部活动套接有刮片7，竖杆8的左侧固定连接有连接块11，连接块11的左侧固定连接有筒体14，筒体14的内部活动连接有连接杆9，连接杆9的顶端贯穿筒体14并延伸至筒体14的上方，连接杆9的顶端固定连接有拉帽15，拉动拉帽15根据晶圆的大小移动刮片7，使连接杆9的底端与适宜位置的限位孔10的内部相卡接，继而便于使用者根据实际情况，对不同大小类型的晶圆进行刮边处理，从而提高了该晶圆自动刮边装置的适用性，连接杆9的底端依次贯穿筒体14和刮片7并延伸至限位孔10的内部，连接杆9的外表面与刮片7活动连接，连接杆9的底端与限位孔10的内部相卡接，连接杆9的外表面活动套接有限位弹簧13，连接杆9的外表面固定连接有横板12，横板12和限位弹簧13均位于筒体14的内部，限位弹簧13的顶端与筒体14内壁的顶部固定连接，限位弹簧13的底端与横板12的顶部固定连接，刮片7的顶端开设有与连接杆9相适配的限位孔10，U形板4上表面的左侧通过转杆16活动套接有顶盖17，顶盖17的中部安装有玻璃隔屏，继而便于操作者随时观察该晶圆自动刮边装置对晶圆进行刮边的情况，顶盖17下表面的右侧固定连接有卡柱18，卡柱18的底端与U形板4上表面的右侧通过固定杆19相卡接，按压顶盖17并通过卡柱18对顶盖17和U形板4进行卡接，继而防止该晶圆自动刮边装置在进行晶圆刮边过程中，向四周迸溅碎末，不便于使用者对其进行清理。

工作时，首先使用者将待工的晶圆放置在两个刮片7之间，然后根据待加工晶圆的大小，拉动拉帽15使连接杆9的底端与限位孔10的内部相脱离，然后移动晶圆的刮片7，使两侧的刮片7与晶圆的左右两侧相卡接，然后缓慢松动拉帽15将连接杆9卡接在水平方向不同位置适宜位置的限位孔10的内部，然后操控控制面板25即可对晶圆进行刮边处理。

综上所述，该晶圆自动刮边装置，通过刮片7、连接杆9、限位孔10、横板12、限位弹簧13、筒体14和拉帽15之间的配合，拉动拉帽15根据晶圆的大小移动刮片7，使连接杆9的底端与适宜位置的限位孔10的内部相卡接，继而便于使用者根据实际情况，对不同大小类型的晶圆进行刮边处理，从而提高了该晶圆自动刮边装置的适用性；通过卡柱18、固定杆19、伸缩杆20、斜杆21、卡板22和伸缩弹簧23之间的配合，按压顶盖17并通过卡柱18对顶盖17和U形板4进行卡接，继而防止该晶圆自动刮边装置在进行晶圆刮边过程中，向四周迸溅碎末，不便于使用者对其进行清理；解决了现有的晶圆刮边装置固定晶圆的位置没有安装适宜的卡接装置，不便于使用者对不同大小类型的晶圆进行刮边处理，装置的使用效果较差，且现有的晶圆刮边装置没有安装良好的遮盖装置，当晶圆刮边装置进行刮边处理时，产生的碎末容易向四周迸溅，不便于使用者对其进行清理的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。