一种晶圆检测用辅助装置的制作方法

本实用新型涉及电子芯片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆检测用辅助装置。

背景技术：

众所周知，晶圆检测装置是一种用于电子芯片生产过程中，对晶圆进行导电性检测的辅助装置，其在电子芯片生产的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆检测装置包括检测探头本体，检测探头底部设置有多组检测探针；现有的晶圆检测装置使用时，手持检测探头，将检测探针与晶圆接触，对晶圆进行检测；现有的晶圆检测装置使用中发现，使用手持检测探头进行检测，在检测中容易产生误差；并且，手部用力不稳，容易对检测探针或晶圆造成损害；另外，手动检测的方式导致生产效率偏低。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种能够避免在检测中产生误差；同时不会对探针或者晶圆造成损害；并且能够提高生产效率的晶圆检测用辅助装置。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，包括检测探头本体，检测探头底部设置有多组检测探针；还包括底座、固定座、两组固定支架、升降箱、旋转把手、蜗杆、蜗轮、螺纹升降杆、滑动套筒、两组升降滑块、两组缓冲弹簧和两组固定杆，固定座安装在底座顶部中心，两组固定支架的低端分别固定在底座顶部的左侧和右侧，升降箱内部设置有升降腔，升降箱左侧和右侧分别连通设置有两组第一通孔，升降箱顶部和底部分别设有两组第二通孔，蜗轮固定在升降腔内，蜗杆的两端分别穿过两组第一通孔，蜗杆中部的螺纹与蜗轮外部的螺纹啮合，螺纹升降杆的两端分别穿过两组第二通孔，螺纹升降杆的底端穿过蜗轮中心并与蜗轮内部的螺纹啮合，位于底座左侧的固定支架的上部设置有旋转通孔，位于底座右侧的固定支架的上部左侧设置有旋转槽，蜗杆的左端穿过旋转通孔转动固定在旋转通孔内，蜗杆的右端转动固定在旋转槽内，把手右侧中部与蜗杆的左端连接，滑动套筒中设置有滑动通孔，两组升降滑块均滑动固定在滑动通孔内，螺纹升降杆的底端与位于滑动套筒上部的升降滑块的顶部相接触，检测探头的顶部与位于滑动套筒下部的升降滑块的底端连接，两组固定杆中的一组固定杆的右端与滑动套筒左侧连接，所述固定杆的左端与位于底座左侧的固定支架连接，两组固定杆中的另一组固定杆的左端与滑动套筒右侧连接，所述固定杆的右端与位于底座右侧的固定支架连接；两组缓冲弹簧的顶部均与位于滑动套筒上部的升降滑块的底部连接，两组缓冲弹簧的底部均与位于滑动套筒下部的升降滑块的顶端连接。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组紧固杆和两组紧固胶条，两组紧固杆的底部均与底座顶部连接，两组紧固杆分别位于固定座的左侧和右侧，两组紧固胶条分别安装在两组紧固杆上。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组移动滑轨和四组移动滑块，两组移动滑轨分别固定在底座顶部的前侧和后侧，两组移动滑轨分别位于固定座的前方和后方，四组移动滑块中的两组移动滑块均滑动固定在位于底座前侧的移动滑轨上，四组移动滑块中的另两组移动滑块均滑动固定在位于底座后侧的移动滑轨上，两组紧固杆的两端分别固定在四组移动滑块上。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括螺纹调节杆，在底座中部设置有调节螺纹孔，在固定座底部设置有调节槽，调节槽底部与调节螺纹孔顶部连通，螺纹调节杆顶部螺装在调节螺纹孔的底部，螺纹调节杆顶部穿过调节螺纹孔放置在调节槽内。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组紧固架，两组紧固架中的一组紧固架的右端与升降箱左侧底部连接，所述紧固架的左端与位于底座左侧的固定支架的上部连接，两组紧固架中的另一组紧固架的左端与升降箱右侧底部连接，所述紧固架的右端与位于底座左侧的固定支架的上部连接。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括四组脚杆和四组自锁滚轮，四组脚杆的顶部分别固定在底座底部的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组自锁滚轮分别安装在四组脚杆的底端。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组限位挡圈，两组限位挡圈均呈圆环状，两组限位挡圈中的一组固定在滑动通孔的上部，所述限位挡圈位于滑动通孔上部的升降滑块的上方，螺纹升降杆的底端从所述限位挡圈的中心穿过，两组限位挡圈中的另一组固定在滑动通孔的下部，所述限位挡圈位于滑动通孔下部的升降滑块的下方，检测探头从所述限位挡圈的中心穿过。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，所述底座、固定座、两组固定支架、升降箱、旋转把手、蜗杆、蜗轮、螺纹升降杆、滑动套筒、两组升降滑块、两组缓冲弹簧、两组固定杆、紧固杆、两组移动滑轨、四组移动滑块、螺纹调节杆、两组紧固架、四组脚杆、四组自锁滚轮和两组限位挡圈的表面均设置有防静电涂层。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：在对晶圆进行检测时，将晶圆放置在固定座上，旋转把手带动蜗杆旋转，通过蜗杆带动蜗轮旋转，从而带动螺纹升降杆进行升降，从而使得升降滑块进行升降，通过上述操作使检测探头下降，使检测探头的探针与晶圆相接触，对晶圆进行检测，从而避免了手持检测探头检测时造成的误差；同时，两组缓冲弹簧可以减缓升降滑块下降的速度，使得探针可以缓慢的与晶圆接触，避免对探针和晶圆造成损害，同时，在螺纹升降杆上升时，缓冲弹簧可以将两组升降滑块的位置复位；通过使用所述装置对晶圆进行探测，对比人工手持检测探头对晶圆进行检测，可以提高检测效率，从而提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的俯视图；

图3是本实用新型的A部局部放大图；

附图中标记：1、检测探头；2、底座；3、固定座；4、固定支架；5、升降箱；6、旋转把手；7、蜗杆；8、蜗轮；9、螺纹升降杆；10、滑动套筒；11、升降滑块；12、缓冲弹簧；13、固定杆；14、紧固杆；15、紧固胶条；16、移动滑轨；17、移动滑块；18、螺纹调节杆；19、紧固架；20、脚杆；21、自锁滚轮；22、限位挡圈。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图3所示，本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，包括检测探头1本体，检测探头1底部设置有多组检测探针；还包括底座2、固定座3、两组固定支架4、升降箱5、旋转把手6、蜗杆7、蜗轮8、螺纹升降杆9、滑动套筒10、两组升降滑块11、两组缓冲弹簧12和两组固定杆13，固定座3安装在底座2顶部中心，两组固定支架4的低端分别固定在底座2顶部的左侧和右侧，升降箱5内部设置有升降腔，升降箱5左侧和右侧分别连通设置有两组第一通孔，升降箱5顶部和底部分别设有两组第二通孔，蜗轮8固定在升降腔内，蜗杆7的两端分别穿过两组第一通孔，蜗杆7中部的螺纹与蜗轮8外部的螺纹啮合，螺纹升降杆9的两端分别穿过两组第二通孔，螺纹升降杆9的底端穿过蜗轮8中心并与蜗轮8内部的螺纹啮合，位于底座2左侧的固定支架4的上部设置有旋转通孔，位于底座2右侧的固定支架4的上部左侧设置有旋转槽，蜗杆7的左端穿过旋转通孔转动固定在旋转通孔内，蜗杆7的右端转动固定在旋转槽内，把手右侧中部与蜗杆7的左端连接，滑动套筒10中设置有滑动通孔，两组升降滑块11均滑动固定在滑动通孔内，螺纹升降杆9的底端与位于滑动套筒10上部的升降滑块11的顶部相接触，检测探头1的顶部与位于滑动套筒10下部的升降滑块11的底端连接，两组固定杆13中的一组固定杆13的右端与滑动套筒10左侧连接，所述固定杆13的左端与位于底座2左侧的固定支架4连接，两组固定杆13中的另一组固定杆13的左端与滑动套筒10右侧连接，所述固定杆13的右端与位于底座2右侧的固定支架4连接；两组缓冲弹簧12的顶部均与位于滑动套筒10上部的升降滑块11的底部连接，两组缓冲弹簧12的底部均与位于滑动套筒10下部的升降滑块11的顶端连接；在对晶圆进行检测时，将晶圆放置在固定座上，旋转把手带动蜗杆旋转，通过蜗杆带动蜗轮旋转，从而带动螺纹升降杆进行升降，从而使得升降滑块进行升降，通过上述操作使检测探头下降，使检测探头的探针与晶圆相接触，对晶圆进行检测，从而避免了手持检测探头检测时造成的误差；同时，两组缓冲弹簧可以减缓升降滑块下降的速度，使得探针可以缓慢的与晶圆接触，避免对探针和晶圆造成损害，同时，在螺纹升降杆上升时，缓冲弹簧可以将两组升降滑块的位置复位；通过使用所述装置对晶圆进行探测，对比人工手持检测探头对晶圆进行检测，可以提高检测效率，从而提高生产效率。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组紧固杆14和两组紧固胶条15，两组紧固杆14的底部均与底座2顶部连接，两组紧固杆14分别位于固定座3的左侧和右侧，两组紧固胶条15分别安装在两组紧固杆14上；通过两组紧固杆可以将晶圆固定在固定座上，使晶圆在检测时更为稳固，同时通过两组紧固胶条避免对晶圆造成损害。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组移动滑轨16和四组移动滑块17，两组移动滑轨16分别固定在底座2顶部的前侧和后侧，两组移动滑轨16分别位于固定座3的前方和后方，四组移动滑块17中的两组移动滑块17均滑动固定在位于底座2前侧的移动滑轨16上，四组移动滑块17中的另两组移动滑块17均滑动固定在位于底座2后侧的移动滑轨16上，两组紧固杆14的两端分别固定在四组移动滑块17上；通过移动滑块的带动，可以使紧固杆左右移动，从而调节两组紧固杆之间的距离，从而使得紧固杆可以固定不同大小的晶圆，使得所述装置能够对不同大小的晶圆进行检测。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括螺纹调节杆18，在底座2中部设置有调节螺纹孔，在固定座3底部设置有调节槽，调节槽底部与调节螺纹孔顶部连通，螺纹调节杆18顶部螺装在调节螺纹孔的底部，螺纹调节杆18顶部穿过调节螺纹孔放置在调节槽内；通过旋转螺纹调节杆，可以使固定座上升或者下降，从而度固定座的高度进行微调，同时配合升降滑块对检测探头的升降调节，可以使晶圆与检测探头更平稳的接触，避免对探针或者晶圆造成损害。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组紧固架19，两组紧固架19中的一组紧固架19的右端与升降箱5左侧底部连接，所述紧固架19的左端与位于底座2左侧的固定支架4的上部连接，两组紧固架19中的另一组紧固架19的左端与升降箱5右侧底部连接，所述紧固架19的右端与位于底座2左侧的固定支架4的上部连接；通过两组紧固架，可以使升降箱更稳定的固定在两组固定支架上，从而使螺纹升降杆的升降更为平稳，从而提高所述装置的稳定性，从而提高检测探头对晶圆检测效果的稳定性。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括四组脚杆20和四组自锁滚轮21，四组脚杆20的顶部分别固定在底座2底部的左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组自锁滚轮21分别安装在四组脚杆20的底端；通过自锁滚轮，可以方便的对底座进行移动，从而提高所述装置在使用时的灵活性，同时在底座移动到合适位置后，可以将自锁滚轮锁死，从而将底座固定。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，还包括两组限位挡圈22，两组限位挡圈22均呈圆环状，两组限位挡圈22中的一组固定在滑动通孔的上部，所述限位挡圈22位于滑动通孔上部的升降滑块11的上方，螺纹升降杆9的底端从所述限位挡圈22的中心穿过，两组限位挡圈22中的另一组固定在滑动通孔的下部，所述限位挡圈22位于滑动通孔下部的升降滑块11的下方，检测探头1从所述限位挡圈22的中心穿过；通过设置两组限位挡圈，可以避免两组升降滑块从滑动套筒中滑落。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，所述底座2、固定座3、两组固定支架4、升降箱5、旋转把手6、蜗杆7、蜗轮8、螺纹升降杆9、滑动套筒10、两组升降滑块11、两组缓冲弹簧12、两组固定杆13、紧固杆14、两组移动滑轨16、四组移动滑块17、螺纹调节杆18、两组紧固架19、四组脚杆20、四组自锁滚轮21和两组限位挡圈22的表面均设置有防静电涂层；通过设置防静电涂层，可以使所述装置具有防静电功能，从而避免在对晶圆进行检测时，因静电造成对晶圆的伤害。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，其在使用时，将晶圆放置在固定座上，滑动两组紧固杆，将晶圆固定在固定座上，旋转把手使螺纹升降杆带动移动滑块下降，通过缓冲弹簧的缓冲使得检测探头缓慢下降，使得探针与晶圆相接触并对晶圆进行检测，在检测探头下降的过程中，调节螺纹调节杆对固定座进行微调，从而使晶圆与探针接触时更为稳固。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，故在此不再赘述。

本实用新型的一种晶圆检测用辅助装置，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。本实用新型中所述“第一”、“第二”、“第三”不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。