技术编号：17979620
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种以光刻处理的FTO导电玻璃为电极元件的ZnO纳米簇气敏传感器，属于气体传感器技术领域。背景技术众所周知，过量的有毒有害和易燃易爆气体会造成严重的环境污染并危害人类健康。目前，因有毒有害和易燃易爆气体引发的重大事故屡见不鲜，现已造成大量的人员伤亡和财产损失。如何实现对危险气体的实时监测，进而避免潜在安全事故的发生，并为危险气体的后续处理提供前期保障，现已成为当前社会所面临的重大难题与技术挑战。近年来，基于半导体金属氧化物材料的化学电阻式气敏传感器因其生产成本低、制作工艺简单、测试手段...
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