技术编号:1799571
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种硅切割过程中脱胶机冲洗托板装置。背景技术硅棒经过切割后,需要对冶具晶托进行脱胶处理,然后进行冲洗,传统的冲洗托板方式往往采用手动模式,生产效率低下,冲洗出的硅片不干净,导致产品脏污,花斑不良较多实用新型内容 本实用新型目的在于针对现有技术的缺陷提供一种脱胶机托板自动冲洗装置。本实用新型为实现上述目的,采用如下技术方案一种脱胶机冲洗托板装置,其特征在于其包括喷淋槽和托板支架;所述托板支架设置在所述喷淋槽中心位置,用于放置冶具晶托;所述喷淋槽...
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