专利名称：一种脱胶机冲洗托板装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅切割过程中脱胶机冲洗托板装置。
背景技术：
硅棒经过切割后，需要对冶具晶托进行脱胶处理，然后进行冲洗，传统的冲洗托板方式往往采用手动模式，生产效率低下，冲洗出的硅片不干净，导致产品脏污，花斑不良较多
实用新型内容
本实用新型目的在于针对现有技术的缺陷提供一种脱胶机托板自动冲洗装置。本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案一种脱胶机冲洗托板装置，其特征在于其包括喷淋槽和托板支架；所述托板支架设置在所述喷淋槽中心位置，用于放置冶具晶托；所述喷淋槽内壁和托板支架之间设置有喷淋管，所述喷淋管上设置有喷淋嘴，所述喷淋嘴喷口面向托板支架。其进一步特征在于所述喷淋管和喷淋嘴均匀分布，分别设置在冶具晶托两侧。治具晶托放入冲洗托板装置后，装置自动运行，喷淋管道通过喷淋嘴对托板，晶托进行冲洗。冲洗均匀效果好，减少了硅片的脏污和花斑现象，用水量较少，同时节省了人力和，生广效率有显者的提闻。
图I为本实用新型示意图。
具体实施方式
如图I所示一种脱胶机冲洗托板装置，其包括喷淋槽I和托板支架2 ;所述托板支架2设置在所述喷淋槽I中心位置，用于放置冶具晶托5 ;所述喷淋槽I内壁和托板支架2之间设置有喷淋管3,所述喷淋管3上设置有喷淋嘴4,所述喷淋嘴4喷口面向托板支架2。所述喷淋管3和喷淋嘴4均匀分布，分别设置在冶具晶托5两侧。使用时装置自动运行，喷嘴对喷淋嘴对托板，晶托进行冲洗，冲洗均匀效果好，减少了硅片的脏污和花斑现象。
权利要求1.一种脱胶机冲洗托板装置，其特征在于其包括喷淋槽和托板支架；所述托板支架设置在所述喷淋槽中心位置，用于放置冶具晶托；所述喷淋槽内壁和托板支架之间设置有喷淋管，所述喷淋管上设置有喷淋嘴，所述喷淋嘴喷口面向托板支架。
2.根据权利要求I所述的一种脱胶机冲洗托板装置，其特征在于所述喷淋管和喷淋嘴均匀分布，分别设置在冶具晶托两侧。
专利摘要本实用新型公布了一种脱胶机冲洗托板装置，其特征在于其包括喷淋槽和托板支架；所述托板支架设置在所述喷淋槽中心位置，用于放置冶具晶托；所述喷淋槽内壁和托板支架之间设置有喷淋管，所述喷淋管上设置有喷淋嘴，所述喷淋嘴喷口面向托板支架。治具晶托放入冲洗托板装置后，装置自动运行，喷淋管道通过喷淋嘴对托板，晶托进行冲洗。冲洗均匀效果好，减少了硅片的脏污和花斑现象，用水量较少，同时节省了人力，生产效率有显著的提高。
文档编号B28D5/00GK202781469SQ20122051037
公开日2013年3月13日 申请日期2012年9月27日 优先权日2012年9月27日
发明者胥大鹏, 何江涛, 李晓建, 刘爱军, 谈继岗 申请人:无锡隆基硅材料有限公司, 西安隆基硅材料股份有限公司, 宁夏隆基硅材料有限公司, 银川隆基硅材料有限公司