技术编号:1806809
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种线锯装置,更详细地涉及一种具备能够接收在通过线锯切割锭块 时所产生的碎片等的篮子的线锯装置。背景技术一般来说,在锭块的成长(growth)工序结束之后,为了将锭块制成晶片,进行按单 片单位切割锭块的切片工序。这种切片工序有多种形式,其中典型的是线锯(Wire Saw)方式,即为在腔室内使 钢琴线或高张力线高速往返移动,并在其上喷洒淤浆(slurry)溶液,通过沾在线上的淤浆 和单晶锭块之间的摩擦而进行切割的方式。线锯方式可将锭块同时切割为多个...
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