专利名称：线锯装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种线锯装置，更详细地涉及一种具备能够接收在通过线锯切割锭块 时所产生的碎片等的篮子的线锯装置。
背景技术：
一般来说，在锭块的成长(growth)工序结束之后，为了将锭块制成晶片，进行按单 片单位切割锭块的切片工序。
这种切片工序有多种形式，其中典型的是线锯(Wire Saw)方式，即为在腔室内使 钢琴线或高张力线高速往返移动，并在其上喷洒淤浆(slurry)溶液，通过沾在线上的淤浆 和单晶锭块之间的摩擦而进行切割的方式。
线锯方式可将锭块同时切割为多个晶片，从而能够提高单位时间的生产收率，因 此目前得到广泛的应用。
韩国专利第887494号公开一种采用线锯的锭块切割装置。其中公开横梁，即为 固定锭块的单元，所述锭块设置于在腔室内侧的两个辊轮上缠绕300 400圈的线的上方， 所述横梁的底面供锭块附着；工作板，底面供所述横梁附着，侧面具有嵌合形状；锭块送料 台，具备与工作板的嵌合形状配合的凹槽，供安装所述工作板的嵌合形状结构。
利用如上锭块切割装置将锭块切割成厚度非常薄的晶片。然而，在将锭块切割成 晶片的过程中，由于作为切割机构的线的张力等的不均匀性，晶片会部分地产生破损。
此时，破损的晶片向下坠落，坠落的晶片会在不完全从锭块分离的状态下坠落，而 在夹在被切割的其他晶片之间的状态即相互接触的状态下坠落。
因此，为了接收坠落的晶片，以往在两个辊轮之间具备承接部件等，所述承接部件 通常由金属等导体构成。
当坠落的晶片接触承接部件等时，在线上流动的断线感测用电流会流过承接部 件，随着承接部件被导通，电流会流在与承接部件结合的整体腔室。
结果是，这种状态会被控制整体系统的控制部判断为和线已断线并与腔室接触的 情况相同的状态。发明内容
本发明的课题是解决上述以往的问题，其目的是提供一种线锯装置，该线锯装置 能够防止由于在切割锭块时部分被破损而坠落的晶片而被判断为断线。
此外，本发明的另一目的是提供一种线锯装置，该线锯装置在外部易于识别部分 被破损的晶片坠落于绝缘篮中的情况。
上述课题可通过本发明的以下方案来实现一种线锯装置，用于切割向下移动的 锭块，所述线锯装置的特征在于，包括多个绕线管，相互隔开配置而旋转；线，在所述多个 绕线管上往复缠绕为数圈，用于切割锭块；绝缘篮，配置在所述锭块的下部即所述多个绕线 管的隔离空间；以及导向板，在所述绝缘篮的两侧与所述绕线管相对而结合。
其中，可进一步包括与所述绕线管的前端和后端结合的一对支承板。
此外，可进一步包括与所述绝缘篮结合，且分别与所述一对支承板可装卸地结合的结合件。此时，所述结合件可为绝缘材料。
此外，所述绝缘篮可包括底板和与所述底板的边缘结合的多个侧板，以形成内部空间。
此外，所述底板可包括倾斜部，从所述底板的中央部的两侧向下倾斜形成；和贯穿部，延伸形成在所述倾斜部的末端，形成有穿孔。
此外，在所述侧板可形成有淤浆流出用的穿孔。所述侧板可包括前端部，与所述底板的前方端部结合；和侧端部，沿所述底板的长度方向的两侧端部结合，在所述前端部可形成有可供握持的握持部。
此外，所述导向板可以以所述绝缘篮为中心向上外侧倾斜形成，用于导向在锭块切割时下落的锭块碎片。此时，所述导向板可为绝缘材料。
根据本发明，提供一种能够防止由于在切割锭块时部分被破损而坠落的晶片而判断为断线的线锯装置。
此外，提供一种在外部易于识别部分被破损的晶片坠落于绝缘篮中的情况的线锯>J-U ρ α装直。
图1是本发明第一实施例的线锯装置中的切割部的立体图。
图2是图1的分解立体图。·
图3是图2的绝缘篮和导向板的放大图。
图4和图5是本发明第一实施例的线锯装置的工作状态图。
具体实施方式
进行说明之前需要说明的是，在多个实施例中，对于具有相同的结构的结构要素使用相同的符号，并在第一实施例中进行代表性的说明，在其他实施例中对与第一实施例不同的结构进行说明。
下面，参照附图详细说明本发明的第一实施例的线锯装置。
本发明第一实施例的线锯装置如常规的线锯装置，在规定大小的腔室内侧设置有锭块，包括切割部和送出部，通过所述送出部向切割部供给线并从切割部回收线，所述切割部使所述锭块向下移动并由所述线将锭块切割成晶片，所述送出部在所述腔室的一侧包括多个辊轮及经由所述多个辊轮的线。
图1是本发明第一实施例的线锯装置中的切割部的立体图，图2是图1的分解立体图。
参照图1及图2，切割部I设置在腔室100的内侧，可包括一对支承板10、一对绕线管20、线30、绝缘篮40及导向板60而构成。
所述一对支承板10包括第一支承板11和第二支承板12，其为供后述的一对绕线管20通过规定的轴承等进行空转(idle)而设置的部件，所述一对支承板相隔规定的间隔设置在腔室100的内侧。
此时，可通过螺丝或螺栓等，位于前方的第一支承板11结合固定于腔室100的前方内壁，第二支承板12固定于腔室100的后方内壁。
此外，在第一支承板11上可形成有槽状或孔状的观察部11a，以供在外部观察后述的绝缘篮40。
而且，在各支承板上形成有供后述的一对绕线管20结合的规定的槽或孔，在本实施例中示出形成有孔的结构。
所述一对绕线管20包括第一绕线管21和第二绕线管22，彼此相互隔开而配置，其两端旋转自如地结合于所述一对支承板10。
其中，在各绕线管的外侧面上可形成有供后述的线30以规定的间隔缠绕的槽(未图示)。
而且，各绕线管可通过位于后方的第二支承板12，与规定的驱动电机等的施加驱动力的驱动装置结合而驱动。
所述线30设置为经由送出部的多个辊轮，且从送出部在所述的一对绕线管20的外侧可缠绕为至少300 400圈，此时，线30可以以嵌合等方式缠绕于按规定的间隔形成于各绕线管的外侧的槽中。
如上缠绕于绕线管上的线30通过送出部的供给及回收，可在一侧上沿着各绕线管的外侧面缠绕，而在另一侧解卷。
图3是图2中的绝缘篮和导向板的放大图。参照图3，所述绝缘篮40由不导电的绝缘材料制备，可包括形成内部空间的底板41和与底板41的各边结合的多个侧板42。
其中，底板41为具有规定厚度的板材，可包括倾斜部41a和贯穿部41b。所述倾斜部41a可形成为从底板41的中央部的两侧向下倾斜。
所述贯穿部41b为从倾斜部41a延伸形成的部分，可形成有能够使淤浆(slurry) 向下贯通而下落的穿孔41b'。
这样的绝缘篮40可设置在向下移动的锭块的下部即所述第一绕线管21和第二绕线管22的隔尚空间。
S卩，通过绝缘篮40的倾斜部41a，淤浆或锭块的碎片等能够从绝缘篮40的长度方向的两侧向下流动 或移动，而通过倾斜部41a流下的淤浆可通过贯穿部41b下落。结果是， 不会出现在绝缘篮40的内部空间沉积淤浆而凝固的现象。
所述侧板42可由结合于底板41的前方端部且具有规定的高度的前端部42a及以规定的高度结合于底板的长度方向两侧端部的侧端部42b形成。
在本实施例中，绝缘篮40的后方端部以与第二支承板12相接的方式结合，因此图中示出与后面之外的其余三个面结合的结构，根据需要也可以与所有的边，即与四个面全卻彡口口 O
其中，在前端部42a和侧端部42b上可如上述贯穿部41b，形成有淤浆流出用的穿孔 42a' A2h'。
此外，在前端部42a形成有装拆时可供握持的握持部42a"，因此在装拆时，管理人员可在直接握持绝缘篮40的状态下进行装拆，从而能够防止损坏或破坏线及绕线管等其他结构。
另一方面，绝缘篮40可通过结合件50分别与第一支承板11和第二支承板12能够装拆地结合。
其中，结合件50可具有大致“L”字形剖面，可包括与绝缘篮40的长度方向的端部结合的结合部51及与所述结合部51的长度方向端部的下部结合的固定部52。
其中，固定部52可通过规定的螺栓(未图示)分别与所述的支承板10的内侧面能够装拆地结合。
以往尽管具备承接部件等，但其与腔室一体形成，或者即使能够装拆，也需要避开绕线管等的干涉而拆卸，因此具有不便之处，但由于如上结合于支承板，只由螺栓的拧紧和拧开即可装拆，因此能够易于拆卸绝缘篮40。
导向板60可由绝缘材料设置为一对，分别通过结合装置53与所述侧板42的侧端部42b结合，并且包括与侧端部42b结合的垂直板61及从垂直板61向上外侧即以绝缘篮 40为中心向上外侧倾斜折曲的折板62。
此时，导向板可根据需要多次折曲而形成，在本实施例中示出相对于垂直板，折板为折曲一次而形成的结构。
此外，在垂直板61上可形成有连通孔60a，该连通孔60a与形成在与该连通孔彼此相对而结合的侧端部42b上的淤浆流出用的穿孔42b'连通。
S卩，沿垂直板61的内壁而流下的淤浆可通过淤浆流出用的穿孔42b'及连通孔 60a向外流出。
如此形成而能够稳定地向下导引在锭块切割时所产生的碎片等。
下面说明上述线锯装置的第一实施例的工作。
图4和图5是本发明第一实施例的线锯装置的工作状态图。参照图4，将线30缠绕于第一绕线管21及第二绕线管22的外侧，并以预先设定的速度使锭块200向下移动。此时，预先设定为断线感测用的电流在线30中流动。
而且如图5所示，通过线30，锭块200被切割成薄厚度的晶片，此时由于线30的张力不均匀或整体装置 的振动等，已被切割的部分晶片200A破损，并在夹在其他晶片之间的状态下向下滑动而移动。
此时，破损的晶片200A通过导向板60被导引至绝缘篮40的方向并与绝缘篮40 接触，但由于绝缘篮40和导向板60为绝缘材料，因此不会使整体腔室通电，从而能够防止感测为断线。
此外，装置的管理人员可通过第一支承板11上形成的观察部Ila从外部易于发现绝缘篮40中的破损的晶片200A，因此能够暂时停止整体装置后，去除破损的晶片并重新启动装置。
另外，下落并安置在绝缘篮40中的微小的碎片可在完成将锭块切割成晶片的作业之后，拆卸绝缘篮40并从中去除。
如上所述，根据本发明若具备由绝缘材料构成的绝缘篮及导向板，在锭块部分产生破损时能够易于从外部观察，且能够防止由于部分地破损并与绝缘篮接触的晶片，整体腔室被导通从而错误地判断为断线的情况。
本发明的保护范围不仅限于上述实施例，在所附上的权利要求书记载的内容基础上能够实现为各种形式的实施例。在不脱离权利要求书所要求保护的本发明宗旨的范围内，本发明所属技术领域中具有一般知识的人都能变更的各种范围也应认为属于本发明的保护范围内。
工业上的可应用性
本发明在使用线锯装置切割锭块时，能够防止由于部分被破损而坠落的晶片而判 断为断线的现象，从而能够进行连续作业。
权利要求
1.一种线锯装置，用于切割向下移动的锭块，所述线锯装置的特征在于，包括多个绕线管，相互隔开配置而旋转；线，在所述多个绕线管上往复缠绕为数圈，用于切割锭块；绝缘篮，配置在所述锭块的下部即所述多个绕线管的隔离空间；以及导向板，在所述绝缘篮的两侧与所述绕线管相对而结合。
2.根据权利要求1所述的线锯装置，其特征在于，进一步包括与所述绕线管的前端和后端结合的一对支承板。
3.根据权利要求1所述的线锯装置，其特征在于，进一步包括与所述绝缘篮结合，且分别与所述一对支承板能够装卸地结合的结合件。
4.根据权利要求3所述的线锯装置，其特征在于，所述结合件为绝缘材料。
5.根据权利要求1所述的线锯装置，其特征在于，所述绝缘篮包括底板和与所述底板的边缘结合的多个侧板，以形成内部空间。
6.根据权利要求5所述的线锯装置，其特征在于，所述底板包括倾斜部，从所述底板的中央部的两侧向下倾斜形成；和贯穿部，延伸形成在所述倾斜部的末端，形成有穿孔。
7.根据权利要求5所述的线锯装置，其特征在于，在所述侧板形成有淤浆流出用的穿孔。
8.根据权利要求5所述的线锯装置，其特征在于，所述侧板包括前端部，与所述底板的前方端部结合；和侧端部，沿所述底板的长度方向的两侧端部结合，所述前端部形成有可供握持的握持部。
9.根据权利要求1所述的线锯装置，其特征在于，所述导向板以所述绝缘篮为中心向上外侧倾斜形成，用于导向在锭块切割时下落的锭块碎片。
10.根据权利要求1所述的线锯装置，其特征在于，所述导向板为绝缘材料。
全文摘要
本发明涉及一种用于切割锭块的线锯装置，本发明的线锯装置用于切割向下移动的锭块，其特征在于，包括多个绕线管，相互隔开配置而旋转；线，在所述多个绕线管上往复缠绕为数圈，用于切割锭块；绝缘篮，配置在所述锭块的下部即所述多个绕线管的隔离空间；以及导向板，在所述绝缘篮的两侧与所述绕线管相对而结合。由此，能够防止由于在切割锭块时部分地破损而坠落的晶片，错误地判断为断线的情况，且从外部易于识别部分晶片破损而坠落于绝缘篮中的情况。
文档编号B28D7/00GK103003040SQ201280000111
公开日2013年3月27日 申请日期2012年1月20日 优先权日2011年1月21日
发明者张石俊, 朴泰仁, 赵昌锡, 赵商植, 金海砚, 郭范锡 申请人:五星Lst有限公司