技术编号：18090222
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体器件加工技术领域，尤其涉及一种晶闸管门极辐照支架。背景技术晶闸管在制作过程中，根据不同客户的要求，需要对晶闸管进行门极辐照，这样能够改变晶闸管的电学性能，提高门极的触发电流；在辐照过程中，通常都是直接将晶闸管芯片放置在光源中，这样无法保证精确度。授权公告号为：CN 2177292Y的实用新型公开了一种利用辐照处理半导体器件、特别是晶闸管的一种起辅助作用的卡具；它由开有孔洞的面板、底板、弹性软垫、橡胶薄层、铰链、锁扣组成，使用时,射线只从孔洞通过辐照晶闸管的控制极及附近区域,其...
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