一种晶闸管门极辐照支架的制作方法

本实用新型涉及半导体器件加工技术领域，尤其涉及一种晶闸管门极辐照支架。

背景技术：

晶闸管在制作过程中，根据不同客户的要求，需要对晶闸管进行门极辐照，这样能够改变晶闸管的电学性能，提高门极的触发电流；在辐照过程中，通常都是直接将晶闸管芯片放置在光源中，这样无法保证精确度。

授权公告号为：CN 2177292Y的实用新型公开了一种利用辐照处理半导体器件、特别是晶闸管的一种起辅助作用的卡具；它由开有孔洞的面板、底板、弹性软垫、橡胶薄层、铰链、锁扣组成，使用时,射线只从孔洞通过辐照晶闸管的控制极及附近区域,其他部分则不受辐照。从而避免一般辐照方法引起的通态正向压降增大的缺陷,并且使控制极参数太小的产品达到合格标准；或进一步变成用户要求的值，同时其他一些参数也有不同程度的改善，该专利结构比较复杂，不适合推广使用。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种晶闸管门极辐照支架，解决了现有技术中辐照支架结构复杂，使用不方便的技术问题。

一种晶闸管门极辐照支架，包括上盖板和底板，所述底板上均匀开设有多个放置孔，所述上盖板上均匀开设有多个辐照孔，且上盖板设置在底板上方，所述上盖板与所述底板之间通过销轴固定。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述辐照孔的中心线和放置孔的中心线一致，采用本步的有益效果是便于调节其电学参数。

进一步地，所述底板四周设置有多个第一定位孔，所述上盖板四周设置有多个第二定位孔，所述销轴穿过所述第一定位孔、第二定位孔，采用本步的有益效果是通过两个定位孔，便于底板和上盖板的组装，从而有利于提高工作人员的工作效率。

进一步地，所述第一定位孔、第二定位孔的数目一致，且第一定位孔至少为四个。

进一步地，所述上盖板底部的四周开设有凹槽，采用本步的有益效果是通过凹槽能够便于工作人将上盖板从底板上拿开。

进一步地，所述放置孔的深度为4mm，采用本步的有益效果是通过限制深度，这样能够保证芯片能够完全处于放置孔内部，即芯片的上表面不会高于底板的上表面。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种晶闸管门极辐照支架，通过底板限制芯片的位置，上盖板遮挡芯片的其余位置，通过辐照孔完成辐照门极的操作，这样能够改变门极触发电流。

2.本实用新型在上盖板的底面设置有凹槽，这样便于工作人员搬离上盖板，提高工作效率。

3.本实用新型结构简单，操作方便，同时各个部件也易更换，有利于提高其适用范围。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种晶闸管门极辐照支架的结构示意图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种晶闸管门极辐照支架的底板示意图；

图3为本实用新型具体实施例所述的一种晶闸管门极辐照支架的上盖板示意图；

附图标记：

1-上盖板；2-底板；3-销轴；

101-辐照孔；102-凹槽；

201-放置孔；202-第一定位孔；203-第二定位孔。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如图1-3所示，本实用新型所提供的一种晶闸管门极辐照支架，包括上盖板1和底板2，所述底板2上均匀开设有多个放置孔201，所述上盖板1上均匀开设有多个辐照孔101，且上盖板1设置在底板2上方，所述上盖板1与所述底板2之间通过销轴3固定；本实施例的部件较少，在使用时，和底座相互配合，完成限位，其中放置孔201是用于放置芯片，而上盖板1处于底板2上方，这样辐照孔101位于放置孔201上方，便于对芯片进行辐照，完成门极触发电流的调整。

如图1所示，所述辐照孔101的中心线和放置孔201的中心线一致，这样便于调节其电学参数。

如图1所示，所述底板2四周设置有多个第一定位孔202，所述上盖板1四周设置有多个第二定位孔203，所述销轴3穿过所述第一定位孔202、第二定位孔203，本实施例在底板2和上盖板1上均设置有定位孔，销轴3穿过定位孔安装后，辐射孔101和放置孔201的位置就能确定，最后在加工的时候，就能够完成门极辐照。

如图1所示，所述第一定位孔201、第二定位孔202的数目一致，且第一定位孔至少为四个。

如图3所示，所述上盖板1底部的四周开设有凹槽102，通过凹槽102能够便于工作人将上盖板1从底板上拿开，因为上盖板1和底板2在组装后，两者是紧密贴合的，在完成辐照操作后，需要拿开上盖板1时，需要一定的缝隙，通过凹槽102就能够方便工作人员移开上盖板1。

本实施例中的上盖板1厚度为8mm，这样能够有效避免辐照到芯片的其他位置，底板的厚度为5mm，所述放置孔201的深度为4mm，通过限制深度，这样能够保证芯片能够完全处于放置孔内部，即芯片的上表面不会高于底板的上表面，这样不会对芯片的表面产生磨损。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。