技术编号:1810035
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于PCVD沉积车床出气端的旋转接头装置,是对现有旋转接头装置的进一步改进。本发明为解决上述提出的问题所采用的技术方案为包括有主轴2和支承座5,支承座的一侧安设有与主轴相联的传动带轮,支承座的另一侧设置有固定外壳14,固定外壳内安设有支承主轴的轴承8,固定外壳的尾端为尾气排放口,其不同之处在于固定外壳内安设有与主轴相联的磁性轴10,磁性轴由轴承支承,在轴承侧设有与磁性轴相配置的磁流体11,构成主轴与固定外壳间的磁流体密封。按上述方案,为降低排...
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