Pcvd沉积车床出气端旋转接头装置的制作方法

文档序号:1810035阅读:315来源:国知局
专利名称:Pcvd沉积车床出气端旋转接头装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种用于PCVD沉积车床出气端的旋转接头装置,是对现有旋转接头装置的进一步改进。
本发明为解决上述提出的问题所采用的技术方案为包括有主轴2和支承座5,支承座的一侧安设有与主轴相联的传动带轮,支承座的另一侧设置有固定外壳14,固定外壳内安设有支承主轴的轴承8,固定外壳的尾端为尾气排放口,其不同之处在于固定外壳内安设有与主轴相联的磁性轴10,磁性轴由轴承支承,在轴承侧设有与磁性轴相配置的磁流体11,构成主轴与固定外壳间的磁流体密封。
按上述方案,为降低排放尾气的温度和旋转接头装置的运行温度,可在主轴的前部外周安设冷却水套1。
本发明通过采用磁流体密封带来了以下的有益效果1.具有优良的正负压密封性能;2.耐高温、耐腐蚀性能强,工作可靠性高,有效使用寿命长,可保证PCVD沉积车床的正常运行,从而提高光纤预制棒的加工质量;3.密封装置在无磨损低阻尼的状态下运行,不仅摩擦力矩小、运转效率高,而且无磨损微粒产生,提高了加工系统的洁净度;4.结构简单紧凑,设置合理,安设冷却水套,可使装置的运行性能进一步改善。
权利要求
1.一种PCVD沉积车床出气端旋转接头装置,包括有主轴(2)和支承座(5),支承座的一侧安设有与主轴相联的传动带轮,支承座的另一侧设置有固定外壳(14),固定外壳内安设有支承主轴的轴承(8),固定外壳的尾端为尾气排放口,其特征在于固定外壳内安设有与主轴相联的磁性轴(10),磁性轴由轴承支承,在轴承侧设有与磁性轴相配置的磁流体(11),构成主轴与固定外壳间的磁流体密封。
2.按权利要求1所述的PCVD沉积车床出气端旋转接头装置,其特征在于在主轴的前部外周安设冷却水套(1)。
3.按权利要求1或2所述的PCVD沉积车床出气端旋转接头装置,其特征在于固定外壳前端与支承座相联,其内通过轴承(8)支承有套状的磁性轴(10)。
4.按权利要求3所述的PCVD沉积车床出气端旋转接头装置,其特征在于磁性轴套接于主轴后段,其内孔设有两道O形密封圈(7)。
5.按权利要求3所述的PCVD沉积车床出气端旋转接头装置,其特征在于磁性轴与主轴相联成一体。
6.按权利要求4或5所述的PCVD沉积车床出气端旋转接头装置,其特征在于在磁性轴的后端设有一环形气腔,环形气腔通过通孔(12)与一压力气源相接。
7.按权利要求4或5所述的PCVD沉积车床出气端旋转接头装置,其特征在于在固定外壳(14)内磁流体(11)外周设置环行冷却水道,环行冷却水道与进、出水口相接。
全文摘要
本发明涉及一种用于PCVD沉积车床出气端的旋转接头装置,是对现有旋转接头装置的进一步改进。包括有主轴和支承座,支承座的一侧安设有与主轴相联的传动带轮,支承座的另一侧设置有固定外壳,固定外壳内安设有支承主轴的轴承,固定外壳的尾端为尾气排放口,其不同之处在于固定外壳内安设有与主轴相联的磁性轴,磁性轴由轴承支承,在轴承侧设有与磁性轴相配置的磁流体,构成主轴与固定外壳间的磁流体密封。本发明具有优良的正负压密封性能;耐高温、耐腐蚀性能强,工作可靠性高,有效使用寿命长,可保证PCVD沉积车床的正常运行,从而提高光纤预制棒的加工质量;该装置还具有结构简单紧凑,设置合理,摩擦力矩小,运转效率高的特点。
文档编号C03B37/018GK1401601SQ0213913
公开日2003年3月12日 申请日期2002年9月30日 优先权日2002年9月30日
发明者王淑斌, 朱明华, 尹红兵, 李诗愈 申请人:烽火通信科技股份有限公司
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