技术编号:1811300
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种采用化学方法制备的具有成份梯度分布的高铁电性能的铁电薄膜及其制备方法领域。背景技术 采用溶胶-凝胶方法制备铁电薄膜的工艺方法有许多报道,尤其在铅系的铁电薄膜中,如JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,Vol.90(3),(2001)1480-1488.Reji Thomas,V.K.Varadan,S.omarneni,andD.C.Dube。近年来,随着对铅系铁电薄膜研究的深入,其制备方法也越来越为人们所关注。一般情况下,所...
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